一种钼表面离子渗硫制备二硫化钼渗层的方法与流程

文档序号:15187918发布日期:2018-08-17 19:33阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种钼表面离子渗硫制备二硫化钼渗层的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:

步骤一、对钼基体的表面进行打磨处理,然后将打磨处理后的钼基体置于超声波清洗仪中进行超声波清洗,之后对超声波清洗后的钼基体进行流水冲洗后烘干;

步骤二、将步骤一中烘干后的钼基体置于离子氮化炉中,然后对离子氮化炉进行抽真空处理,直至使离子氮化炉内的压力不大于10Pa为止,之后向抽真空后的离子氮化炉内通入氩气,直至使离子氮化炉内的压力不小于20Pa为止,接着对烘干后的钼基体的表面进行离子轰击清洗;

步骤三、向离子氮化炉内通入含硫气体,在含硫气体的流量为0.05L/min~0.1L/min,离子氮化炉内温度为800℃~900℃的条件下,对步骤二中离子轰击清洗后的钼基体进行离子渗硫处理,随炉冷却后在钼基体的表面得到二硫化钼渗层;所述含硫气体为二硫化碳和氩气按体积比3∶(1~2)混合均匀而成的混合气体;

步骤三中所述离子渗硫处理的时间为60min~120min;

步骤三中所述离子渗硫处理的电流为1.5A~2.0A。

2.按照权利要求1所述的一种钼表面离子渗硫制备二硫化钼渗层的方法,其特征在于,步骤二中所述离子轰击清洗的时间为30min。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1