)禪接至臂支撑组件219及支撑支架222。
[0039] 为了调整处理腔室202中的气流模式，线性致动器214A-214C可在所述Z方向上W 所期望的量移动排气口阀214远离排气口 213，W径向地在排气口阀314与阀座312之间在所 述Z方向上产生相同的开口。可选地，致动器21加可在所述X-Y平面中W所期望的量线性调 整阀214的所述位置，W调整在所述X-Y平面中介于阀214与阀座212之间的开口的所述尺 寸。致动器21祀接着可绕轴R225旋转阀214W调整在所述X-Y平面中介于阀214与阀座212之 间的所述开口的径向位置。（参见图5A-5D在所述X和/或Y方向上的阀移动及开口的范例。） 所述产生的开口可造成处理腔室202中的气流模式的所期望的调整。控制器，例如，举例而 言，控制器120,可禪接至多个致动器215A-21祀并经配置W驱动所述多个致动器W在所期 望的X、Y和/或Z方向上移动排气口阀214。
[0040] 在可选的【具体实施方式】中，阀支撑机构216可被定位于并禪接至在处理腔室202W 下和/或外部的排气口阀214。在运样的【具体实施方式】中，阀支撑机构216也可在处理腔室 202W下和/或外部。
[0041] 图3A-3C示出了处理腔室气流控制设备300的第二示例性【具体实施方式】。设备300 可包含处理腔室302(所述处理腔室中只有下壳体部分301L被示出）。处理腔室302可包含侧 边开口 309,所述侧边开口经配置W接收狭缝阀或其它合适的密封构件。处理腔室302也可 包含阀座312及气体排气口 313(图3C)。阀座312可经配置W接收排气口阀W用于完全密封 气体排气口 313。
[0042] 设备300也可包含排气口阀314、多个致动器（所述致动器中只有致动器315A及 315B被示出于图3C中）W及阀支撑机构316。排气口阀314可经配置W密封排气口 313且经配 置W相对于排气口 313在所述X、Y及Z方向上移动W调整处理腔室302内的气流模式。所述多 个致动器可包含多个线性致动器(例如，致动器315A及315B)，所述线性致动器经配置W在 所述Z方向上移动排气口阀314(图3C)且可包含至少一个旋转致动器(例如致动器315A或一 个或多个其它致动器），所述旋转致动器经配置W在所述X及Y方向上移动排气口阀314(图 3B)。所述多个致动器可包含任何合适数量的马达和/或经配置W提供如在此描述的线性和 旋转运动的装置。
[0043] 阀支撑机构316可包含多个连接器318A-318C及相应的多个可旋转关节臂319A-319C。所述多个可旋转关节臂319A-319C每个可禪接至排气口阀314并通过相应的连接器 318A-318C禪接至所述所述多个线性致动器(例如致动器315A及315B)的相应的一个。可旋 转关节臂319A可通过连接器318A或另一个合适的连接器禪接至所述至少一个旋转致动器 (所述旋转致动器可为，例如致动器315A)。连接器318A-318C每个可为任何合适的机械构 件，所述机械构件禪接至所述多个致动器且经配置W从所述多个致动器传送线性和/或旋 转运动至可旋转关节臂319A-319C，如在此所述。
[0044] 在某些【具体实施方式】中，S个致动器(包含，例如致动器315A及315B)可为线性致 动器，所述线性致动器禪接至相应的可旋转关节臂319A-319C且经配置W在所述Z方向上移 动排气口阀314(图3C)。不同数量的线性致动器可用在其它【具体实施方式】中，W在所述Z方 向上移动排气口阀314。
[0045] 在某些【具体实施方式】中，致动器315A也可为旋转致动器，所述旋转致动器禪接至 可旋转关节臂319A且经配置W绕轴R325提供第一旋转运动至可旋转关节臂319A的第一臂 区段321A。所述第一旋转运动可为顺时针和/或逆时针方向。可选地，分离的旋转致动器(未 显示)可禪接至可旋转关节臂319AW提供所述第一旋转运动。
[0046] 在某些【具体实施方式】中，致动器315A或第二旋转致动器(未显示)可禪接至可旋转 关节臂319A且经配置W绕轴R326提供第二独立旋转运动至可旋转关节臂319A的第二臂区 段323A。所述第二旋转运动可为顺时针和/或逆时针方向。在某些【具体实施方式】中，可旋转 关节臂319A在第一臂区段321A中可具有滑轮机构，所述滑轮机构配置于轴R325及轴R326之 间W绕轴R326驱动第二臂区段323A的所述第二独立旋转。此滑轮机构可类似于W下连同图 4C的臂419描述的所述滑轮机制而操作及配置。其它用于绕轴R325传送旋转运动至轴R326 的合适机构可被使用。
