1.一种掺铍的碳氢涂层的制备装置，其特征在于：包括石英放电腔和真空室，所述石英放电腔位于真空室上方，与真空室连通，所述石英放电腔外周设置有螺旋电感线圈，所述真空室内设置有基底，所述石英放电腔连接载气气管和放电氢气气管，所述载气气管连接有机铍源瓶，所述有机铍源瓶位于第二恒温器内，所述有机铍源瓶的另一端还连接载气气管。
2.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于：还包括尾气吸收桶和尾气排放管，所述真空室与尾气吸收桶连通，所述尾气排放管一端连接尾气吸收桶，另一端与大气连通。
3.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于：所述载气气管、放电氢气气管上分别设置有第一质量流量控制器、第二质量流量控制器。
4.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于：所述载气气管、放电氢气气管均为不锈钢气管。
5.根据权利要求1所述的制备装置，其特征在于：所述有机铍源瓶到所述石英放电腔之间的管道设置有加热保温装置。