刀具金刚石涂层制备装置的制作方法

文档序号:11840721阅读:来源:国知局
技术总结
本申请公开了一种刀具金刚石涂层制备装置,包括罩体,该罩体具有一反应腔,所述反应腔内设置有支撑台,所述支撑台上方设置有螺旋形热丝,该螺旋形热丝的轴向位于竖直方向,刀具支撑于所述支撑台上并位于所述螺旋形热丝围成的空间内,所述支撑台可沿轴向转动,所述螺旋形热丝分别与热丝电源和直流偏压电源连接。本发明采用螺旋形热丝,能够保证刀具受热均匀,使得刀具基体表面与热丝之间的距离相等,使得分布在基体周围的碳离子图案以及氢离子团更加均匀和致密性,有利于增加形核密度。

技术研发人员:惠勇;许燕;惠小桃
受保护的技术使用者:张家港合升进出口有限公司
文档号码:201610716383
技术研发日:2016.08.24
技术公布日:2016.11.16

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