停电冷却前加入金属A1块，待金属A1块全部熔化后停电冷却直至镍 钨铝合金液温度达到1540°C时开始浇铸，得到镍钨铝合金锭坯；
[0066] (4)锻造：将熔炼所得锭坯放入马弗炉中，在1070°C保温4小时后进行热锻，得到 218*174*35. 5mm规格的板坯；
[0067] (5) -次热处理：将锻造后的板坯放入马弗炉中，在1320°C保温20小时，然后空冷 至室温；
[0068] (6)轧制：将一次热处理后的板坯放入轧钢加热的马弗炉中，在1070°C保温2小时 后进行3道次热轧，道次变形量在20 %~25 %之间（本实施例的道次变形量为20 %左右）， 得到455*176*15. 5mm规格的板坯；然后自然冷却到室温并在室温下冷轧，冷轧时道次变形 量为8 %~10 %，总变形量为40 %，冷轧后板坯的规格为995*177*8. 5mm ;
[0069] (7)二次热处理：将轧制好的板坯放入马弗炉中，在1150°C保温60分钟，出炉空 冷；
[0070] (8)机加工：将二次热处理后的Ni-W-Al合金板坯按尺寸要求机加工，先线切割成 规定尺寸的圆片，再用车加工成符合尺寸精度的Ni-W-Al合金靶材。
[0071] 本实施例制备的合金靶材成品的性能参见表1，该合金晶粒均匀；另外，该实施例 得到的合金靶材的扫描电镜背散射图与实施例1合金靶材的扫描电镜背散射图相同，靶材 成品仍无成分偏析，由于二个实施例得到的扫描电镜背散射图基本相同，所以本实施例的 扫描电镜背散射图未重复给出。
[0072] 实施例3
[0073] 本实施例制备的Ni-W-Al合金圆盘按原子百分比由以下元素组成：Ni :93. 5%，W : 3. 5%，A1 :3%〇
[0074] 本实施例制备的合金圆盘的规格为Φ 170X6. 35mm。
[0075] 制造方法如下：（1)配料：按上述合金靶材成分的设计要求称取纯度99. 95%的镍 块、纯度99. 95%的高纯铝块和纯度99. 95%的高纯钨棒；
[0076] (2)中间合金熔炼：将称好的镍和钨金属块放入真空感应熔炼炉中，按正常的冶 炼工艺冶炼（即按本领域熟知的工艺进行冶炼），其中熔炼时真空度控制在〇. 〇8Pa，熔炼温 度控制在1680°C左右，精炼时间为lOmin，熔炼完成后停电冷却中间合金液，当中间合金液 温度达到1595°C时开始浇铸，从而获得镍钨中间合金锭坯；
[0077] (3)二次熔炼、浇铸：将中间合金锭坯放入真空感应熔炼炉中，同时金属A1块放入 熔炼炉加料漏斗中，按正常的冶炼工艺冶炼（即按本领域熟知的工艺进行冶炼）熔炼炉中 的中间合金锭，其中熔炼时真空度控制在〇. 〇8Pa，熔炼温度控制在1680°C左右，精炼时间 为8min，精炼完成时停电冷却前加入金属A1块，待金属A1块全部熔化后停电冷却直至镍钨 铝合金液温度达到1580°C时开始浇铸，得到镍钨铝合金锭坯；
[0078] (4)锻造：将熔炼所得锭坯放入马弗炉中，在1270°C保温2小时后进行热锻，得到 218*174*35. 5mm规格的板坯；
[0079] (5) -次热处理：将锻造后的板坯放入马弗炉中，在1270°C保温35小时，然后炉冷 至室温；
[0080] (6)轧制：将一次热处理后的板坯放入轧钢加热的马弗炉中，在1270°C保温1. 5小 时后进行2道次热轧，道次变形量在20 %~25 %之间（本实施例的道次变形量为25 %左 右），得到455*176*15. 5mm规格的板坯；然后自然冷却到室温并在室温下冷轧，冷轧时道次 变形量为8 %~10 %，总变形量为50 %，冷轧后板坯的规格为1080*177*7. 8mm ;
[0081] (7)二次热处理：将轧制好的板坯放入马弗炉中，在1000°C保温120分钟，出炉空 冷；
