Led蒸发台镀锅装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及发光二极管镀膜设备技术领域，特别是蒸镀工艺中使用的蒸发台镀锅装置的结构技术。
【背景技术】
[0002]高亮度AlGaInP发光二极管已广泛应用于高效固态照明领域中，如显示屏、汽车用灯、背光源、交通信号灯、景观照明等。蒸镀机是制造高亮度发光二极管器件镀膜工艺的常用设备，发光二极管的蒸镀工艺技术是其大规模生产的关键技术，其工作原理是在高真空的镀膜腔室内，利用高能电子束或热阻对待镀膜的材料进行加热，从而使待镀膜的材料形成蒸汽，沉积在晶片表面并形成一定厚度的薄膜镀层。
[0003]在实际的生产使用过程中，为了充分利用蒸镀机腔室的有限空间，会最大化地设计出配套的镀锅装置，即设计出单锅载片量最大化，同时要求镀锅的结构强度足够。
[0004]为了提高一次性蒸镀效率，也为了降低不锈钢镀锅架的自重，现有的镀锅装置的镀锅架一般采用镂空结构，以增加附加的载片台来放置LED基板，但是其上的载片台是布置在各个对应的镂空部位上，以致形成的镀锅装置上各载片台的周围没有镂空出足够的空间，这样在生产过程中不利于装片和下片作业使用，特别是对于大尺寸LED基板和破片的放置，不便于放置和使用普通的弹簧夹固定在载片台上，经常造成LED基板碎裂和掉落，导致生产效率降低。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于克服以上技术的不足，提出一种便于灵活放置和固定大尺寸LED基板和破片的LED蒸发台镀锅装置。
[0006]本发明包括镀锅架，在镀锅架上设置若干镂空部，在镀锅架上还布置若干载片台，其特点是:各载片台布置在相邻的两个镂空部之间。
[0007]本发明的以上设计，使在各载片台的两侧分别有足够的镂空空间，这样有利于在实际生产过程中的装片和下片作业使用，特别是对于大尺寸LED基板和破片的放置，有利于灵活的放置和固定大尺寸LED基板和破片，便于采用破片弹簧夹进行夹片固定，有效地避免了 LED基板的碎裂和掉落，降低了 LED芯片损失成本，极大地提高了蒸发台的生产效率。本发明结构简单、安装方便。
【附图说明】
[0008]图1为本发明的一种结构示意图。
【具体实施方式】
[0009]图1示出了 LED蒸发台镀锅装置的背面结构示意图，本发明设有呈圆形的镀锅架1，在镀锅架I上的两个圆周上分别均匀布置设置若干圆形的镂空部如21、22，同时在镀锅架I的两个圆周上还分别布置若干呈圆形的载片台3，各载片台3分别布置在位于同一圆周上的两个相邻的镂空部21和22之间。通过设计各镂空部2的面积，以使在各载片台3的两侧分别有足够的镂空空间，利于生产过程的装片和下片作业。
[0010]镀锅架I和各载片台3均采用具有耐高温、强度高、耐腐蚀特性的材料制成，如316不锈钢，厚度为2-3mm，避免使用过程中的损伤。
【主权项】
1.LED蒸发台镀锅装置，包括镀锅架，在镀锅架上设置若干镂空部，在镀锅架上还布置若干载片台，其特征在于各载片台布置在相邻的两个镂空部之间。
【专利摘要】LED蒸发台镀锅装置，涉及发光二极管镀膜设备技术领域，在镀锅架上设置若干镂空部，在镀锅架上还布置若干载片台，其特点是：各载片台布置在相邻的两个镂空部之间。以上设计，使在各载片台的两侧分别有足够的镂空空间，这样有利于在实际生产过程中的装片和下片作业使用，特别是对于大尺寸LED基板和破片的放置，有利于灵活的放置和固定大尺寸LED基板和破片，便于采用破片弹簧夹进行夹片固定，有效地避免了LED基板的碎裂和掉落，降低了LED芯片损失成本，极大地提高了蒸发台的生产效率。本发明结构简单、安装方便。
【IPC分类】C23C14-50
【公开号】CN104726840
【申请号】CN201510143104
【发明人】陈亮, 李波, 郭冠军, 肖和平, 杨昊, 陈宝
【申请人】扬州乾照光电有限公司
【公开日】2015年6月24日
【申请日】2015年3月30日