技术总结
一种新型环形抛光机，包括转台、抛光盘、限位滚轮机构和工件环，其中抛光盘的开槽或材料流动性能经过特殊设计，本发明解决了传统环形抛光机必须使用大尺寸校正板的问题，由于省去了校正板，该发明有助于降低抛光盘驱动电机的功率、降低设备成本、改善环形抛光机运转的稳定性、降低抛光盘盘面的温升、提高抛光盘盘面的利用率和抛光效率，并能延长抛光盘的使用寿命。
技术研发人员：焦翔;朱健强;樊全堂;谭小红
受保护的技术使用者：中国科学院上海光学精密机械研究所
文档号码：201610856602
技术研发日：2016.09.27
技术公布日：2017.02.15