技术总结
铜铟镓硒真空蒸镀设备的滚轮辅助加热装置，包括放卷机构和收卷机构，放卷机构和收卷机构之间设有若干滚轮，铜铟镓硒卷材通过滚轮走卷，每两根相邻的所述滚轮之间都设有基底加热板，基底加热板内设有U型加热管，设有对滚轮进行加热的辅助加热装置。本实用新型采用的辅助加热装置对滚轮进行加热，避免了腔体中存在的Cu、In、Ga、Se尘粒因为基板和辅助滚的温度差而沉积于辅助滚上，使走卷的过程中铜铟镓硒卷材背面不会凸点，表面光洁度好。
技术研发人员：任宇航;林峰;罗明新
受保护的技术使用者：浙江尚越新能源开发有限公司
文档号码：201621466098
技术研发日：2016.12.29
技术公布日：2017.06.23