一种石墨舟清洗装置的制作方法

本实用新型涉及晶硅体太阳能电池生产领域，涉及一种石墨舟清洗装置。

背景技术：

在晶硅体太阳能电池制造中的镀膜工艺中，石墨舟的表面会随着制程次数的增加而逐渐被侵蚀，当石墨舟使用次数多之后，会使沉积在电池片表面的SiN膜的差异性变大。因此，当使用次数达到100次以上之后，需要将石墨舟分解并清洗。

现有的石墨舟清洗过程中需要人工进行配液、酸洗、水洗和排液等操作，耗费的时间较长，而且即使进行了清洗，清洗的干净度较低。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于针对上述现有技术的不足，提供了一种石墨舟清洗装置，其实现全自动化操作，节省了清洗时间，清洗干净度较高。

为实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

本实用新型提供了一种石墨舟清洗装置，所述石墨舟清洗装置包括：槽体，配液模块，纯水注入模块，循环泵，排液模块和控制模块。所述槽体包括排列设置的清洗槽和储酸槽；所述配液模块与所述清洗槽连通；所述纯水注入模块与所述清洗槽连通；所述循环泵与所述清洗槽和所述储酸槽连通；所述排液模块与所述储酸槽连通；所述控制模块分别与所述配液模块、所述纯水注入模块、所述循环泵和所述排液模块电连接，用于控制所述配液模块、所述纯水注入模块、所述循环泵和所述排液模块工作。

进一步地，所述石墨舟清洗装置还包括：液位感应器；

所述液位感应器设置在所述清洗槽内，和/或，所述液位感应器设置在所述储酸槽内；

所述控制模块与所述液位感应器电连接，用于根据所述液位感应器采集的液位信息控制所述配液模块、所述纯水注入模块、所述循环泵和所述排液模块工作。

进一步地，所述石墨舟清洗装置还包括：

气动阀，所述气动阀连通所述清洗槽和所述储酸槽，且所述气动阀与所述控制模块电连接。

进一步地，所述石墨舟清洗装置还包括：

栅格分离器，所述栅格分离器设置在所述清洗槽内，用于分离石墨舟舟片。

进一步地，所述石墨舟清洗装置还包括：

鼓泡管，所述鼓泡管沿着所述清洗槽的槽底设置，且所述鼓泡管与所述控制模块电连接。

进一步地，所述配液模块包括：

集中供液室，用于向所述清洗槽供液；

药液添加桶，所述药液添加桶分别与所述集中供液室和所述清洗槽连通；

所述控制模块与所述药液添加桶电连接，用于控制所述药液添加桶向所述清洗槽内添加药液。

进一步地，所述纯水注入模块包括：

导水管，所述导水管与所述清洗槽连通；

流量计，所述流量计设置在所述导水管上，且所述流量计与所述控制模块电连接。

进一步地，所述纯水注入模块还包括：

喷淋管，所述喷淋管与所述导水管连通，且所述喷淋管沿着所述清洗槽的槽壁设置。

进一步地，所述纯水注入模块包括：

进料口，所述进料口与所述清洗槽连通，用于供操作人员通过所述进料口放入所述石墨舟；

出料口，所述出料口与所述清洗槽连通，用于供操作人员通过所述出料口取出清洗后的石墨舟。

采用上述技术方案，本实用新型的有益效果为：使用本实用新型提供的石墨舟清洗装置通过设置控制模块，使控制模块与配液模块、纯水注入模块、循环泵和排液模块电连接，使得控制模块控制配液模块、纯水注入模块、循环泵和排液模块工作，从而实现了全自动化操作，节省了清洗时间，清洗干净度较高。

附图说明

图1为本实用新型的石墨舟清洗装置的结构示意图；

图2为本实用新型的石墨舟清洗装置的工作原理图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

图1为本实用新型的石墨舟清洗装置的结构示意图，图2为本实用新型的石墨舟清洗装置的工作原理图。结合图1和图2所示，所述石墨舟清洗装置包括槽体1、配液模块2、纯水注入模块3、循环泵4、排液模块5和控制模块6。所述槽体1包括排列设置的清洗槽11和储酸槽12。清洗槽11用于进行清洗石墨舟工作。储酸槽12用于进行储存酸液工作。所述配液模块2与所述清洗槽11连通。所述纯水注入模块3与所述清洗槽11连通。所述循环泵4与所述清洗槽11和所述储酸槽12连通。所述排液模块5与所述储酸槽12连通。所述控制模块6分别与所述配液模块2、所述纯水注入模块3、所述循环泵4和所述排液模块5电连接，用于控制所述配液模块2、所述纯水注入模块3、所述循环泵4和所述排液模块5工作。