[0047] 可旋转臂319A绕轴R325和/或R326的旋转运动可绕可旋转关节臂319B与319C的可 旋转关节W与可旋转臂319A从动或推拉式关系驱动所述可旋转关节臂319B与319C，同时排 气口阀314在各种X和/或Y方向上移动。
[0048] 为了调整处理腔室302中的气流模式，排气口阀314可在所述Z方向上W所期望的 量被移动远离排气口 313，W径向地在排气口阀314与阀座312之间产生相同的开口。排气口 阀314的所述Z方向移动可由禪接至相应的连接器318A-318C的S个线性致动器提供(包含， 例如，致动器315A及315B)。致动器315A和/或一个或多个相应的旋转致动器，接着可造成可 旋转关节臂319A的第一臂区段321AW所期望的量或多个量绕轴R325旋转，和/或造成可旋 转关节臂319A的第二臂区段323AW所期望的量或多个量绕轴R326旋转。运可造成排气口阀 314 W所期望的量在所述X和/或Y方向上移动，形成排气口阀314与阀座312之间的特定尺寸 及径向位置的开口。（参见图5A-5D的所述X和/或Y方向上的阀移动及开口的范例。）所述产 生的开口可造成处理腔室302中的所述气流模式的所期望的调整。控制器，例如，举例而言， 控制器120,可禪接至所述多个致动器(包含，例如，致动器315A及315B)并经配置W驱动所 述多个致动器，W在所期望的X、Y和/或Z方向上移动排气口阀314。
[0049] 图4A-4D示出了处理腔室气流控制设备400的第S示例性【具体实施方式】。设备400 可包含处理腔室402(所述处理腔室中只有下壳体部分401L被显示）。处理腔室402可包含侧 边开口 409,所述侧边开口经配置W接收狭缝阀或其它合适的密封构件。处理腔室402也可 包含阀座412及气体排气口 413(图4C)。阀座412可经配置W接收排气口阀W用于完全密封 气体排气口 413。
[(K)加]设备400也可包含排气口阀414、致动器415及阀支撑机构416。排气口阀414可经配 置W密封排气口 413且经配置W相对于排气口 413在所述X、Y及Z方向上移动W调整处理腔 室402内的气流模式。致动器415可为任何合适数量的马达和/或经配置W提供线性和第一 及第二独立旋转运动的装置。例如，如图4D中所示，致动器415可包含或代表线性致动器 41化和第一及第二旋转致动器415R1及415R2。阀支撑机构416可包含第一连接器418A、第二 连接器418B及臂419。第一连接器418A及第二连接器418B可为任何合适的机械构件，所述机 械构件禪接至致动器415且经配置W从致动器415传送线性及旋转运动至臂419,如在此所 述的。
[0051] 臂419可具有第一端419A，所述第一端在偏离阀414的中屯、C430的位置可旋转地禪 接至排气口阀414。臂419可经配置W绕偏移轴R425旋转阀414 (参见图5A-加的示例性阀移 动）。臂419可具有第二端419B，所述第二端通过连接器418A及418B可旋转地禪接至致动器 415,其中臂419经配置W通过线性致动器41化与连接器418A及418B在所述Z方向上移动。臂 419也可经配置W通过旋转致动器415R1与连接器418A在所述X与Y方向上绕轴R427旋转。
[0052] 在某些【具体实施方式】中，臂419可包含如图4D中所示的滑轮机构，所述滑轮机构经 配置W从旋转致动器415R2传送绕轴R427的旋转运动至绕轴R425的旋转运动。臂419可包含 第一滑轮432、第二滑轮434及皮带436,所述皮带连接至第一滑轮432及第二滑轮434。第一 滑轮432可禪接至连接器418B，所述连接器可顺次禪接至旋转致动器415R2。当第一滑轮432 绕轴R427旋转，皮带436造成第二滑轮434绕轴R425旋转。
[0053] 臂419绕轴R425的旋转移动与排气口阀414绕轴R427的旋转移动的所述组合允许 排气口阀414在各种X与Y方向上移动，如图5A-加中所示，W产生各种尺寸与位置的开口。控 制器，例如，举例而言，控制器120,可禪接至致动器415(例如，致动器415RU415R2及41化） 并经配置W驱动所述致动器，W在所期望的X、Y和/或Z方向上移动排气口阀414。
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