铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置的制作方法

文档序号:12671113阅读:来源:国知局

技术特征:

1.铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,包括放卷机构(1)和收卷机构(2),放卷机构(1)和收卷机构(2)之间设有若干滚轮(3),铜铟镓硒卷材(7)通过滚轮(3)走卷,其特征在于:每两根相邻的所述滚轮(3)之间都设有基底加热板(4),基底加热板(4)内设有U型加热管,设有对滚轮(3)进行加热的辅助加热装置。

2.根据权利要求1所述的铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,其特征在于:所述辅助加热装置为较长的U型加热管a(5),设于滚轮(3)与铜铟镓硒卷材(7)接触面的相对侧。

3.根据权利要求1所述的铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,其特征在于:所述辅助加热装置为较短的U型加热管b(6),设于滚轮(3)与铜铟镓硒卷材(7)接触面的两端。

4.根据权利要求1所述的铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,其特征在于:所述辅助加热装置包括较长的U型加热管a(5)和较短的U型加热管b(6),U型加热管a(5)设于滚轮(3)与铜铟镓硒卷材(7)接触面的相对侧, U型加热管b(6)设于滚轮(3)与铜铟镓硒卷材(7)接触面的两端。

5.根据权利要求1-4任一项所述的铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,其特征在于:所述滚轮(3)和基底加热板(4)的排列方向呈向下凸起。

6.根据权利要求5所述的铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置,其特征在于:所述滚轮(3)和基底加热板(4)上方设有挡板。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1