用于刻蚀连续产品的设备的制作方法

文档序号:14116965阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供一种用于刻蚀连续产品的设备,所述连续产品包括连续的基底和生长在所述基底上的石墨烯,所述设备包括:供送装置,用于供送所述连续产品;刻蚀装置,设置在所述供送装置的下游,用于接收所述连续产品,其中所述刻蚀装置容纳有刻蚀药水,当所述连续产品穿过所述刻蚀装置时,所述刻蚀药水将所述连续基底去除。本实用新型还提供一种刻蚀连续产品的方法,所述连续产品包括连续的基底和生长在所述基底上的石墨烯,所述方法包括:将包括连续基底和石墨烯的所述连续产品供送通过刻蚀药水,以去除所述连续产品上的所述基底。

技术研发人员:张洪涛;李涛;谭化兵
受保护的技术使用者:无锡格菲电子薄膜科技有限公司
文档号码:201720981297
技术研发日:2017.08.08
技术公布日:2018.04.06

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