刀具金刚石涂层制备装置的制作方法

文档序号:11840721阅读:149来源:国知局

本申请涉及一种刀具金刚石涂层制备装置。



背景技术:

传统的刀具涂层制备装置,其缺点主要在于涂层不均匀。热丝电离出的碳离子团和碳氢离子团大部分沉积在衬底表面,因而可以沉积出较为均匀的金刚石薄膜,而且碳离子团和碳氢离子团的走向与气流的方向一致,如果使用制备复杂形状刀具时采用和平面刀具相同的装置,必然会导致平行纺织的刀具基体表面的涂层较厚,而下表面机会没有涂层生成。



技术实现要素:

本发明的目的在于提供一种刀具金刚石涂层制备装置,以克服现有技术中的不足。

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:

本申请实施例公开一种刀具金刚石涂层制备装置,包括罩体,该罩体具有一反应腔,所述反应腔内设置有支撑台,所述支撑台上方设置有螺旋形热丝,该螺旋形热丝的轴向位于竖直方向,刀具支撑于所述支撑台上并位于所述螺旋形热丝围成的空间内,所述支撑台可沿轴向转动,所述螺旋形热丝分别与热丝电源和直流偏压电源连接。

优选的,在上述的刀具金刚石涂层制备装置中,所述反应腔为密封的腔体,该腔体连接于真空及气压控制装置。

优选的,在上述的刀具金刚石涂层制备装置中,所述罩体上设置有反应气体入口,该反应气体入口延伸于所述反应腔内并面向所述螺旋形热丝。

优选的,在上述的刀具金刚石涂层制备装置中,所述支撑台上设置有冷却装置。

优选的,在上述的刀具金刚石涂层制备装置中,所述冷却装置包括绕设于所述支撑台的循环水管,该循环水管具有冷却水入口和冷却水出口,所述冷却水入口和冷却水出口之间连接有冷却水源和循环水泵。

优选的,在上述的刀具金刚石涂层制备装置中,所述罩体上还设置有观察口。

与现有技术相比,本发明的优点在于:本发明采用螺旋形热丝,能够保证刀具受热均匀,使得刀具基体表面与热丝之间的距离相等,使得分布在基体周围的碳离子图案以及氢离子团更加均匀和致密性,有利于增加形核密度。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1所示为本发明具体实施例中刀具金刚石涂层制备装置的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行详细的描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。

结合图1所示,刀具金刚石涂层制备装置,包括罩体1,该罩体具有一反应腔2,反应腔2内设置有支撑台3,支撑台3上方设置有螺旋形热丝4,该螺旋形热丝4的轴向位于竖直方向,刀具5支撑于支撑台3上并位于螺旋形热丝4围成的空间内,支撑台3可沿轴向转动,螺旋形热丝4分别与热丝电源5和直流偏压电源6连接。

进一步地,反应腔2为密封的腔体,该腔体连接于真空及气压控制装置7。

进一步地,罩体1上设置有反应气体入口8,该反应气体入口8延伸于反应腔内并面向螺旋形热丝4。

进一步地,支撑台3上设置有冷却装置。

进一步地,冷却装置包括绕设于支撑台的循环水管,该循环水管具有冷却水入口9和冷却水出口10,冷却水入口9和冷却水出口10之间连接有冷却水源和循环水泵。

进一步地,所述罩体1上还设置有观察口11。

本发明采用螺旋形热丝,能够保证刀具受热均匀,使得刀具基体表面与热丝之间的距离相等,使得分布在基体周围的碳离子图案以及氢离子团更加均匀和致密性,有利于增加形核密度。

需要说明的是,在本文中,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本申请的具体实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

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