1.一种进气方式及压力可调的多功能大尺寸化学气相沉积设备，其特征在于，包括：工艺腔室(1)、加热炉体及开合系统(2)、炉门机构及腔室密封系统(3)、水冷热交换器(4)、压力调控系统(5)、进出气系统(6)以及电气控制系统(7)；其中，
所述工艺腔室(1)的水平一端安装有所述炉门机构及腔室密封系统(3)，其水平另一端则与压力调控系统(5)相连接，所述压力调控系统(5)对所述工艺腔室(1)内部的压力进行调节；所述工艺腔室(1)的垂直向外围安装有加热炉体及开合系统(2)；所述水冷热交换器(4)位于所述加热炉体及开合系统(2)的顶部，对设备表面做温度调节；所述进出气系统(6)连通到所述工艺腔室(1)的内部；所述电气控制系统(7)对整个CVD设备进行控制。
2.根据权利要求1所述的进气方式及压力可调的多功能大尺寸化学气相沉积设备，其特征在于，所述进出气系统(6)包括：垂直进气扩散盒(61)、垂直出气扩散盒(62)、水平进气扩散盒(63)、水平出气扩散盒(64)；其中，
所述垂直进气扩散盒(61)位于所述工艺腔室(1)内的基片上方，所述垂直出气扩散盒(62)设置在所述工艺腔室(1)内的基片下方，气体通过导管从一侧法兰引入到所述垂直进气扩散盒(61)，垂直喷淋到基片表面，进而从垂直出气扩散盒(62)排出，从而实现了垂直方向的进气；所述水平进气扩散盒(63)、水平出气扩散盒(64)分别位于所述工艺腔室(1)的水平两侧，气体通过导管从所述工艺腔室(1)的水平一端进入，经过所述水平进气扩散盒(63)平行于生长基片层流通过，再通过所述水平出气扩散盒(64)从所述工艺腔室(1)的水平另一端排出，从而实现了水平方向的进气。
3.根据权利要求1所述的进气方式及压力可调的多功能大尺寸化学气相沉积设备，其特征在于，气体扩散盒为分体式结构，包括多个独立的分体扩散器。
4.根据权利要求1所述的进气方式及压力可调的多功能大尺寸化学气相沉积设备，其特征在于，所述压力调控系统(5)包括：泵组(51)、截止阀(52)、管道(53)以及压力控制模块；其中，所述压力控制模块采用闭环压力控制方式，其包括压力计(541)，蝶阀(542)；
所述泵组(51)通过管道(53)连接所述工艺腔室(1)，在管道(53)所形成的管路上，从所述泵组(51)到所述工艺腔室(1)的方向上依次安装有所述蝶阀(542)、压力计(541)与截止阀(52)；所述蝶阀(542)在所述电气控制系统(7)的控制下调节角度，实现压力的调节。
5.根据权利要求1所述的进气方式及压力可调的多功能大尺寸化学气相沉积设备，其特征在于，所述工艺腔室(1)包括密封法兰(11)、固定法兰(12)、石英反应管(13)、后法兰(14)和等离子体发生器(15)；其中，
所述密封法兰(11)与固定法兰(12)位于所述石英反应管(13)的前端，所述固定法兰(12)通过密封法兰(11)与橡胶密封圈固定在所述石英反应管(13)上，所述后法兰(14)位于所述石英反应管(13)后端，所述等离子体发生器(15)安装在石英反应管(13)的前段；所述工艺腔室(1)通过所述后法兰(14)和固定法兰(12)连接在炉体柜的骨架上，且所述工艺腔室(1)的中心能够上、下、左、右调整，以保证与炉体的位置正确；所述密封法兰(11)上有冷却水道；所述石英反应管(13)内部上侧及两端连接有石英轨道(16)；所述石英反应管(13)的直径大于350mm。
6.根据权利要求1所述的进气方式及压力可调的多功能大尺寸化学气相沉积设备，其特征在于，所述加热炉体及开合系统(2)包括：保温层(21)、外壳(22)、加热丝(23)以及开合机构(24)；其中，
所述加热炉体及开合系统(2)整体成管状结构，其内部中空，用于放置所述工艺腔室(1)；所述保温层(21)位于所述加热炉体及开合系统(2)的最内层，与所述工艺腔室(1)保持一定距离；所述保温层(21)的外部包裹有外壳(22)，所述加热丝(23)预埋在所述保温层(21)内；所述加热炉体及开合系统(2)采用两瓣设计，所述开合机构(24)位于两瓣的结合处，通过所述开合机构(24)能够实现手动或机械方式开合。
7.根据权利要求1所述的进气方式及压力可调的多功能大尺寸化学气相沉积设备，其特征在于，所述炉门机构及腔室密封系统(3)包括炉门(31)、旋转臂(32)；所述旋转臂(32)安装在炉门(31)上，用于实现所述炉门(31)的开启或关闭；所述炉门(31)采用上掀全开合式密封门。
8.根据权利要求1所述的进气方式及压力可调的多功能大尺寸化学气相沉积设备，其特征在于，所述水冷热交换器(4)包括：水冷散热器(41)、排风扇(42)；所述水冷散热器(41)安装在加热炉体及开合系统(2)的顶部，水冷散热器(41)上装有排风扇(42)。