技术总结
本实用新型提供了一种石墨舟清洗装置，包括：槽体，配液模块，纯水注入模块，循环泵，排液模块和控制模块。所述槽体包括排列设置的清洗槽和储酸槽；所述配液模块与所述清洗槽连通；所述纯水注入模块与所述清洗槽连通；所述循环泵与所述清洗槽和所述储酸槽连通；所述排液模块与所述储酸槽连通；所述控制模块分别与所述配液模块、所述纯水注入模块、所述循环泵和所述排液模块电连接，用于控制所述配液模块、所述纯水注入模块、所述循环泵和所述排液模块工作，实现全自动化操作，节省了清洗时间，清洗干净度较高。
技术研发人员：雷杰;王晓晖
受保护的技术使用者：昊诚光电（太仓）有限公司
文档号码：201620726660
技术研发日：2016.07.12
技术公布日：2016.12.14