一种高温束源炉的制作方法

文档序号:11719813阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高温束源炉,包括机架,其特征在于,所述机架包括底座和垂直设置在所述底座上的立杆,所述束源炉本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件,所述底座的上方设置有保护罩,所述保护罩内设置有所述坩埚和所述加热丝,所述坩埚上设置有所述加热丝,所述坩埚的外侧设置有屏蔽层,所述底座上设置有所述冷却波纹管和所述电极组件,所述冷却波纹管通过连接管路与所述束源炉本体连通,所述电极组件通过连接引线与所述束源炉本体连接。

2.如权利要求1所述的高温束源炉,其特征在于,所述冷却波纹管上设置有冷却管接头,所述冷却管接头采用VCR接头结构。

3.如权利要求2所述的高温束源炉,其特征在于,所述保护罩的左端和底端分别设置有第一连接杆和第二连接杆,所述第一连接杆与所述底座连接,所述第二连接杆与所述立杆连接。

4.如权利要求3所述的高温束源炉,其特征在于,所述第一连接杆上设置有测温电偶。

5.如权利要求4所述的高温束源炉,其特征在于,所述底座的右端底面上设置有连接法兰,所述连接法兰设置有所述冷却波纹管和所述电极组件。

6.如权利要求5所述的高温束源炉,其特征在于,所述加热丝的外围设置有绝缘管。

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