一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构的制作方法

本实用新型涉及一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构，属于玻璃真空镀膜技术、新材料和新工艺技术领域。

背景技术：

近年来圆管表面真空磁控镀膜大体采取单体机，机内一次装载数十只，在“行星”机构传动下圆管做公转与自转，立式圆柱靶在中心位置，开机一次只能生产数十只，无法连续生产，效率低，且膜系单一。

技术实现要素：

针对上述问题，本实用新型要解决的技术问题是提供一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构。

本实用新型的一种卧式连续圆管式表面真空磁控镀膜结构，它包含腔体、机架、旋转圆管、传动轴、第二螺旋齿轮、齿轮、第一齿条、导槽、导向轮、减速机、直齿轮、第二齿条、箱体，腔体上设置有机架，机架上并排安装有数个水平行进的旋转圆管，旋转圆管是由圆管、三爪卡盘、滑动轴承座、固定轴承座、滑槽、丝杆、丝母座、手轮和第一螺旋齿轮组成，圆管的两端分别安装有三爪卡盘，其一端连接有滑动轴承座，另一端连接有固定轴承座，滑动轴承座设置在滑槽上，滑动轴承座通过丝杆与丝母座连接，丝母座与手轮连接，固定轴承座的一端连接有第一螺旋齿轮，机架的前端设置有传动轴，传动轴上均匀设置有数个第二螺旋齿轮，且数个第二螺旋齿轮与数个旋转圆管一端的第一螺旋齿轮相啮合，传动轴的两端分别设置有齿轮，且齿轮与第一齿条相啮合，第一齿条设置在腔体的两端，腔体的两端还分别设置有导槽，机架的两侧分别安装有数个导向轮，且数个导向轮滑设在导槽上，腔体的一侧设置有减速机，减速机的轴上安装有直齿轮，直齿轮与第二齿条相啮合，第二齿条设置在机架的一侧，腔体的后方安装有箱体。

作为优选，所述的机架的一侧安装有数个限位轮，限位轮主要用于控制机架水平行进中不易跑偏。

本实用新型的有益效果：它结构设计合理，安装简单，使用方便，通过将圆管安装在特制机架上，在生产线上圆管随机架水平行进，同时绕自身轴线旋转，形成圆管式表面真空磁控镀膜连续生产，生产效率大辐度提高，满足了圆管表面镀膜均匀性要求。

附图说明：

为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中机架的结构示意图；

图3为图2的侧视图；

图4为本实用新型中机架的立体结构示意图；

图5为本实用新型中旋转圆管的结构示意图；

图6为本实用新型中三爪卡盘的结构示意图；

图7为图1中A部放大图；

图8为图1中B部放大图；

图9为图1中C部放大图。

1-腔体；2-机架；2-1-限位轮；3-旋转圆管；3-1-圆管；3-2-三爪卡盘；3-3-滑动轴承座；3-4-固定轴承座；3-5-滑槽；3-6-丝杆；3-7-丝母座；3-8-手轮；3-9-第一螺旋齿轮；4-传动轴；5-第二螺旋齿轮；6-齿轮；7-第一齿条；8-导槽；9-导向轮；10-减速机；11-直齿轮；12-第二齿条；13-箱体。

具体实施方式：

如图1-图9所示，本具体实施方式采用以下技术方案：它包含腔体1、机架2、旋转圆管3、传动轴4、第二螺旋齿轮5、齿轮6、第一齿条7、导槽8、导向轮9、减速机10、直齿轮11、第二齿条12、箱体13，腔体1上设置有机架2，机架2上并排安装有数个水平行进的旋转圆管3，旋转圆管3是由圆管3-1、三爪卡盘3-2、滑动轴承座3-3、固定轴承座3-4、滑槽3-5、丝杆3-6、丝母座3-7、手轮3-8和第一螺旋齿轮3-9组成，圆管3-1的两端分别安装有三爪卡盘3-2，其一端连接有滑动轴承座3-3，另一端连接有固定轴承座3-4，滑动轴承座3-3设置在滑槽3-5上，滑动轴承座3-3通过丝杆3-6与丝母座3-7连接，丝母座3-7与手轮3-8连接，固定轴承座3-4的一端连接有第一螺旋齿轮3-9，机架2的前端设置有传动轴4，传动轴4上均匀设置有数个第二螺旋齿轮5，且数个第二螺旋齿轮5与数个旋转圆管3一端的第一螺旋齿轮3-9相啮合，传动轴4的两端分别设置有齿轮6，且齿轮6与第一齿条7相啮合，第一齿条7设置在腔体1的两端，腔体1的两端还分别设置有导槽8，机架2的两侧分别安装有数个导向轮9，且数个导向轮9滑设在导槽8上，腔体1的一侧设置有减速机10，减速机10的轴上安装有直齿轮11，直齿轮11与第二齿条12相啮合，第二齿条12设置在机架2的一侧，腔体1的后方安装有箱体13。

其中，所述的机架2的一侧安装有数个限位轮2-1，限位轮2-1主要用于控制机架2水平行进中不易跑偏。

本具体实施方式在使用时，转动手轮3-8，通过丝母座3-7、丝杆3-6可使滑动轴承座3-3连同固定在上面的三爪卡盘3-2沿滑槽做轴向移动，利用均布在卡盘上活动爪的径向运动将圆管内径撑紧，在生产线上，旋转圆管3随机架2水平行进的同时在机架2上旋转，通过减速机10轴上的直齿轮11转动，驱动机架2上第二齿条12连同机架2水平行进，机架2水平行进中齿轮6通过与第一齿条7相对运动而转动，通过传动轴4、第二螺旋齿轮5、第一螺旋齿轮3-9带动旋转圆管3转动。

本具体实施方式中的齿轮6的齿数为Z1=17（避免根切最少齿数），模数为m1=3，齿轮转动一周机架2行进距离位S=πmz，第二螺旋齿轮位5Z2=11，第一螺旋齿轮3-9为Z3=23，旋转圆管3旋转一周机架2行进距离位H=πmz.11/23=76.6mm，选用的旋转阴极有效溅射区域宽约150-200mm，重叠系数在2以上。

本具体实施方式为了进一步消除因圆管自身旋转形成螺旋状膜层带的不均匀，还采用了孪生靶，孪生靶距为H/2（38.3）的奇数倍。选用191.57，这样，两靶在磁控溅射中在圆管表面形成螺旋状膜层带相差180°相互叠加进一步提高了圆管表面镀膜均匀性。

本具体实施方式结构设计合理，安装简单，使用方便，通过将圆管安装在特制机架上，在生产线上圆管随机架水平行进，同时绕自身轴线旋转，形成圆管式表面真空磁控镀膜连续生产，生产效率大幅度提高，满足了圆管表面镀膜均匀性要求。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。