硅片自动去毛边装置的制作方法

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种硅片自动去毛边装置。

背景技术：

在多线切割晶棒生产硅片的过程中，对切割好的硅片传统采用手工进行脱胶，切割好的硅片易出现毛边等现象，在硅片的后续生产过程中，毛边容易导致硅片报废，使得硅片无法使用，造成生产成本增加，并且使得产品的合格率较低。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是：为了解决切割好的硅片易出现毛边等现象，在硅片的后续生产过程中，毛边容易导致硅片报废，使得硅片无法使用，造成生产成本增加，并且使得产品的合格率较低的问题，现提供了一种硅片自动去毛边装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种硅片自动去毛边装置，包括机架及转动设置在机架上的工作平台，所述机架上设有用于驱动工作平台转动的第一电机，所述机架上设有用于去毛边的刀头，所述机架上设有用于带动刀头靠近或者远离工作平台的第一气缸，所述机架上滑动设置有滑板，所述滑板位于所述工作平台上方，所述机架上设有用于驱动滑板滑动的驱动装置，所述滑板上沿其滑动方向设有第一拉杆和第二拉杆，所述第一拉杆的一端转动设有压板，所述第二拉杆的一端设有吸盘，所述第二拉杆上设有吸气泵，所述吸气泵与所述吸盘连通，所述吸盘与压板均位于所述工作平台的上方，所述滑板上设有伸出端朝下的第二气缸，所述第一拉杆和第二拉杆均设置在所述第二气缸的伸出端上。本实用新型适用于圆形硅片，通过第二气缸带动第二拉杆，并由第二拉杆上的吸盘将硅片吸住，然后将硅片放置在工作平台上，通过第一拉杆上的压板将硅片压住，通过第一电机带动转动平台转动，同时带动硅片和压板转动，再由第一气缸带动刀头靠近硅片的边缘的毛边进行去除，完成去除后将硅片取走即可。

进一步地，所述驱动装置包括设置在机架上的第二电机，所述机架上设有导轨，所述导轨上滑动设置有导向块，所述导向块设置在所述滑板上，所述机架上转动设置有丝杠，所述丝杠与所述导向块螺纹连接，所述丝杠与所述导轨相互平行设置。通过丝杠带动导向块在导轨上滑动，并实现滑板在机架上滑动。

进一步地，所述第二气缸的伸出端上设有连杆，所述第一拉杆设置在连杆的一端，所述第二拉杆设置在连杆的另一端，所述滑板上开设有与所述第一拉杆相匹配的第一通孔，所述滑板上开设有与所述第二拉杆相匹配的第二通孔，所述第一拉杆远离压板的一端滑动设置在所述第一通孔内，所述第二拉杆远离吸盘的一端滑动设置在所述第二通孔内。使得第二气缸能够同时带动第一拉杆和第二拉杆上升或者下降，第一通孔对第一拉杆起到导向作用，第二通孔对第二拉杆起到导向作用。

为了防止工作平台偏转，进一步地，所述机架与所述工作平台之间设有万向滚珠。万向滚珠对工作平台起到一定的支撑作用，同时也能够保证工作平台转动顺畅无阻。

本实用新型的有益效果是：本实用新型硅片自动去毛边装置在使用时，适用于圆形硅片，通过第二气缸带动第二拉杆，并由第二拉杆上的吸盘将硅片吸住，然后将硅片放置在工作平台上，通过第一拉杆上的压板将硅片压住，通过第一电机带动转动平台转动，同时带动硅片和压板转动，再由第一气缸带动刀头靠近硅片的边缘的毛边进行去除，完成去除后将硅片取走即可，本实用新型能够快速的去除硅片上的毛边，提高了硅片的合格率，避免了切割好的硅片易出现毛边等现象，在硅片的后续生产过程中，毛边容易导致硅片报废，使得硅片无法使用，造成生产成本增加，并且使得产品的合格率较低的问题。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型硅片自动去毛边装置的主视图；

