技术特征：
技术总结
本发明提供一种用于衬底处理系统的硅或碳化硅气体喷射器。气体喷射器包括由从硅和碳化硅构成的组中选择的材料制成的管状杆节段。管状杆节段包括限定流体通道的主体和直接在其一端部上加工的螺纹。转向节包括螺纹。管状杆节段的螺纹连接到转向节的螺纹。气体供应管连接到转向节。一个或多个附加的管状杆节段可以通过螺纹附接到管状杆节段，以改变气体喷射器的长度。
技术研发人员：斯蒂芬·爱德华·普洛亚;杰米·伯恩斯;凯文·赫尔佐克;卡尔·威廉姆斯
受保护的技术使用者：朗姆研究公司
技术研发日：2016.12.08
技术公布日：2017.07.21