[0082] (8)机加工：将二次热处理后的Ni-W-Al合金板坯按尺寸要求机加工，先线切割成 规定尺寸的圆片，再用车加工成符合尺寸精度的Ni-W-Al合金靶材。
[0083] 本实施例制备的合金靶材成品的性能参见表1，该合金晶粒均匀，另外，该实施例 得到的合金靶材的扫描电镜背散射图与实施例1合金靶材的扫描电镜背散射图也基本相 同，靶材成品仍无成分偏析，在此本实施例的扫描电镜背散射图也未重复给出。
[0084] 实施例4
[0085] 本实施例制备的Ni-W-Al合金圆盘按原子百分比由以下元素组成：Ni :80%，W : 15%，A1 :5%〇
[0086] 本实施例制备的合金圆盘的规格为Φ 170X6. 35mm。
[0087] 制造方法如下：
[0088] (1)配料：按上述合金靶材成分的设计要求称取纯度99. 95 %的镍块、纯度 99. 95%的高纯铝块和纯度99. 95%的高纯钨棒；
[0089] (2)中间合金熔炼：将称好的镍和钨金属块放入真空感应熔炼炉中，按正常的冶 炼工艺冶炼（即按本领域熟知的工艺进行冶炼），其中熔炼时真空度控制在〇. 〇5Pa，熔炼温 度控制在1680°C左右，精炼时间为12min，熔炼完成后停电冷却中间合金液，当中间合金液 温度达到1600°C时开始浇铸，从而获得镍钨中间合金锭坯；
[0090] (3)二次熔炼、浇铸：将中间合金锭坯放入真空感应熔炼炉中，同时金属A1块放入 熔炼炉加料漏斗中，按正常的冶炼工艺冶炼（即按本领域熟知的工艺进行冶炼）熔炼炉中 的中间合金锭，其中熔炼时真空度控制在0. 〇5Pa，熔炼温度控制在1680°C左右，精炼时间 为8min，精炼完成时停电冷却前加入金属A1块，待金属A1块全部熔化后停电冷却直至镍钨 铝合金液温度达到1580°C时开始浇铸，得到镍钨铝合金锭坯；
[0091] (4)锻造：将熔炼所得锭坯放入马弗炉中，在1200°c保温3小时后进行热锻，得到 218*174*35. 5mm规格的板坯；
[0092] (5) -次热处理：将锻造后的板坯放入马弗炉中，在1220°C保温36小时，然后空冷 至室温；
[0093] (6)轧制：将一次热处理后的板坯放入轧钢加热的马弗炉中，在1270°C保温1. 5小 时后进行热轧，道次变形量在20%~25%之间（本实施例的道次变形量为25%左右），得 到455*176*15. 5mm规格的板坯；然后自然冷却到室温并在室温下冷轧，冷轧时道次变形量 为8 %~10 %，总变形量为50 %，冷轧后板坯的规格为1080*177*7. 8mm ;
[0094] (7)二次热处理：将轧制好的板坯放入马弗炉中，在1000°C保温70分钟，出炉空 冷；
[0095] (8)机加工：将二次热处理后的Ni-W-Al合金板坯按尺寸要求机加工，先线切割成 规定尺寸的圆片，再用车加工成符合尺寸精度的Ni-W-Al合金靶材。
[0096] 本实施例制备的合金靶材成品的性能参见表1，该合金晶粒均匀，另外，该实施例 得到的合金靶材的扫描电镜背散射图与实施例1合金靶材的扫描电镜背散射图也基本相 同，靶材成品仍无成分偏析，在此本实施例的扫描电镜背散射图也未重复给出。
[0097] 实施例5
[0098] 制备的合金靶材成分和尺寸与实施例1相同。
[0099] 制备方法，除步骤（5) -次热处理的温度由1300°C变为1KKTC以外，其他操作步 骤同实施例1。
[0100] 该实施例得到的合金靶材成品的性能参见表1。其扫描电镜背散射图参见图3,从 图3中可知，本实施例得到的靶材成品的成分略有偏析，但不严重。
[0101] 实施例6
[0102] 制备的合金靶材成分和尺寸与实施例1相同