用于刻蚀连续产品的设备的制作方法

文档序号:14116965阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于刻蚀连续产品的设备,所述连续产品包括连续基底和生长在所述连续基底上的石墨烯,所述设备包括:

供送装置,用于连续地供送所述连续产品;

刻蚀装置,设置在所述供送装置的下游,用于接收所述连续产品,其中所述刻蚀装置容纳有刻蚀药水,当所述连续产品穿过所述刻蚀装置时,所述刻蚀装置将刻蚀药水施加到所述连续产品上以将所述连续基底去除。

2.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述设备还包括位于所述刻蚀装置下游的水洗装置和位于所述水洗装置下游的干燥装置。

3.如权利要求2所述的设备,其特征在于,所述设备还包括位于所述干燥装置下游的卷式收料装置。

4.如权利要求1-3中任一项所述的设备,其特征在于,所述供送装置是卷式放料装置,所述卷式放料装置包括放料卷轴。

5.如权利要求3所述的设备,其特征在于,所述设备还包括:设置在所述干燥装置和所述卷式收料装置之间的自动纠偏对位装置。

6.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述设备包括一个或多个传感器,用于检测所述刻蚀药水的一项或多项参数。

7.如权利要求6所述的设备,其特征在于,所述设备还包括调节装置,所述调节装置与所述一个或多个传感器耦合,根据所述一个或多个传感器的检测结果,将所述刻蚀药水的一项或多项参数调节到预设的范围。

8.如权利要求7所述的设备,其特征在于,所述参数包括电导率、电极电位、比重、酸度、双氧水浓度、铜离子浓度中的一项或多项。

9.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述刻蚀装置包括喷头,所述喷头构造成将所述刻蚀药水喷射到穿过所述刻蚀装置的连续产品上,以去除所述基底。

10.如权利要求1所述的设备,其特征在于,所述刻蚀装置包括温度控制装置,所述温度控制装置包括温度传感器、加热器、冰水管路和控制器,所述温度传感器检测所述刻蚀药水的温度,所述控制器与所述温度传感器、加热器耦合,并控制所述冰水管路的通断和加热器的开启,从而当所述刻蚀药水的温度低于预设阈值时,所述控制器启动所述加热器以提高所述刻蚀药水的温度,当所述刻蚀药水的温度高于所述预设阈值时,所述控制器开通所述冰水管路,以降低所述刻蚀药水的温度。

11.如权利要求5所述的设备,其特征在于,所述自动纠偏对位装置包括光电感应器和马达,所述光电感应器感应所述连续产品的边缘,所述马达与所述光电感应器耦合,并根据所述光电感应器的信号调整所卷式收料装置的位置。

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