技术总结
本实用新型提供一种高温束源炉，涉及一种束源炉技术领域。该实用新型包括机架，其中，机架包括底座和垂直设置在底座上的立杆，束源炉本体包括坩埚、加热丝、冷却波纹管和电极组件，底座的上方设置有保护罩，保护罩内设置有坩埚和加热丝，坩埚上设置有加热丝，坩埚的外侧设置有屏蔽层，底座上设置有冷却波纹管和电极组件，冷却波纹管通过连接管路与束源炉本体连通，电极组件通过连接引线与束源炉本体连接。本实用新型在1500℃状态下可以长期工作稳定，膜层纯度达到满意效果，无挥发掺杂，选用热解氮化硼坩埚，高温与绝大多数熔融金属、半导体等材料不湿润、不反应，适用范围广泛。
技术研发人员：赵俊华
受保护的技术使用者：沈阳聚智真空设备有限公司
文档号码：201621384010
技术研发日：2016.12.13
技术公布日：2017.07.14