图5为沿图4的1-1 ’线截取的剖面图。以下，参照图4及图5对所述蒸镀源200进行详细说明。
[0079]如图4所示，所述蒸镀源200包括收容部210和包裹所述收容部210的外侧的温度控制单元220。所述蒸镀源200布置在由所述第二方向D2和所述第三方向D3定义的所述真空腔室100的底部。
[0080]如图4及图5所示，所述收容部210可具有定义有预定的内部空间的六面体的形状。所述内部空间由底面以及从所述底面朝所述第一方向Dl延伸的外侧面定义，其中所述底面由所述第二方向D2及所述第三方向D3定义。另一方面，在另一实施例中，所述收容部210可具有圆形形状、正六面体形状等多种形状，不局限于某一个实施例。
[0081 ] 如图4及图5所示，所述内部空间内收容有蒸镀物TF-L。所述蒸镀物TF-L可以是液态或固态。所述蒸镀物TF-L从外部接收热而相变成所述被气化的蒸镀物TF-G，并释放到所述收容部210的外部。
[0082]所述收容部210包括至少一个排出口。在本实施例中，所述收容部210包括多个排出口 NZ1、NZ2。所述被气化的蒸镀物TF-G从所述多个排出口 NZ1、NZ2释放。
[0083]所述多个排出口 NZ1、NZ2沿所述收容部210的长度方向(例如，第三方向D3)相互分隔而布置。所述多个排出口 NZ1、NZ2的数量越多，则排出所述被气化的蒸镀物TF-G的通道越多，所以可容易地调节所排出的气化量，且可容易地形成均匀的蒸镀薄膜TF。
[0084]如图4及图5所示，所述温度控制单元220可由多个温度控制部221?223构成。所述多个温度控制部221?223包括相互分隔而布置的第一温度控制部221、第二温度控制部222、第三温度控制部223。另一方面，在另一实施例中，所述温度控制单元220可一体地形成。
[0085]如图5所示，所述第一温度控制部221以包裹所述收容部210的上部的外侧面的方式布置。所述第一温度控制部221包括直接布置于所述收容部210的所述外侧面的加热部221-H及布置于所述加热部221-H的外侧的冷却部221-C。所述第一温度控制部221主要对所述收容部210的所述内部空间中的、所述蒸镀物TF-L被气化的区域(即，形成所述被气化的蒸镀物TF-G的区域)的温度进行控制。所述第一温度控制部221防止所述被气化的蒸镀物TF-G失去内部能量而液化或结晶化为所述蒸镀物TF-L。
[0086]如图5所示，所述第二温度控制部222以包裹所述收容部210的下部的外侧面的方式布置。所述第二温度控制部222包括直接布置于所述收容部210的所述外侧面的加热部222-H及布置于所述加热部222-H的外侧的冷却部222-C。
[0087]所述第二温度控制部222主要对所述收容部210的所述内部空间中的、布置有所述蒸镀物TF-L的区域的温度进行控制。所述第二温度控制部222使所述蒸镀物TF-L的内部能量增加，以使所述蒸镀物TF-L相变成所述被气化的蒸镀物TF-G。
[0088]如图5所示，所述第三温度控制部223布置在所述收容部210的下侧。所述第三温度控制部223在平面上与所述收容部210重叠，且可以朝所述收容部210的外侧延伸。所述第三温度控制部223包括直接布置于所述收容部210的下侧的加热部223-H及布置于所述加热部223-H的下侧的冷却部223-C。
[0089]所述第三温度控制部223对所述收容部210的所述内部空间中的、布置有所述蒸镀物TF-L的整个区域的温度进行控制。所述第三温度控制部223使所述蒸镀物TF-L的具有最为低的内部能量的部分蒸镀物的内部能量增加。
[0090]所述第一温度控制部221至第三温度控制部223可相互独立地运行。根据本发明的蒸镀源200包括相互分隔布置的所述第一温度控制部221至第三温度控制部223，因而能够在所有区域上均匀地加热所述蒸镀物TF-L，且能够有效地控制所述收容部210的温度。
[0091]所述温度控制单元220通过所述加热部221-H、222-H、223-H及所述冷却部221-C、222-C、223-C的操作来控制所述收容部210的温度。关于此，参照图6及图7进行说明。
[0092]图6为根据本发明的一实施例的加热部的平面图。在图6中，以所述第三温度控制部的加热部223-H(以下，记载为“加热部”)为示例进行了示出。所述加热部223-H包括多个加热线路HL。所述加热部223-H使所述收容部210的温度增加。
