，包括:多个引导辊，一边将上述被成膜材沿上下输送，一边引导该被成膜材以使其沿与上述上下方向正交的特定的行进方向行进，包括在上述行进方向上隔开间隔地排列的多个上侧辊、和在比上述上侧辊靠下侧的位置在上述行进方向上隔开间隔地排列的多个下侧辊；至少一个板式加热器，以直立姿势配设于沿上下方向被输送的被成膜材中的在上述行进方向上彼此相邻的部分彼此之间，发热以将该部分加热；和腔室，收纳上述引导辊和上述板式加热器。腔室包括外壁，所述外壁将上述引导辊和上述板式加热器包围，形成有将该外壁的内外连通的开口。该外壁包括前侧壁和后侧壁，当设与上述各引导辊的旋转中心轴平行的方向为前后方向时，所述前侧壁和后侧壁分别位于上述引导辊和上述板式加热器的该前后方向的两侧，这些前侧壁和后侧壁分别包括将上述各上侧辊的轴向端部能够旋转地支承的上侧辊支承部、和在比该上侧辊支承部靠下侧的位置将上述各下侧辊的轴向端部能够旋转地支承的下侧辊支承部。在上述开口中，包括在上述前侧壁和后侧壁的至少一方上形成在其上侧辊支承部与下侧辊支承部之间的区域中的辊间开口，该辊间开口具有将沿上下方向被输送的上述被成膜材和上述各板式加热器沿上述行进方向横穿的形状。
[0062]该装置的上述辊间开口在前侧壁和后侧壁的至少一方上形成在上侧辊支承部与下侧辊支承部之间，并且在上侧辊与下侧辊之间将在行进方向上密集的多个被成膜材的部分和板式加热器在其前侧或后侧横穿，所以在能够利用上述前侧壁和上述后侧壁对各引导辊进行支承的同时，能够经由上述辊间开口遍及大范围有效且高效地进行各引导辊及板式加热器的维护作业及被成膜材的所谓通纸作业(在上述各引导辊上架设被成膜材的作业)。
[0063]上述辊间开口优选的是形成在上述前侧壁和上述后侧壁这两者上。这不仅使维护作业变得更容易，而且通过减小前侧壁与后侧壁的刚性差，使由从上述各引导辊受到的载荷带来的前侧壁和后侧壁的变形程度均等化，由此，能够将各引导辊的水平度保持得较高。
[0064]更优选的是，在上述外壁上，作为上述开口除了上述辊间开口以外还形成其以外的开口。例如，在该外壁包括位于上述引导辊及上述板式加热器的上侧及下侧的顶壁和底壁的情况下，作为上述开口，也可以在上述顶壁及上述底壁上分别形成上侧开口及下侧开口。在此情况下优选的是，脱气处理装置还包括将上述腔室从下方支承并在上述下侧开口的下方形成作业用的空间的支承部件。该支承部件与上述下侧开口的组合使得不仅从上述腔室的上侧，而且从下侧也能够进行各引导辊及板式加热器的维护。
[0065]在此情况下优选的是，该脱气处理装置包括用于进行经由上述上侧开口的作业的脚手架，该脚手架可以在上述腔室的前后方向的至少一侧配置在从上述辊间开口在上下方向上偏移的位置。设置在这样的位置的脚手架不会成为经由上述辊间开口的维护作业的妨碍，此外，在关于上述行进方向允许在上述腔室的至少一侧配置其他加工单元的同时，能够使经由上述上侧开口的作业变容易。
[0066]本发明的脱气处理装置既可以作为成膜装置的一部分一体地组装在其中，也可以作为与成膜装置独立的专用装置构成。例如，本发明的脱气处理装置也可以是以下结构:除了上述各引导辊以外，还包括展开滚筒和卷取滚筒，所述展开滚筒一边绕沿前后方向延伸的轴旋转一边将被成膜材向上述各引导辊展开，所述卷取滚筒一边绕沿前后方向延伸的轴旋转一边将被成膜材从上述各引导辊卷取，这些展开滚筒和卷取滚筒与上述引导辊一起收纳在上述腔室内。
[0067]在此情况下优选的是，上述展开滚筒和卷取滚筒在从上述各引导辊在上下方向上偏移的位置，以关于与上述各引导辊的旋转中心轴正交的左右方向相互并列的方式设置，在上述腔室的外壁上，作为上述开口，形成有分别位于该外壁的左右两侧的左右开口，这些左右开口分别具有能够经由该左右开口进行上述展开滚筒和上述卷取滚筒的取放的大小。通过基于该构成，能够提供一种能够在单一的腔室内完成脱气处理的紧凑的脱气处理专用的装置，能够容易地进行作为原料滚筒的展开滚筒的运入及作为产品滚筒的卷取滚筒的取出。
