一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚的制作方法

文档序号:3437926
专利名称:一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚。
背景技术
在现有使用的多晶硅铸锭炉中,用于支撑石英坩埚的石墨坩埚都是由一块底板和 四块侧板构成,当发生硅液溢流时,硅液在平坦的石墨坩埚底板上四处流动,从而不能及时 发现,延长了事故的报警时间。 中国专利授权公告号为CN201104102Y,授权公告日为2008年8月20日的实用新 型专利公开了一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚,该实用新型在石墨坩埚底板四周与侧板的底 部之间开设沟槽,当石英坩埚出现裂缝时,可在沟槽的导引之下,将溢流硅液及时按制定流 向溢流,发出报警。但是由于该实用新型的底板仍旧是平板,而且沟槽只在底板四周设置, 因此很难保证从石英坩埚裂缝处溢出的硅液都能及时流向四周的沟槽,从而延迟了报警时 间,容易引发事故。

发明内容为解决以上问题,本实用新型的目的是提供一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚,该石
墨坩埚结构设计合理,在硅液从石英坩埚任何裂缝处溢出时,都能够及时引导硅液的流向。 为实现以上目的,本实用新型提供一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚,该石墨坩埚包
括底板和底板四周的侧板,所述底板具有网络状结构。 所述网络状结构至少为两层。 所述底板网络状结构的构造是蜂窝形。 与现有技术相比,本实用新型的有益效果为 1.本实用新型的底板采用网络状结构,能够确保在硅液从石英坩埚任何裂缝处溢 出时,都能够及时引导硅液的流向,即引导硅液从底板的网络状结构的空隙处流下,从而能 够及时报警。 2.本实用新型底板采用的网络状结构为多层,不仅能够保证底板的强度,而且能 够方便对石英坩埚进行加热。 3.本实用新型底板的网络状结构的构造是蜂窝形,这样能够增强底板的强度,也 方便对石英坩埚进行加热。

图1为本实用新型的一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚去除部分侧板后的结构示意 图。 图2为本实用新型的一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚底板的网络状结构示意图。 图中底板1,侧板2,网络状结构3。
具体实施方式
以下结合附图说明对本实用新型作进一步的详细描述。 参见图1与图2,本实用新型提供的一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚包括底板1和底 板四周的侧板2,所述底板具有网络状结构。 所述网络状结构至少为两层。 所述网络状结构的构造是蜂窝形。 当石墨坩埚所支撑的石英坩埚出现裂缝时,不论裂缝出现在石英坩埚的任何位 置,由于重力的作用,溢出的硅液体都流向底板l,此时由于底板1具有网络状结构3,所以 底板1在整个平面上都具有空隙,那么当溢出的硅液流向底板1时,就能够及时地从网络状 结构3中的空隙流下,从而能够及时流向设置在底板1下方的报警装置,及时报警,防止事 故的扩大。
权利要求一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚,包括底板(1)和底板四周的侧板(2),其特征在于所述底板具有网络状结构(3)。
2. 根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚,其特征在于所述网络状结 构(3)至少为两层。
3. 根据权利要求1-2中任意一项所述的一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚,其特征在于所述网络状结构(3)的构造是蜂窝形。
专利摘要本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉用石墨坩埚,所述石墨坩埚包括底板和底板四周的侧板,且底板具有网络状结构。由于底板具有网络状结构,因此当所述的石墨坩埚所支撑的石英坩埚出现裂缝时,溢出的硅液体在重力的作用下都会向下流向底板,并且通过底板的网络状结构的空隙处流下,从而及时报警,防止事故扩大。
文档编号C01B33/02GK201442993SQ20092002960
公开日2010年4月28日 申请日期2009年7月8日 优先权日2009年7月8日
发明者王友林 申请人:济宁凯伦光伏材料有限公
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