技术总结
本实用新型公开了一种掺铍的碳氢涂层的制备装置，包括石英放电腔和真空室，所述石英放电腔位于真空室上方，与真空室连通，所述石英放电腔外周设置有螺旋电感线圈，所述真空室内设置有基底，所述石英放电腔连接载气气管和放电氢气气管，所述载气气管连接有机铍源瓶，所述有机铍源瓶位于第二恒温器内，所述有机铍源瓶的另一端还连接载气气管；采用本实用新型的装置通过共沉积铍和碳氢片段，形成均一的、无定形的掺铍的碳氢聚合物涂层材料，该材料作为激光聚变能源研究中的烧蚀层材料，该材料具有高X射线透过率、高烧蚀稳定性等优点。
技术研发人员：张吉强;罗江山;陈龙;金雷;何玉丹;李恺;罗炳池;李文琦;谭秀兰;李喜波;康晓丽;徐习斌
受保护的技术使用者：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
文档号码：201720539875
技术研发日：2017.05.16
技术公布日：2017.12.08