【主权项】
1.一种脱气处理装置，通过将沿特定方向延伸的带状的被成膜材一边沿其纵长方向输送一边加热来进行该被成膜材的脱气处理，其特征在于， 包括: 多个引导辊，一边将上述被成膜材沿上下方向输送，一边引导该被成膜材以使其沿与上述上下方向正交的特定的行进方向行进，包括在上述行进方向上隔开间隔地排列的多个上侧辊、和在比上述上侧辊靠下侧的位置在上述行进方向上隔开间隔地排列的多个下侧辊； 至少一个板式加热器，以直立姿势配设于沿上下方向被输送的被成膜材中的在上述行进方向上彼此相邻的部分彼此之间，发热以将该部分加热；和 腔室，收纳上述引导辊和上述板式加热器，该腔室包括外壁，所述外壁将上述引导辊和上述板式加热器包围，形成有将该外壁的内外连通的开口， 该外壁包括前侧壁和后侧壁，当设与上述各引导辊的旋转中心轴平行的方向为前后方向时，所述前侧壁和后侧壁分别位于上述引导辊和上述板式加热器的该前后方向的两侧，这些前侧壁和后侧壁分别包括将上述各上侧辊的轴向端部能够旋转地支承的上侧辊支承部、和在比该上侧辊支承部靠下侧的位置将上述各下侧辊的轴向端部能够旋转地支承的下侧辊支承部， 在上述开口中，包括在上述前侧壁和后侧壁的至少一方上形成在其上侧辊支承部与下侧辊支承部之间的区域中的辊间开口，该辊间开口具有将沿上下方向被输送的上述被成膜材和上述各板式加热器沿上述行进方向横穿的形状。2.如权利要求1所述的脱气处理装置，其特征在于， 上述辊间开口形成在上述前侧壁和上述后侧壁这两者上。3.如权利要求1所述的脱气处理装置，其特征在于， 上述外壁包括分别位于上述引导辊和上述板式加热器的上下方向的两侧的顶壁和底壁，作为上述开口而在上述顶壁和上述底壁上分别形成上侧开口和下侧开口，上述脱气处理装置还包括从下方支承上述腔室并在上述下侧开口的下方形成作业用的空间的支承部件。4.如权利要求3所述的脱气处理装置，其特征在于， 还包括用于进行经由上述上侧开口的作业的脚手架，该脚手架在上述腔室的前后方向的至少一侧配置在从上述辊间开口在上下方向上偏移的位置。5.如权利要求1?4中任一项所述的脱气处理装置，其特征在于， 还包括展开滚筒和卷取滚筒，所述展开滚筒一边绕沿前后方向延伸的轴旋转一边将被成膜材向上述各引导辊展开，所述卷取滚筒一边绕沿前后方向延伸的轴旋转一边将被成膜材从上述各引导辊卷取，这些展开滚筒和卷取滚筒与上述引导辊一起收纳在上述腔室内。6.如权利要求5所述的脱气处理装置，其特征在于， 上述展开滚筒和卷取滚筒在从上述各引导辊在上下方向上偏移的位置，以关于与上述各引导辊的旋转中心轴正交的左右方向相互并列的方式设置，在上述腔室的外壁上，作为上述开口，形成有分别位于该外壁的左右两侧的左右开口，这些左右开口分别具有能够经由该左右开口进行上述展开滚筒和上述卷取滚筒的取放的大小。
【专利摘要】提供一种能够高效地进行维护的脱气处理装置。脱气处理装置包括：上侧及下侧辊（18A、18B），一边将被成膜材（10）上下地输送一边使其沿行进方向行进；板式加热器（12），配设为与蜿蜒的被成膜材（10）相邻；和具有外壁的腔室（14）。外壁包括分别具有上侧辊支承部（20a、22a）及下侧辊支承部（20b、22b）的前侧壁（20）和后侧壁（22）。在前侧壁（20）和后侧壁（22）的至少一方上，在其上侧辊支承部与下侧辊支承部之间的区域中形成有辊间开口（40、42），该辊间开口（40、42）具有将蜿蜒的被成膜材（10）及板式加热器（12）在上述行进方向上横穿的形状。
【IPC分类】C23C16/54, C23C14/56, C23C14/02, C23C16/02
【公开号】CN105264108
【申请号】CN201480031218
【发明人】濑川利规, 大庭尚树
【申请人】株式会社神户制钢所
【公开日】2016年1月20日
【申请日】2014年5月8日
【公告号】EP3006593A1, US20160054060, WO2014192513A1