一种旋转工位真空蒸发镀膜机的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种旋转工位真空蒸发镀膜机。

背景技术：

真空蒸发镀膜是通过蒸发源蒸发靶材并在上方基材表面上凝结成膜，例如专利CN206127407U公开了一种旋转吊装真空镀膜室，通过蒸发源蒸发靶材在上方旋转的镀膜支架工件表面上凝结成膜；镀膜支架旋转设置可使得工件表面镀膜均匀。

连续式镀膜机可以在一次真空环境下对多个工件连续镀膜，提高了镀膜效率，但是按照现有的连续真空镀膜机的两种方式：

1、工件不动，蒸发源逐个工位移动，每个工件放置架都连接旋转机构，此种方式下需要设置隔板防止正在加工的气体环境扩散到上一已完成工位工件上，现有的挡板设置方式需要在挡板下方要留下供蒸发源移动的空间，气体容易通过此空间扩散上一工位；导致镀膜质量不高。

2、蒸发源不动，工件逐个工位移动，在挡板上只需预留一点间隙供工件移动，镀膜影响较小，但是工件安装架没办法设置成转动式的，导致每个工件镀膜不够均匀。

综上，我们设计了一种蒸发源不动，工件逐个工位移动的旋转工位真空蒸发镀膜机。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种旋转工位真空蒸发镀膜机，旨在解决现有蒸发源不动，工件逐个工位移动的连续镀膜机镀膜不够均匀的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种旋转工位真空蒸发镀膜机，包括真空室，所述真空室与真空泵连接，所述真空室为圆筒式，真空室内壁间隔设有两道与真空室上底面及下底面连接挡板，挡板朝真空室中心一面弧形凸起并对称设有两导向斜面，两挡板之间形成镀膜工位，镀膜工位下表面安装有蒸发源；

所述真空室顶部中心安装有转筒，真空室顶部安装有与转筒连接的主电机，转筒侧面安装若干导杆，每一导杆端部滑动套装有可伸入至镀膜工位的工件安装板，工件安装板与转筒之间连接有设于导杆外周的弹簧，且工件安装板上开孔安装有轴承，轴承内安装有正对蒸发源的工件放置块；工件放置块下表面用于固定工件，工件放置块上表面开有至少三个多边形槽；

所述镀膜工位顶部安装有升降机构，升降机构下端连接有电机放置架，电机放置架安装有输出轴朝下的副电机，且副电机输出轴端部固定有法兰盘，法兰盘下表面设有至少三根与多边形槽对应的多边形柱。

优选的，所述真空室外安装有设有与蒸发源、主电机、升降机构及副电机电线连接的电源箱，且电线在真空室上密封安装。

优选的，所述真空室侧面开口加工有舱门，舱门与真空室外壁之间通过铰链片连接，舱门与真空室开口通过密封条闭合后并通过螺栓机构紧固。

优选的，还包括基架，所述真空室固定于基架表面，真空泵安装于基架内。

优选的，所述升降机构为安装于真空室顶部的电机丝杆驱动机构，电机放置架安装于丝杆并在通过两根限位杆安装与镀膜工位内，丝杆转动驱动电机放置架在两根限位杆上下移动。

优选的，所述工件安装板内端套接固定有两侧对称并延伸至相邻挡板的弧形凸起端部的弧形盖板，且弧形盖板上端高于工件安装板，下端低于蒸发源6。

优选的，所述工件安装板前端为弧面。

优选的，所述工件放置块下表面固定安装有用于夹紧工件的夹具。

优选的，所述镀膜工位下表面还安装有离子源。

本实用新型的有益效果：避免影响已加工工件，且工件可转动镀膜，镀膜均匀，占用空间较小。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的结构原理图。

图3为本实用新型的工件安装板的安装示意图。

具体实施方式

如图1、2、3所示，一种旋转工位真空蒸发镀膜机，包括真空室1，所述真空室1与真空泵2连接，所述真空室1为圆筒式，真空室1内壁间隔设有两道与真空室1上底面及下底面连接挡板3，挡板3朝真空室1中心一面弧形凸起并对称设有两导向斜面4，两挡板3之间形成镀膜工位5，镀膜工位5下表面安装有蒸发源6；

所述真空室1顶部中心安装有转筒8，真空室1顶部安装有与转筒8连接的主电机9，转筒8侧面安装若干导杆10，每一导杆10端部滑动套装有可伸入至镀膜工位5的工件安装板11，工件安装板11与转筒8之间连接有设于导杆10外周的弹簧12，且工件安装板11上开孔安装有轴承13，轴承13内安装有正对蒸发源6的工件放置块14；工件放置块14下表面用于固定工件，工件放置块14上表面开有至少三个多边形槽15；

所述镀膜工位5顶部安装有升降机构16，升降机构16下端连接有电机放置架17，电机放置架17安装有输出轴朝下的副电机，且副电机输出轴端部固定有法兰盘18，法兰盘18下表面设有至少三根与多边形槽15对应的多边形柱19。

所述真空室1外安装有设有与蒸发源6、主电机9、升降机构16及副电机电线连接的电源箱7，且电线在真空室1上密封安装。

所述真空室1侧面开口加工有舱门20，且舱门20内壁与开口处挡板3表面贴合；舱门20与真空室1外壁之间通过铰链片21连接，舱门20与真空室1开口通过密封条闭合后并通过螺栓机构22紧固。

还包括基架23，所述真空室1固定于基架23表面，真空泵2安装于基架23内。

所述升降机构16为安装于真空室1顶部的电机丝杆驱动机构，电机放置架17安装于丝杆并在通过两根限位杆安装与镀膜工位5内，丝杆转动驱动电机放置架17在两根限位杆上下移动。

所述工件安装板11内端套接固定有两侧对称并延伸至相邻挡板3的弧形凸起端部的弧形盖板24，且弧形盖板24上端高于工件安装板11，下端低于蒸发源6。

所述工件安装板11前端为弧面。所述工件放置块14下表面固定安装有用于夹紧工件的夹具。

所述镀膜工位5下表面还安装有离子源。

本实用新型真空室1侧面开口加工有舱门20，且所述舱门20与真空室1开口通过密封条闭合后并通过螺栓机构22紧固，通过铰链片21连接；使得关闭之后形成一个完整的圆筒式真空室1；

将若干工件分别装夹于工件放置块14下表面后，关闭舱门20，抽真空，通过主电机9带动转筒8带动工件安装板11逐一进入镀膜工位5，可采用步进电机控制(现有技术)，而后通过电源箱14打开蒸发源12，依次操作镀膜，受两侧挡板3阻隔，与弧形盖板24进一步阻挡，防止蒸发进入相邻已完成工件的表面。

镀膜过程中，电机丝杆机构带动副电机下移，将多边形柱19插入工件放置块14的多边形槽15，随后副电机开启转动，使得该工件的镀膜均匀，保证镀膜质量。

转动过程中,工件安装板11会与挡板3的导向斜面4接触，沿导向斜面4移动，并在导杆10上前后移动，弹簧12控制伸缩与复位。运动至镀膜工位5时，再开启蒸发源6对工件进行镀膜，同时对接副电机后，副电机带动工件旋转，镀膜更加均匀，一次真空环境可连续操作多个工件。效率高，质量好,圆筒式设备占用空间较小。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。