一种晶粒抛光装置夹持件的制作方法

本发明涉及一种抛光台，具体为一种晶粒抛光装置夹持件。

背景技术：

为确保半导体器件的质量，现通常会对完成某些半导体制造工艺后的晶圆进行检测，对晶圆进行检测时，通常会将晶圆切割成微小的晶粒(4-6平方毫米左右)，之后在如图1所示的现有技术的简易抛光机台上进行抛光从而形成需要的检测面(包括平面、断面和斜面)。现有技术的简易抛光机台具有基座和设置在基座上用于抛光晶粒的抛光台，在抛光台上抛光晶粒时，需操作人员手持晶粒进行抛光且通过人工施加压力来控制抛光。

这种剖光设备具有如下缺点，人工手持，可能会在剖光时出现误差，并且剖光的时间难以控制，工作人员需要反复对剖光程度进行确认，以免剖光过度，这种方式浪费时间。

技术实现要素：

本发明目的在于提供一种晶粒抛光装置夹持件，以解决上述背景技术中提出的人工手持可能会在剖光时出现误差，工作人员需要反复对剖光程度进行确认导致浪费时间的问题。

一种晶粒抛光装置夹持件，包括基座和抛光台，还包括

夹持组件，所述夹持组件用于固定晶粒，所述夹持组件包括夹持部和与夹持部固定连接的支撑杆；

升降组件，所述升降组件可调节夹持装置的高度，升降组件包括

升降台，所述升降台架设于抛光台上方，且高度可调，位于抛光台正上方的升降台中部开设有条形通孔，所述支撑杆可转动的设置于条形通孔内；

底座，所述底座固定在抛光台侧边；

调节螺杆，所述调节螺杆下端与底座固定连接，所述调节螺杆上端穿过升降台，且与调节螺杆端部螺接调节螺母；

调节弹簧，调节弹簧套设在调节螺杆上，

调节弹簧对升降台进行弹性支撑。

优选的，所述夹持部包括

本体，所述本体向内凹设有夹持槽，所述夹持槽上设有若干滑道；

若干柱塞杆，所述柱塞杆与滑道对应设置；

连接腔体，所述滑道的端部通过连接腔体连通，所述连接腔体与外界连通；

密封栓，所述密封栓设于连接腔体与外界连通处；

夹持杆，所述夹持杆可滑动穿过本体，且夹持杆位于夹持槽内的一端固定连接有橡胶球。

优选的，所述夹持杆上设有限位组件，所述限位组件包括棘轮和棘轮杆，所述夹持杆一端设有齿牙，所述棘轮与齿牙配合连接，所述棘轮杆与棘轮配合连接，所述棘轮杆通过滑动杆与夹持槽侧壁滑动连接。

优选的，所述滑动杆一端凸设有限位凸起，所述限位凸起上套设有复位弹簧，滑动杆通过复位弹簧完成棘轮杆的复位。

优选的，还包括角度调节组件，所述调节组件对所述支撑杆的转动角度进行调节，所述调节组件包括

调节板，所述调节板水平设置于升降台上方，所述调节板中部设有条形滑槽，所述调节板下表面两端部向下凸设有限位板，所述限位板可滑动的插入到所述升降台中；

至少一个t型滑块，t型滑块滑动设置于条形滑槽内，t型滑块下端设有矩形通孔，所述矩形通孔与支撑杆上端连接；

丝杆，丝杆穿设于调节板中部，与t型滑块配合连接。

优选的，t型滑块下端的矩形孔与支撑杆上端通过螺栓可移动连接。

优选的，丝杆的伸出端设有转盘。支撑杆通过铰接杆与条形通孔内部转动连接。

优选的，调节板下表面两端部向下凸设有多根限位杆，限位杆可滑动的插入到升降台中。

本发明的有益效果为：将待抛光的晶粒放置在夹持槽内部后，向内推动夹持杆，夹持杆在限位组件的作用下，只能做出单向运动，橡胶球碰到不规则晶粒后，会发生变形，且不会破坏晶粒表面，晶粒嵌入到夹持槽内部后，柱塞杆根据晶粒的外形不同，发生不同程度的位移，且连接墙体内保持密封，空气受压后存在一定的缓冲力对晶粒进行固定，且不会破坏晶粒表面，夹持杆做成倾斜状，可以更好的固定晶粒的位置，防止晶粒脱落和滚动，当需要取下晶粒时，只需要推动滑动杆，使得棘轮杆与棘轮分离即可。