所述石墨舟清洗装置进一步包括：液位感应器7。所述液位感应器7设置在所述清洗槽11内，和/或，所述液位感应器7设置在所述储酸槽12内。所述控制模块6与所述液位感应器7电连接，用于根据所述液位感应器7采集的液位信息控制所述配液模块2、所述纯水注入模块3、所述循环泵4和所述排液模块5工作。例如，当清洗槽11内的液位达到预定液位时，液位感应器7将采集的液位信息发送给控制模块6，控制模块6根据液位信息控制配液模块2停止配液，或控制纯水注入模块3停止注水。

所述石墨舟清洗装置进一步包括：气动阀8。所述气动阀8连通所述清洗槽11和所述储酸槽12，且所述气动阀8与所述控制模块6电连接，用于当清洗槽11内酸洗石墨舟工作完成后，控制模块6控制气动阀8开启以将清洗槽11内的酸液导入储酸槽12内，以使酸液重复利用，节省了成本。

为了防止多个石墨舟层叠，致使石墨舟清洗不干净，所述石墨舟清洗装置进一步包括：栅格分离器9。所述栅格分离器9设置在所述清洗槽11内，用于分离石墨舟舟片。在实际应用中，同时可进行四个石墨舟的清洗工作，从而栅格分离器9的设置将每相邻两舟片的石墨舟分离，增大了清洗液的清洗面积，提高了石墨舟的清洗干净度。

为了进一步确保清洗的干净度，所述石墨舟清洗装置进一步包括：鼓泡管10。所述鼓泡管10沿着所述清洗槽11的槽底设置，且所述鼓泡管10与所述控制模块6电连接。

所述配液模块2进一步包括：集中供液室21和药液添加桶22。集中供液室21用于向所述清洗槽11供液。所述药液添加桶22分别与所述集中供液室21和所述清洗槽11连通。所述控制模块6与所述药液添加桶22电连接，用于控制所述药液添加桶22向所述清洗槽11内添加药液。具体实施时，供液室内供入的液体和药液需要根据实际需求选取，本实用新型实施例不在具体限定。

所述纯水注入模块3进一步包括：导水管31和流量计32。所述导水管31与所述清洗槽11连通。所述流量计32设置在所述导水管31上，且所述流量计32与所述控制模块6电连接。在本实用新型实施例中，流量计32的设置使得注入清洗槽11内的纯水量可控，灵活性较高，从而提高了石墨舟清洗装置实用性。

为了进一步提高石墨舟的清洗干净度，所述纯水注入模块3进一步包括：喷淋管33。所述喷淋管33与所述导水管31连通，且所述喷淋管33沿着所述清洗槽11的槽壁设置。

所述纯水注入模块3进一步包括：进料口13和出料口14。所述进料口13与所述清洗槽11连通，用于供操作人员通过所述进料口13放入所述石墨舟。所述出料口14与所述清洗槽11连通，用于供操作人员通过所述出料口14取出清洗后的石墨舟。

在实际应用中，同时可进行四个石墨舟的清洗工作。石墨舟清洗工作流程为配液、清洗、排液。清洗工作分为酸洗和水洗两部分。其中，酸洗需12H，且酸洗每隔1H进行一次鼓泡，约10min。水洗需12H。酸洗配液过程是集中供液室21内的液体注入药液添加桶22，通过控制模块6设定控制药液添加桶22自动向清洗槽11内加入40L的HF(氟化氢气体的水溶液)，再通过流量计32向清洗槽11内加入300L水。酸洗过程是控制模块6根据清洗槽11内的液位感应器7和储酸槽12内的液位感应器7采集的液位信息，控制循环泵4把储酸槽12的酸液打到清洗槽11内进行酸洗(如图1中的a方向)。在酸洗中，控制模块6设定鼓泡时间10min以控制鼓泡管10进行工作。酸洗结束后，控制模块6控制气动阀8开启，通过液体自身重力由清洗槽11流入储酸槽12(如图1中的b方向)，这样酸液可以重复使用，降低成本。水洗过程是控制模块6控制设置每隔2H开启流量计32，纯水注入模块3向清洗槽11注入320L水以更换纯水。同时，控制模块6控制鼓泡管10一直进行鼓泡，确保清洗的干净度。排液过程是酸液的更新周期为15天，到期后，控制模块6控制储排液模块5将储酸槽12内的酸液进行排放。同时控制模块6控制喷淋管33一直进行喷洒。

采用上述技术方案，本实用新型的有益效果为：使用本实用新型提供的石墨舟清洗装置通过设置控制模块，使控制模块与配液模块、纯水注入模块、循环泵和排液模块电连接，使得控制模块控制配液模块、纯水注入模块、循环泵和排液模块工作，从而实现了全自动化操作，节省了清洗时间，清洗干净度较高。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。