式的刷子单元相比，能够更高效地研磨。
[0143] 另一方面，在仅利用研磨刷子的自转研磨工件的情况下，在比较例1~3中去毛刺 能力以及倒圆角能力都不足。如比较例4所示通过使自转速度上升，从而使去毛刺能力以 及针对大径贯通孔的倒圆角能力的评价为"〇"，但针对小径孔的倒圆角能力评价为" X "。 其结果表示，利用本发明的刷子单元进行的研磨与仅通过研磨刷子的自转研磨工件的方法 相比，研磨的能力优良。
[0144] 另外，根据实施例1~实施例12可知，若加快自转速度则研磨的能力提高（例如， 比较实施例1与2)，若加快公转速度，则能够均匀地研磨整体（例如，比较实施例6与实施 例7)。
[0145] 在实施例4、实施例12、比较例4中，刷子毛材与工件的被加工面接触的轨迹如图 12的示意图所示。轨迹密的表示刷子毛材接触工件的被加工面的机会多，所以研磨的能力 高。如图12所示，比较例4的轨迹彼此的间隔最大。接着，按照实施例4、实施例12的顺 序，轨迹的间隔变密。另外，在比较例4中存在刷子毛材不接触工件的区域，而在实施例4 以及实施例12中刷子毛材与工件整体接触。图12的结果表示与如比较例那样仅通过自转 来研磨的刷子研磨装置相比，具备本发明的刷子单元的刷子研磨装置的研磨能力高。而且， 可知具备第二实施方式的刷子单元的刷子研磨装置的研磨能力更高。
[0146] 工业上的利用可能性
[0147] 在实施方式中说明了阀板的研磨，但本发明的刷子单元不限定于该加工。例如， 能够适用于离合器片、烧结齿轮等金属制的机械部件的倒圆角加工、去毛刺、表面的平滑化 等。
[0148] 在实施方式中说明了以角部的倒圆角为目的的研磨，但本发明的刷子单元也可以 适用于以被加工面的平滑化为目的的研磨。例如，若测定实施例10的平面部的表面粗糙度 Ra (由JIS B0601 :1994规定），则研磨前为12 μ m，而研磨后成为1.0 μ m。由此得出，本发 明的刷子单元能够适用于以工件的平滑化为目的的研磨。
[0149] 另外，适当改变刷子毛材的材质，从而能够适用于硅块、水晶、陶瓷等硬脆材料的 研磨。利用本发明的刷子研磨装置研磨工件，从而能够进行工件的表层部的微裂纹的除去、 表面的平滑化。例如在将工件切片加工而制造晶圆的情况下，通过该加工，能够抑制在切片 加工时由微裂纹引起的破裂、缺欠的产生。其结果是，制品成品率提高。
[0150] 以下，集中表示在本说明书以及附图中使用的主要附图标记。
[0151] 01…刷子单元（第一实施方式）；10…研磨刷子；11···旋转部件；12···滑动轴； 13…研磨具安装部件；13a…衬套；13b…安装孔；13c…研磨具安装螺栓；13cl···固定螺 栓；14···研磨具；14a…刷子毛材；14b…刷子毛材支架；14c…捆束部件；15···研磨具支承 部件；15a…衬套；15b…插通孔；20…自转单元；21···自转机构；21a…自转轴；21b…滑动 轴；21c…自转支架；21cl···研磨刷子安装部件；22…自转驱动机构；23…自转力传递机构； 23a…带轮；23b…V形带；25…升降板；26…升降机构；26a…下降限制器；27…切入量调 整机构；27a…调整部件；27b…调整部件移动机构；27c…调整力传递机构；30···公转单 元；31···公转机构；31a…公转盘；31b…公转轴；32···公转驱动机构；33···公转力传递机 构；33a…链轮；33b…链；34…公转驱动机构用架台；40···连结单元；41···连结支架；42··· 转动角度控制机构；42a…转动部件；42b…连结部件；42c…滑动支架；51···刷子单元（第 二实施方式）；60…研磨刷子；70···自转单元；71···自转机构；71a…自转轴；71b…滑动轴； 71c…自转支架；71cl···研磨刷子安装部件；71e…自转副轴；72···自转驱动机构；73···自转 力传递机构；73a…同步带轮；73b…同步带；74···自转力副传递机构；74a…自转轴侧齿轮； 74b…自转副轴侧齿轮；75…升降板；76…升降机构；76a…下降限制器；77…切入量调整机 构；77a…调整部件；77b…调整部件移动机构；77c…调整力传递机构；80···公转单元；81··· 公转机构；82···公转驱动机构；83···公转力传递机构；83a…公转机构侧齿轮；83b…公转 驱动机构侧齿轮；90…架台；101…刷子研磨装置；102…刷子研磨系统；102a…第一刷子 研磨装置；102b…第二刷子研磨装置；102c…工件中间输送机构；110…筐体；111…搬入 口；112…搬出口；113…工件输送机构；113a···驱动辊；113b…从动辊；113c···带；113d··· 输送驱动机构；113e···输送力传递机构；114…窗；115…门；120…控制机构；201…刷子研 磨装置；210…筐体；211…搬入口；213…工件输送机构；213a…旋转台；213b…旋转轴； 213c…工件载置部；214…窗；220…控制机构；302…刷子研磨系统；310…筐体；311…搬入 口；312…搬出口；313…工件输送机构；313a···旋转台；313b···旋转轴；313c···工件载置部； 314…窗；320…控制机构；330…工件反转机构；351a…第一刷子单兀；351b…第二刷子单 元出…设置基座邱…大径贯通孔；H 2…小径贯通孔；W…工件。
