技术总结
本发明公开了一种用于微波等离子体环境的微球驱动装置，涉及涂层制备技术领域，采用的技术方案是：用于微波等离子体环境的微球驱动装置，包括拨杆、微球盘、真空驱动电机、铜座和微波屏蔽腔板，拨杆和微球盘为石英玻璃材质，拨杆由直杆和圆环构成，圆环用于放置微球盘，直杆连接真空驱动电机；铜座的顶部设置圆槽，放置于圆环内的微球盘位于圆槽内，铜座的下方为微波屏蔽腔板，铜座和真空驱动电机分别位于微波屏蔽腔板的上下侧。微球驱动装置放于微波等离子体化学气相沉积系统内使用，真空驱动电机驱动微球盘内的微球随机运动，实现均匀涂层。微球驱动装置结构简单，使用方便，避免了微球驱动装置与微波电磁场间的相互干扰，提高了涂层质量。
技术研发人员：王涛;何小珊;陈果;刘艳松;何智兵;李俊;许华;陈志梅;杜凯
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
文档号码：201710060502
技术研发日：2017.01.25
技术公布日：2017.05.31