靶材背板的制作方法

本实用新型涉及溅射镀膜领域，特别涉及一种靶材背板。

背景技术：

靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料，最主要使用在微电子，显示器，存储器以及光学镀膜等产业上。

溅射镀膜是利用离子源产生的离子轰击在靶材表面，使靶原子离开靶被溅射出来，随后沉积在基体表面的过程。溅射镀膜具有以下显著的优点：膜层的结合力强，膜厚稳定性较好，而且膜层厚度不会变化，膜厚的稳定性可归结为膜厚良好的可控性和重复性。

目前，在进行靶材溅射镀膜时，高速度流的离子束流轰击靶材表面，会使靶材产生大量的热量，从而使靶材温度升高，会影响镀膜质量。

技术实现要素：

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种靶材背板，能够降低靶材在溅射镀膜过程中的温度，提升镀膜质量。

根据本实用新型实施例的一种靶材背板，包括：背板主体，正面设置有靶材，背面设置有流道，所述流道具有进液口和出液口，所述流道可供冷却液流动；盖板，设置于所述背板主体的背面并遮盖所述流道；密封圈，设置于所述盖板与所述流道之间，用于密封所述流道。

至少具有如下有益效果：使用时，可将靶材设置于背板主体的正面，使冷却液可从位于背板主体背面的流道进液口流入，从出液口流出，冷却液可将位于背板主体正面的靶材的热量带走，从而降低靶材在溅射镀膜过程中的温度，进而可提升镀膜质量。此外，设置于盖板与流道之间的密封圈可对流道起到密封作用。

根据本实用新型的一些实施例，所述流道呈u型，所述进液口和所述出液口位于所述背板主体的同一端。

根据本实用新型的一些实施例，所述进液口的宽度及所述出液口的宽度均沿所述背板主体的长度方向由所述背板主体的内部向所述背板主体的外部逐渐减小。

根据本实用新型的一些实施例，所述盖板呈与所述流道相契合的u型，所述盖板在与所述进液口和所述出液口相对应的区域分别开设有进液口避让槽及出液口避让槽，所述进液口避让槽及所述出液口避让槽的宽度均小于所述流道的宽度。

根据本实用新型的一些实施例，所述背板主体与所述盖板在对应于所述进液口避让槽及所述出液口避让槽的位置均设置有凹陷部，所述凹陷部的尺寸大于所述进液口避让槽的尺寸及所述出液口避让槽的尺寸。

根据本实用新型的一些实施例，呈u型的所述流道的两条边线的中心距为80mm至90mm。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本实用新型实施例的结构示意图；

图2为图1中a处的局部放大图；

图3为本实用新型实施例中的背板主体结构示意图；

图4为图3中b-b向的剖视图；

图5为本实用新型实施例中的盖板结构示意图。

附图标记：背板主体100、流道110、进液口111、出液口112、盖板200、进液口避让槽210、出液口避让槽220、凹陷部230。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，本实用新型中的靶材并非本实用新型的结构，靶材的引入是为了说明结构和或功能。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

参照图1至图5，本实用新型公开了一种靶材背板，包括背板主体100、盖板200和密封圈。

其中，背板主体100，正面设置有靶材，背面设置有流道110，流道110具有进液口111和出液口112，流道110可供冷却液流动，盖板200设置于背板主体100的背面并遮盖流道110，密封圈设置于盖板200与流道110之间，用于密封流道110。

可以理解的是，使用时，可将靶材设置于背板主体100的正面，使冷却液可从位于背板主体100背面的流道110进液口111流入，从出液口112流出，冷却液可将位于背板主体100正面的靶材的热量带走，从而降低靶材在溅射镀膜过程中的温度，进而可提升镀膜质量。此外，设置于盖板200与流道110之间的密封圈可对流道110起到密封作用。

参照图3和图5，在本实用新型的一些实施例中，流道110呈u型，进液口111和出液口112位于背板主体100的同一端。呈u型的流道110可以增加对靶材的冷却面积，从而提升冷却效果；进液口111和出液口112位于背板主体100的同一端可方便冷却液的循环，其中，进液口111和出液口112均与外部冷却系统相连接，从出液口112流出的冷却液可进入外部冷却系统进行循环使用。

此外，参照图2，在本实用新型的一些实施例中，盖板200呈与流道110相契合的u型，盖板200在与进液口111和出液口112相对应的区域分别开设有进液口避让槽210及出液口避让槽220，进液口避让槽210及出液口避让槽220的宽度均小于流道110的宽度。其中，进液口111和出液口112可以直接与外部冷却系统在背板主体100上相连接，也可以通过设置于盖板200上的进液口避让槽210及出液口避让槽220与外部冷却系统相连接，其中，进液口避让槽210及出液口避让槽220分别与进液口111和出液口112对应设置。具体地，上述外部冷却系统为可将具有热量的冷却液收集后进行冷却，并使冷却后的冷却液重新流入流道110的一种冷却系统。

具体地，当冷却液由外部经进液口避让槽210流入流道110内时，由于流经的截面由小变大，冷却液的流速会提高，可加快冷却液对靶材的冷却；当冷却液由流道110内径出液口避让槽220向外部流出时，由于流经的截面由大变小，冷却液的流动会受到阻碍而降低速度，可以降低冷却液流入外部冷却系统的流速，对外部冷却系统起到保护作用。

在本实用新型的一些实施例中，进液口111的宽度及出液口112的宽度均沿背板主体100的长度方向由背板主体100的内部向背板主体100的外部逐渐减小。可以理解的是，当冷却液由外部流入流道110内时，由于流经的截面由小变大，冷却液的流速会提高，可加快冷却液对靶材的冷却；当冷却液由流道110内向外部流出时，由于流经的截面大变小，冷却液的流动会受到阻碍而降低速度，可以降低冷却液流入外部冷却系统的流速，对外部冷却系统起到保护作用。

参照图2，在本实用新型的一些实施例中，背板主体100与盖板200在对应于进液口避让槽210及出液口避让槽220的位置均设置有凹陷部230，凹陷部230的尺寸大于进液口避让槽210的尺寸及出液口避让槽220的尺寸。在对接外部冷却系统的管路时，凹陷部230可使管路与进液口避让槽210及出液口避让槽220的位置对齐，方便安装。

在本实用新型的一些实施例中，呈u型的流道110的两条边线的中心距为80mm至90mm。位于u型的两条边线上的流道110不可距离过大，否则会影响靶材的冷却效果，但如果距离过小则不宜加工，因此可将中心距控制在80mm至90mm。

此外，本实用新型一些实施例中的靶材背板的制作过程如下：准备相应尺寸的背板主体100，在背板主体100的背面加工出流道110，背板主体100上正面和背面的厚度均留有余量；加工盖板200，使盖板200可遮盖流道110，盖板200的厚度留有余量；将密封圈设置于盖板200与流道110之间，对背板主体100及盖板200进行焊接，使背板主体100及盖板200组合为靶材背板半成品；对以上组合后的靶材背板半成品进行调平；使用数控机床对靶材背板半成品进行粗加工，减少靶材背板半成品上正面和背面的厚度的部分余量；消除靶材背板半成品的内部残余应力；使用数控机床对靶材背板半成品进行精加工，减少靶材背板半成品上正面和背面的厚度的全部余量；对流道110进行测漏试验，以得到靶材背板。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。