将待抛光的晶粒安装在夹持部上，通过调节升降组件的高度，来对晶粒的高度进行调节，具体的调整方法是，转动调节螺母，调节螺母与调节螺杆螺接，当调节螺母向下移动时，带动升降台发生同步的下移，通过调节螺母进行调节，升降台的位移变化比较慢，由于晶粒的尺寸非常小，通过这种微调的方式，可以更好的对晶粒的精度进行把握，调节弹簧对升降台具有支撑作用，在调节弹簧的作用下，升降台对调节螺母施加一个向上的力，保证了调节螺母的自锁，防止调节螺母自由转动。将晶粒的压在抛光台上后，启动抛光台对晶粒进行抛光，调节过程中，如果不满意，可以继续转动调节螺母进行进一步的抛光。并且通过支撑杆的转动，还能对晶粒的抛光角度进行调节，并且可以再抛光过程中进行操作，不需要将晶粒重新取下调整好角度再进行剖光，这种方式节省时间，并且节约了人力成本。

转动丝杆，随着丝杆的转动，t型滑块在条形滑槽中发生移动，由于t型滑块与支撑杆铰接，支撑杆与条形通孔转动连接，故t型滑块的移动，带动支撑杆绕其与条形通孔转动连接处转动，并以此改变了晶粒的抛光角度，此时再通过转动调节螺母对晶粒的高度进行调节。条形滑槽内可同时设置多个t型滑块，对多个夹持部进行角度调节，可以同时对多个晶粒进行抛光，提高了工作效率。

附图说明

图1为本发明具体实施方式所述的晶粒抛光装置主剖视图；

图2为本发明具体实施方式所述的支撑杆左视图；

图3为本发明具体实施方式所述的调节板仰视图；

图4为本发明具体实施方式所述的夹持部剖视图；

图5为图4中a处局部放大图。

具体实施方式

为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。

如图1至图5所示，一种晶粒抛光装置夹持件，包括基座2和抛光台1，还包括

夹持组件，夹持组件用于固定晶粒，夹持组件包括夹持部43和与夹持部43固定连接的支撑杆41；

升降组件，升降组件可调节夹持装置的高度，升降组件包括

升降台11，升降台11架设于抛光台1上方，且高度可调，位于抛光台1正上方的升降台11中部开设有条形通孔，支撑杆41可转动的设置于条形通孔内；

底座10，底座10固定在抛光台1侧边；

调节螺杆31，调节螺杆31下端与底座10固定连接，调节螺杆31上端穿过升降台11，且与调节螺杆31端部螺接调节螺母32；

调节弹簧33，调节弹簧33套设在调节螺杆31上，调节弹簧33对升降台11进行弹性支撑。

所述夹持部包括

本体，所述本体向内凹设有夹持槽433，所述夹持槽433上设有若干滑道434；

若干柱塞杆431，所述柱塞杆431与滑道434对应设置；

连接腔体435，所述滑道434的端部通过连接腔体435连通，所述连接腔体435与外界连通；

密封栓8，所述密封栓8设于连接腔体435与外界连通处；

夹持杆，所述夹持杆可滑动穿过本体，且夹持杆位于夹持槽433内的一端固定连接有橡胶球436。

所述夹持杆上设有限位组件，所述限位组件包括棘轮4310和棘轮杆4313，所述夹持杆一端设有齿牙，所述棘轮4310与齿牙配合连接，所述棘轮杆4313与棘轮4310配合连接，所述棘轮杆4313通过滑动杆4311与夹持槽433侧壁滑动连接。

所述滑动杆4311一端凸设有限位凸起438，所述限位凸起438上套设有复位弹簧，滑动杆4311通过复位弹簧完成棘轮杆4313的复位。

将待抛光的晶粒放置在夹持槽433内部后，向内推动夹持杆439，夹持杆439在限位组件的作用下，只能做出单向运动，橡胶球436碰到不规则晶粒后，会发生变形，且不会破坏晶粒表面，晶粒嵌入到夹持槽433内部后，柱塞杆431根据晶粒的外形不同，发生不同程度的位移，且连接墙体435内保持密封，空气受压后存在一定的缓冲力对晶粒进行固定，且不会破坏晶粒表面，夹持杆439做成倾斜状，可以更好的固定晶粒的位置，防止晶粒脱落和滚动，当需要取下晶粒时，只需要推动滑动杆4311，使得棘轮杆4313与棘轮4310分离即可。

