一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构的制作方法

技术总结
本发明公开了一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，包括推舟及设于推舟上的一对推舟杆组件，各所述推舟杆组件远离所述推舟的一端设有旋转式拉舟块，所述推舟上设有用于驱动旋转式拉舟块转动的驱动组件，所述驱动组件与所述推舟杆组件连接，本发明具有结构简单、能够顺利进入石墨舟底部并可靠拉舟等优点。

技术研发人员：肖洁;李斌;曹明旺
受保护的技术使用者：湖南红太阳光电科技有限公司
文档号码：201611008331
技术研发日：2016.11.16
技术公布日：2017.05.31