【主权项】
1. 一种刷子单元，通过研磨刷子自转以及回旋移动的行星运动来研磨工件的被加工 面，其特征在于，具备： 使多个刷子毛材的前端从底部露出的研磨刷子； 自转单元，其具有自转机构、自转驱动机构、自转力传递机构以及升降机构，所述自转 机构具有将所述研磨刷子连结于一端的自转轴、供所述自转轴以能够旋转的方式插入的滑 动轴、以及供所述滑动轴以能够滑动的方式插入的自转支架，所述自转驱动机构产生使所 述研磨刷子以所述自转轴为轴心自转的自转力，所述自转力传递机构向所述自转轴传递所 述自转力，所述升降机构经由所述滑动轴使所述研磨刷子向工件的被加工面移动；以及 公转单元，其与所述自转单元组合，并具有公转机构、公转驱动机构以及公转力传递机 构，所述公转机构通过自身的旋转来使所述研磨刷子回旋移动，所述公转驱动机构产生使 所述研磨刷子回旋移动的公转力，所述公转力传递机构向所述公转驱动机构传递所述公转 力。2. 根据权利要求1所述的刷子单元，其特征在于， 所述自转单元还具备能够调整向工件按压所述研磨刷子的切入量的切入量调整机构。3. 根据权利要求2所述的刷子单元，其特征在于， 所述公转单元具备： 在相对于中心的外周侧供所述自转机构能够转动地嵌合的圆盘状的公转盘；以及 用于控制所述自转机构的转动角度的转动角度控制机构。4. 根据权利要求1所述的刷子单元，其特征在于， 所述自转单元具有多个所述研磨刷子，所述多个研磨刷子分别将一端固定于自转副 轴，该自转副轴的另一端与从所述自转轴的一端传递自转力的自转力副传递机构组合，在 所述自转轴连结有多个所述研磨刷子， 所述自转支架以使所述公转机构的轴心与所述自转轴一致的方式被保持于所述公转 机构。5. 根据权利要求1所述的刷子单元，其特征在于， 所述研磨刷子是将多个研磨具保持于刷子支架的组合刷子，所述研磨具是将多个刷子 毛材捆扎并将其一端固定于刷子毛材固定具而成。6. 根据权利要求1所述的刷子单元，其特征在于， 所述刷子毛材是由混入了粒度为F54~F240或#240~#1000的磨粒的尼龙树脂构成 的单丝。7. -种刷子研磨装置，具备权利要求1所述的刷子单元、和载置工件并将该工件向所 述研磨刷子的下方输送的工件输送机构，其特征在于， 所述工件输送机构是具备工件载置部并间歇地水平旋转而将工件向所述研磨刷子的 下方输送的旋转台。8. -种刷子研磨装置，具备权利要求1所述的刷子单元、和载置工件并将该工件向所 述研磨刷子的下方输送的工件输送机构，其特征在于， 所述工件输送机构是使工件相对于研磨刷子连续地直线移动而将工件向所述研磨刷 子的下方输送的输送传送机。9. 一种刷子研磨系统，研磨工件的第一面以及与所述第一面相反的第二面这两个面， 其特征在于， 具备：研磨所述第一面的权利要求8所述的第一刷子研磨装置； 研磨所述第二面的权利要求8所述的第二刷子研磨装置；以及 从所述第一刷子研磨装置向所述第二刷子研磨装置输送工件的工件中间输送机构， 在所述第一刷子研磨装置的输送机构的工件的行进方向端，具备使工件反转的工件反 转机构。10. -种刷子研磨系统，研磨工件的第一面以及与所述第一面相反的第二面这两个面， 其特征在于，具备： 研磨所述第一面的权利要求1所述的第一刷子单元； 研磨所述第二面的权利要求1所述的第二刷子单元； 具备工件载置部并间歇地水平旋转而将工件向所述第一刷子单元和所述第二刷子单 元的下方输送的旋转台即工件输送机构；以及 使工件在工件的移动路径中的所述第一刷子单元与所述第二刷子单元之间反转的工 件反转机构。11. 一种刷子研磨方法，利用权利要求1所述的刷子单元进行研磨，其特征在于，具备： 使所述研磨刷子自转的工序； 使所述研磨刷子回旋移动的工序； 使工件接触自转和回旋移动的所述研磨刷子来对该工件的被加工面进行研磨的工序； 以及 分别调整所述研磨刷子的自转速度和所述研磨刷子的回旋移动速度的工序。
【专利摘要】本发明的目的是提供刷子研磨装置，通过研磨刷子自转以及回旋移动的行星运动来研磨工件的被加工面，能够根据工件的性状以及加工目的容易设定研磨条件。研磨刷子具备自转以及公转的刷子单元。刷子单元分别具备用于进行研磨刷子的自转的自转驱动机构、和用于进行研磨刷子的公转的公转驱动机构。利用自转驱动机构调整自转速度从而能够提高研磨能力，利用公转驱动机构调整公转速度，从而能够均匀地研磨工件整体。
【IPC分类】B24B29/00
【公开号】CN104968471
【申请号】CN201480007048
【发明人】林嗣人, 平塚阳一郎, 棚桥茂
【申请人】新东工业株式会社
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2014年1月20日
【公告号】DE112014000427T5, WO2014122968A1