将待抛光的晶粒安装在夹持部431上，通过调节升降组件的高度，来对晶粒的高度进行调节，具体的调整方法是，转动调节螺母32，调节螺母32与调节螺杆31螺接，当调节螺母32向下移动时，带动升降台11发生同步的下移，通过调节螺母32进行调节，升降台11的位移变化比较慢，由于晶粒的尺寸非常小，通过这种微调的方式，可以更好的对晶粒的精度进行把握，调节弹簧33对升降台11具有支撑作用，在调节弹簧33的作用下，升降台11对调节螺母32施加一个向上的力，保证了调节螺母32的自锁，防止调节螺母32自由转动。将晶粒的压在抛光台1上后，启动抛光台1对晶粒进行抛光，调节过程中，如果不满意，可以继续转动调节螺母32进行进一步的抛光。并且通过支撑杆41的转动，还能对晶粒的抛光角度进行调节，并且可以再抛光过程中进行操作，不需要将晶粒重新取下调整好角度再进行剖光，这种方式节省时间，并且节约了人力成本。

还包括角度调节组件，调节组件对支撑杆41的转动角度进行调节，调节组件包括

调节板7，调节板7水平设置于升降台11上方，调节板7中部设有条形滑槽，调节板7下表面两端部向下凸设有限位板9，限位板9可滑动的插入到升降台11中；

至少一个t型滑块5，t型滑块5滑动设置于条形滑槽内，t型滑块5下端设有矩形通孔，所述矩形通孔与支撑杆41上端连接；

丝杆6，丝杆6穿设于调节板7中部，与t型滑块5配合连接。

t型滑块5下端的矩形孔与支撑杆41上端通过螺栓可移动连接。

丝杆6的伸出端设有转盘61。支撑杆41通过铰接杆111与条形通孔内部转动连接。

转动丝杆6，随着丝杆6的转动，t型滑块5在条形滑槽中发生移动，由于t型滑块5与支撑杆41铰接，支撑杆41与条形通孔转动连接，故t型滑块5的移动，带动支撑杆41绕其与条形通孔转动连接处转动，并以此改变了晶粒的抛光角度，此时再通过转动调节螺母32对晶粒的高度进行调节。条形滑槽内可同时设置多个t型滑块5，对多个夹持部43进行角度调节，可以同时对多个晶粒进行抛光，提高了工作效率。

作为本发明的另一个实施例

调节板7下表面两端部向下凸设有多根限位杆9，限位杆9可滑动的插入到升降台11中。限位杆9可滑动的插入到升降台11中，以此对调节板7的角度进行固定，保证了调节板7始终处于水平状态。

具体工作原理及步骤：将待抛光的晶粒放置在夹持槽433内部后，向内推动夹持杆439，夹持杆439在限位组件的作用下，只能做出单向运动，橡胶球436碰到不规则晶粒后，会发生变形，且不会破坏晶粒表面，晶粒嵌入到夹持槽433内部后，柱塞杆431根据晶粒的外形不同，发生不同程度的位移，且连接墙体435内保持密封，空气受压后存在一定的缓冲力对晶粒进行固定，且不会破坏晶粒表面，夹持杆439做成倾斜状，可以更好的固定晶粒的位置，防止晶粒脱落和滚动，当需要取下晶粒时，只需要推动滑动杆4311，使得棘轮杆4313与棘轮4310分离即可。

将待抛光的晶粒安装在夹持部431上，通过调节升降组件的高度，来对晶粒的高度进行调节，具体的调整方法是，转动调节螺母32，调节螺母32与调节螺杆31螺接，当调节螺母32向下移动时，带动升降台11发生同步的下移，通过调节螺母32进行调节，升降台11的位移变化比较慢，由于晶粒的尺寸非常小，通过这种微调的方式，可以更好的对晶粒的精度进行把握，调节弹簧33对升降台11具有支撑作用，在调节弹簧33的作用下，升降台11对调节螺母32施加一个向上的力，保证了调节螺母32的自锁，防止调节螺母32自由转动。将晶粒的压在抛光台1上后，启动抛光台1对晶粒进行抛光，调节过程中，如果不满意，可以继续转动调节螺母32进行进一步的抛光。并且通过支撑杆41的转动，还能对晶粒的抛光角度进行调节，并且可以再抛光过程中进行操作，不需要将晶粒重新取下调整好角度再进行剖光，这种方式节省时间，并且节约了人力成本。

转动丝杆6，随着丝杆6的转动，t型滑块5在条形滑槽中发生移动，由于t型滑块5与支撑杆41铰接，支撑杆41与条形通孔转动连接，故t型滑块5的移动，带动支撑杆41绕其与条形通孔转动连接处转动，并以此改变了晶粒的抛光角度，此时再通过转动调节螺母32对晶粒的高度进行调节。条形滑槽内可同时设置多个t型滑块5，对多个夹持部43进行角度调节，可以同时对多个晶粒进行抛光，提高了工作效率。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。