一种MCrALY专用超厚膜电弧靶的制作方法

文档序号:12521236阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种MCrALY专用超厚膜电弧靶,包括阴极体(6)和水管(19),其特征在于:所述阴极体(6)的上方设置有靶材(18),所述阴极体(6)的两侧安装有调整螺母(5),所述调整螺母(5)的下方安装有螺母座(11),所述阴极体(6)的两侧在调整螺母(5)的上方设置有阴极体密封胶圈(7),所述水管(19)与阴极体(6)的相接处设置有水管密封胶圈(10),所述水管(19)的两侧安装有绝缘套Ⅳ(16),所述绝缘套Ⅳ(16)的上方设置有连接座(15),所述连接座(15)的下方安装有绝缘套Ⅰ(1),所述绝缘套Ⅳ(16)套设在靶座(2)上,所述靶座(2)的下方设置有调整手柄(3),所述水管(19)的底部安装有快接水嘴(4),所述水管(19)的上方设置有辐阳(17),所述水管(19)的右侧安装有绝缘套Ⅱ(9),所述调整螺母(5)与水管(19)的连接处设置有端面密封胶圈(8),所述螺母座(11)通过连接板(12)与水管(19)固定连接,所述连接座(15)的下方通过垫(13)固定连接有绝缘套Ⅲ(14)。

2.根据权利要求1所述的一种MCrALY专用超厚膜电弧靶,其特征在于:所述辐阳(17)为纯铁,所述辐阳(17)的内部设置有水冷结构。

3.根据权利要求1所述的一种MCrALY专用超厚膜电弧靶,其特征在于:所述连接板(12)与水管(19)螺纹连接。

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