一种在金属材料表面沉积氧化镍薄膜的方法与流程

文档序号:12347451阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种在金属材料表面沉积氧化镍薄膜的方法,其特征在于:包括如下步骤:

a:将金属材料等待沉积薄膜的表面进行抛光、清洗以及去应力退火等预处理;

b:将金属材料置于绝缘夹具中,使得金属材料预处理过的表面暴露,其余面被夹具压紧覆盖进行绝缘处理;

c:将绝缘处理过的金属材料置于电镀电源中进行电镀处理,形成锌过渡层;

d:电镀后,将绝缘夹具松懈取下并再次利用;

e:将电镀有锌过渡层的金属材料实施共溅射处理,利用氧化镍靶在锌过渡层上沉积氧化镍薄膜;

f:将沉积有氧化镍薄膜的金属材料置于烘箱内焙烧6-10h,焙烧温度为1200-1600℃,保温4-6h后冷却到室温,即得。

2.根据权利要求1所述的一种在金属材料表面沉积氧化镍薄膜的方法,其特征在于:步骤c所述电镀处理的具体操作如下:将至少一种以上的锌酸盐混合,并添加缓冲剂保持pH在2.8-3.6之间,在温度为25-40℃条件下电镀15-45min。

3.根据权利要求2所述的一种在金属材料表面沉积氧化镍薄膜的方法,其特征在于:步骤c所述电镀处理时还添加有表面活性剂。

4.根据权利要求1所述的一种在金属材料表面沉积氧化镍薄膜的方法,其特征在于:步骤e所述共溅射处理的具体操作如下:将氧化镍置于靶位,在混合气氛中控制压强为15-20Pa,溅射温度为380-420℃,溅射功率为100-120W,溅射时间为35-60min,然后冷却至室温取出。

5.根据权利要求1所述的一种在金属材料表面沉积氧化镍薄膜的方法,其特征在于:步骤e所述共溅射处理中的混合气氛为至少一种惰性气体混合氧气形成的氛围。

6.根据权利要求1所述的一种在金属材料表面沉积氧化镍薄膜的方法,其特征在于:所述金属材料为铝合金、铜合金、锌合金等各种合金材料。

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