[0093]所述加热线路HL可包括高阻抗的金属。如图6所示，所述加热线路HL可分隔而布置。每个所述加热线路HL被形成所述加热部223-H的外观的主体部BD包裹，从而能够得到保护而不会受到相邻的其他构成要素的影响。
[0094]每个所述加热线路HL可形成预定的加热区域HA。每个所述加热线路HL可按加热区域HA分别独立地工作。每个所述加热线路HL基于所述算出的气化量而加热所对应的加热区域HA。越是细分化所述加热区域HA，所述加热部223-H越能够局部地控制所述收容部210的温度。
[0095]每个所述加热线路HL可布置为具有至少一个弯曲的形状。对于所述加热线路HL而言，包含的弯曲越多，则在相同的加热区域HA内所占的比率越增加。越使所述加热线路HL所占的比率增加，则越能够容易地增加布置有所述加热部223-H的收容部210的温度，能够缩短用于生成所述被气化的蒸镀物TF-G的时间。
[0096]图7为根据本发明的一实施例的冷却部的平面图。在图7中，以所述第三温度控制部的冷却部223-C(以下，记载为“冷却部”)为示例进行了示出。所述冷却部223-C使所述收容部210的温度降低。
[0097]如图7所示，所述冷却部223-C包括第一冷却线路CLl及第二冷却线路CL2。所述第一冷却线路CLl及所述第二冷却线路CL2相互并排地布置。另一方面，在另一实施例中，所述第一冷却线路CLl及所述第二冷却线路CL2可以以降低相互分隔而形成独立的区域的温度的方式布置。
[0098]所述第一冷却线路CLl和所述第二冷却线路CL2可分别被布置为具有至少一个弯曲的形状。对于所述第一冷却线路CLl和所述第二冷却线路CL2而言，具有越多的弯曲，则在预定区域内所占的比率越增加。越使所述第一冷却线路CLl和所述第二冷却线路CL2所占的比率增加，则越能够容易地降低由所述冷却部223-C控制的所述收容部210的温度。
[0099]如图7所示，在所述第一冷却线路CLl和所述第二冷却线路CL2中流有冷却流体。所述冷却线路CLl、CL2分别具有用于使所述冷却流体流入的入口 CL1-A、CL2-A和用于使所述冷却流体流出的出口 CL 1-B、CL2-B。
[0100]所述第一冷却线路CLl内的冷却流体和所述第二冷却线路CL2内的冷却流体沿互不相同的方向移动。例如，所述第一冷却线路CLl的入口 CLl-A在平面上布置于下侧，且可以与所述第二冷却线路CL2的出口 CL2-B相邻而布置。用于使所述冷却流体流出的出口CLl-B布置于上侧，且可以与所述第二冷却线路CL2的入口 CL2-A相邻而布置。
[0101]根据本发明的蒸镀源200包含用于使冷却流体沿互不相同的方向移动的冷却线路，因此能够有效地降低所述收容部210的温度，且可容易地控制所述被气化的蒸镀物TF-G的释放量。
[0102]图8为根据本发明的一实施例的蒸镀装置的侧面图。如图8所示，所述蒸镀装置还可包括用于移动所述气化量计算单元的移动部件400。所述移动部件400包括彼此分开而布置的第一移动部410及第二移动部420。
[0103]所述第一移动部410可包括主体部411和布置于所述主体部11的一面上的支撑部412。所述第一移动部410控制所述能量照射部310的位移。
[0104]所述主体部411包括至少一个滑动部41 l-Η。所述滑动部411_H沿所述主体部411的一个方向，例如沿所述第三方向D3延伸而形成。所述滑动部411-H与所述能量照射部310移动的路径相对应。
[0105]所述支撑部412其一面结合于所述滑动部411-H，另一面与所述能量照射部310结合，所述支撑部412支撑所述能量照射部310，且使所述能量照射部310沿着所述滑动部411-H移动。
[0106]所述第二移动部420在所述第二方向D2上与所述第一移动部410相面对地分隔而布置。所述第二移动部420控制所述测量部320的位移。所述第二移动部420可包括与所述第一移动部410相同的构成要素。
[0107]所述移动部件400控制所述能量照射部310和所述测量部320使它们平行移动。例如，所述气化量计算单元300算出从所述第一排出口 NZl沿所述第一方向Dl分隔的上侧的所述被气化的蒸镀物TF-G的气化量之后，借助所述移动部件400而移动，由此可顺序地算出所述第二排出口 NZ