一种迷宫式布气装置的制造方法
【专利摘要】一种迷宫式布气装置，包括迷宫式布气骨架，所述布气骨架上设有两个分流空间和四个扩散空间，分流空间和扩散空间之间的隔板上设有通孔；两个分流空间顶部设有二级分流挡板，二级分流挡板上设有一级分流气孔，二级分流挡板顶面连接一级分流挡板，一级分流气孔位于一级分流挡板内，一级分流挡板连接有供气管；四个扩散空间底部设有二级扩散挡板，二级扩散挡板上设有二级分流孔，二级扩散挡板底面连接终端聚合扩散罩，二级分流孔位于终端聚合扩散罩内，所述终端聚合扩散罩上设有均匀分布的扩散孔。
【专利说明】
_种迷宫式布气装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及后视镜，尤其涉及一种迷宫式布气装置。
【背景技术】
[0002]磁控派射镀膜技术的现有布气技术大致有两种，一种是分离式布气即工作气体和反应气体分开布置，一般为单级分流扩散，另一种是二级分流布置，其缺陷在二级分流均由管道对接来完成，没有内部分流混合扩散空间，导致气体分流不相等，混合不充分，扩散不均匀。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型是为了解决上述不足，提供了一种迷宫式布气装置。
[0004]本实用新型的上述目的通过以下的技术方案来实现:一种迷宫式布气装置，其特征在于:包括迷宫式布气骨架，所述布气骨架上设有两个分流空间和四个扩散空间，分流空间和扩散空间之间的隔板上设有通孔；
[0005]两个分流空间顶部设有二级分流挡板，二级分流挡板上设有一级分流气孔，二级分流挡板顶面连接一级分流挡板，一级分流气孔位于一级分流挡板内，一级分流挡板连接有供气管；
[0006]四个扩散空间底部设有二级扩散挡板，二级扩散挡板上设有二级分流孔，二级扩散挡板底面连接终端聚合扩散罩，二级分流孔位于终端聚合扩散罩内，所述终端聚合扩散罩上设有均匀分布的扩散孔。
[0007]所述一级分流挡板和终端聚合扩散罩均呈η形。
[0008]所述一级分流挡板和二级分流挡板设置在迷宫式布气骨架的一侧形成一个完整均匀的一分为二空间，二级扩散挡板在另一侧又形成一个完整均匀的二分为四的空间，通过终端聚合扩散罩使气体在迷宫式布气骨架内再次混合，并均匀扩散，其结构紧凑，聚合扩散效果好，从而在溅射等离子体区域能够得到一个均匀的气体浓度，最终实现镀膜沉积膜层的良好均匀性。
[0009]本实用新型与现有技术相比的优点是:本实用新型的分流空间对称相等，四个小单元混合扩散后重新聚合再扩散，解决了布气混合扩散、气体扩散浓度不均匀等技术问题。
【附图说明】
[0010]图1是本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图对本实用新型进一步详述。
[0012]如图1所示，一种迷宫式布气装置，包括迷宫式布气骨架I，所述布气骨架I上设有两个分流空间2和四个扩散空间3，分流空间2和扩散空间3之间的隔板12上设有通孔13;两个分流空间2顶部设有二级分流挡板4，二级分流挡板4上设有一级分流气孔5，二级分流挡板4顶面连接一级分流挡板6，一级分流气孔5位于一级分流挡板6内，一级分流挡板6连接有供气管7;四个扩散空间3底部设有二级扩散挡板8，二级扩散挡板8上设有二级分流孔9，二级扩散挡板8底面连接终端聚合扩散罩10，二级分流孔9位于终端聚合扩散罩10内，所述终端聚合扩散罩10上设有均匀分布的扩散孔11。
[0013]所述一级分流挡板6和终端聚合扩散罩10均呈η形。
[0014]所述一级分流挡板6和二级分流挡板4设置在迷宫式布气骨架I的一侧形成一个完整均匀的一分为二空间，二级扩散挡板8在另一侧又形成一个完整均匀的二分为四的空间，通过终端聚合扩散罩10使气体在迷宫式布气骨架I内再次混合，并均匀扩散，其结构紧凑，聚合扩散效果好，从而在溅射等离子体区域能够得到一个均匀的气体浓度，最终实现镀膜沉积膜层的良好均匀性。
[0015]以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
【主权项】
1.一种迷宫式布气装置，其特征在于:包括迷宫式布气骨架，所述布气骨架上设有两个分流空间和四个扩散空间，分流空间和扩散空间之间的隔板上设有通孔； 两个分流空间顶部设有二级分流挡板，二级分流挡板上设有一级分流气孔，二级分流挡板顶面连接一级分流挡板，一级分流气孔位于一级分流挡板内，一级分流挡板连接有供气管； 四个扩散空间底部设有二级扩散挡板，二级扩散挡板上设有二级分流孔，二级扩散挡板底面连接终端聚合扩散罩，二级分流孔位于终端聚合扩散罩内，所述终端聚合扩散罩上设有均匀分布的扩散孔。2.根据权利要求1所述的一种迷宫式布气装置，其特征在于:所述一级分流挡板和终端聚合扩散罩均呈η形。
【文档编号】C23C14/35GK205603666SQ201520644204
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2015年8月25日
【发明人】樊斌杰
【申请人】河南卓金光电科技有限公司