图2是本实用新型硅片自动去毛边装置的俯视图。

图中：1、机架，2、工作平台，3、第一电机，4、刀头，5、第一气缸，6、滑板，7、第一拉杆，8、第二拉杆，9、压板，10、吸盘，11、吸气泵，12、第二气缸，13、第二电机，14、导轨，15、导向块，16、丝杠，17、连杆，18、万向滚珠。

具体实施方式

现在结合附图对本实用新型做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。

实施例

如图1和2所示，一种硅片自动去毛边装置，包括机架1及转动设置在机架1上的工作平台2，所述机架1上设有用于驱动工作平台2转动的第一电机3，所述机架1上设有用于去毛边的刀头4，刀头4为内凹型的开口状结构，所述机架1上设有用于带动刀头4靠近或者远离工作平台2的第一气缸5，所述机架1 上滑动设置有滑板6，所述滑板6位于所述工作平台2上方，所述机架1上设有用于驱动滑板6滑动的驱动装置，所述滑板6上沿其滑动方向设有第一拉杆7 和第二拉杆8，所述第一拉杆7的一端通过轴承转动安装有压板9，所述第二拉杆8的一端设有吸盘10，所述第二拉杆8上设有吸气泵11，所述吸气泵11与所述吸盘10连通，所述吸盘10与压板9均位于所述工作平台2的上方，所述滑板6上设有伸出端朝下的第二气缸12，所述第一拉杆7和第二拉杆8均设置在所述第二气缸12的伸出端上。

所述驱动装置包括设置在机架1上的第二电机13，所述机架1上设有导轨 14，所述导轨14上滑动设置有导向块15，所述导向块15设置在所述滑板6上，所述机架1上转动设置有丝杠16，所述丝杠16与所述导向块15螺纹连接，所述丝杠16与所述导轨14相互平行设置。

所述第二气缸12的伸出端上设有连杆17，所述第一拉杆7设置在连杆17 的一端，所述第二拉杆8设置在连杆17的另一端，所述滑板6上开设有与所述第一拉杆7相匹配的第一通孔，所述滑板6上开设有与所述第二拉杆8相匹配的第二通孔，所述第一拉杆7远离压板9的一端滑动设置在所述第一通孔内，所述第二拉杆8远离吸盘10的一端滑动设置在所述第二通孔内。

所述机架1与所述工作平台2之间设有万向滚珠18。第一气缸5第二气缸 12均被接入外接气源并通过外部控制器控制启闭，第一电机3与第二电机13均被接入外接电源，并由外部控制器控制启闭。

上述硅片自动去毛边装置在运用时，在机架1的一边放置好要去毛边的圆形硅片，具体操作步骤如下：首先启动第二气缸12，第二气缸12的伸出端带动连杆17及第一拉杆7和第二拉杆8下降，并使第二拉杆8上的吸盘10与硅片接触，启动吸气泵11，吸盘10将硅片吸住，控制第二气缸12带动第二拉杆8 上升，同时第二拉杆8在第二通孔内滑动，第一拉杆7在第一通孔内滑动，控制第二电机13带动丝杠16转动，使得吸盘10位于工作平台2正上方，控制第二气缸12带动硅片下降，控制吸气泵11停止工作，将硅片放置在工作平台2 上，启动第二电机13带动丝杠16转动，使得滑板6上的导向块15在导轨14 上滑动，带动滑板6上的第一拉杆7及第二拉杆8位移，再由第二拉杆8上的吸盘10吸住需要去毛边的硅片，硅片的中心轴线及第一拉杆7上的压板9的转动中心轴线与工作平台2转动中心轴线相互重合，使得压板9压住硅片，启动第一电机3并带动工作平台2转动，工作平台2下方的万向滚珠18随着一起转动，从而带动压板9转动，控制第一气缸5带动刀头4伸出，并去除硅片边缘的毛边，完成硅片的去毛边后，停止第一气缸5与第一电机3，工作平台2停止转动，第一气缸5的伸出端带动刀头4收缩，启动第二气缸12带动第一拉杆7 和第二拉杆8上升，同时将完成去毛边的硅取出，此时控制第二电机13，使得吸盘10将第二拉杆8位移工作平台2上方，控制吸盘10将硅片放置在工作平台2上，重复上述步骤即可反复对硅片进行去毛边。

上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。