技术总结
本实用新型提供一种晶圆研磨头，应用于化学机械研磨机，其中化学机械研磨机内设置研磨垫，包括研磨头本体上连接通气管路；连接环，与研磨头本体连接，连接环的内边缘设置第一螺纹；第一固定环与连接环连接，与通气管路相通形成一固定晶圆的腔体，第一固定环的外边缘的上部分设置与第一螺纹相匹配的第二螺纹；第二固定环，设置于第一固定环的外边缘的下部分，第二固定环的底部与第一固定环的底部相持平。有益效果在于：通过增加第二固定环，使得第一固定环的保持力均匀，不会发生变形，有效延长第一固定环的使用寿命，并且使得晶圆研磨头的研磨速率更加稳定，同时增加连接环，采用螺纹匹配的方式固定第一固定环，通过旋转的方式便于安装和拆卸。
技术研发人员：冯所利
受保护的技术使用者：晶晨半导体（深圳）有限公司
技术研发日：2018.05.03
技术公布日：2018.12.14