一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置制造方法

一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置制造方法
【专利摘要】一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，设置原料净化单元、燃烧吸收单元和产品提纯单元；原料净化单元设备包括黄磷漂洗槽、空气洗涤塔和高位供磷槽，燃烧吸收单元设备包括矩形管气化黄磷燃烧炉、主吸收塔、副吸收塔、文丘里管、电除雾器和引风机，产品提纯单元设备包括调酸槽、脱砷反应器、脱砷过滤机、脱硫塔、隔板结晶器、脱硫过滤机和产品调配槽；黄磷漂洗槽、高位供磷槽、矩形管气化黄磷燃烧炉、主吸收塔、副吸收塔、调酸槽、脱砷反应器、脱砷过滤机、脱硫塔、隔板结晶器、脱硫过滤机和产品调配槽依次连接，其中矩形管气化黄磷燃烧炉并与空气洗涤塔连接，副吸收塔另与依次连接和文丘里管、电除雾器和引风机依次连接。
【专利说明】一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置

【技术领域】
[0001] 本实用新型属于化工设备【技术领域】，涉及一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置。

【背景技术】
[0002] 电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器（TFT-IXD) 等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、导电 性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗，纯度较高的主要用 于电子晶片生产过程的清洗和蚀刻，由于不溶性固体颗粒或者金属离子都可能在微细电路 之间导通电流，使之短路，所以电子级磷酸对不溶性固体颗粒和绝大多数金属离子含量都 有苛刻的要求。
[0003] 由于电子级磷酸中要求金属离子杂质含量极少，分离难度较大，通常以食品级磷 酸或初步提纯过的工业级磷酸为原料来制备电子级磷酸。目前，磷酸的净化方法一般有：溶 剂萃取法、离子交换法、电渗析法、结晶法等。与其它几种方法相比，结晶法有着能耗低、设 备简单、操作成本小、污染小的优点，同时产品纯度高，色度好，一直被作为电子级磷酸制备 的重点研究方法。
[0004] 中国专利CN200910094409. 3, 一种用黄磷直接制取电子级磷酸的方法涉及磷酸生 产方法，是将经净化预处理的工业黄磷放入燃烧塔，经过多级除油、除杂、控湿的空气，使工 业黄磷充分燃烧，然后将燃烧产生的气体五氧化二磷送入吸收塔，使用纯水进行循环吸收， 吸收产生的磷酸浓度达到85. 0% -87. 0%后，送入磷酸净化后处理设备，经阴、阳离子脱 除、曝气、多级过滤净化处理后，在万级或千级空气净化环境下净化。该法生产工艺复杂，生 产环境要求苛刻，产品质量难以控制。
[0005] 中国专利200610013611. 5用熔融结晶法制备电子级磷酸，在-45?-35°C下挂壁 产生晶种然后升温至-2?-10°C，循环加入原料使其在晶体表面生长至厚度达到2?4cm 时开始升温，排除液体质量为10?40 %时停止，产率在12?20%。此方法操作温度极低， 能耗大，且需要对原料进行预处理除去砷，操作时间长，生产成本高，产率低。
[0006] 中国专利201010100473. 0用流动层析结晶法制备高纯磷酸，采用外加声场出晶， 对所用原料纯度要求极高（主要杂质离子浓度均小于1. 7mg/L，且需微孔膜过滤处理），应 用难度较大，不易于工业化。
[0007] 中国专利201010104321. 8采用液膜结晶法制备电子级磷酸，在10?20°C的壁面 上加入晶种同时开始降温，通过分布器将原料磷酸液体加在壁面上，原料呈液膜状态流过 晶种，在壁面生长成晶膜，达到降温终点5?10°C待母液充分排除后开始升温发汗，发汗至 15?29°C时终止。该方法是一个动态的结晶操作过程，未结晶母液即时排出。通过一次性 的降温结晶〖亘温排液--升温热处理来提纯产品。该法改进了晶种产生方式，将操作 温度提高到容易达到的区间，两次结晶产率20?30%。但是，用该方法制备得到的电子级 磷酸中 Na、Al、Mg、Cr 等离子浓度偏高（1. 79mg/L、0. 94mg/L、0. 49mg/L、0. 37mg/L)，不能满 足用户日益更新的需求，仍需进一步改进。


【发明内容】

[0008] 本实用新型为了克服现有技术的不足，提供了一种装置简单，容易操作，实用性 强，产品成本较低，产品质量稳定的隔板结晶生产电子级磷酸的装置。
[0009] 本实用新型的技术方案如下：
[0010] 一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，设置原料净化单元、燃烧吸收单元和产品 提纯单元；原料净化单元设备包括黄磷漂洗槽、空气洗涤塔和高位供磷槽，燃烧吸收单元设 备包括矩形管气化黄磷燃烧炉、主吸收塔、副吸收塔、文丘里管、电除雾器和引风机，产品提 纯单元设备包括调酸槽、脱砷反应器、脱砷过滤机、脱硫塔、隔板结晶装置、板框压滤机和产 品调配槽；黄磷漂洗槽、高位供磷槽、矩形管气化黄磷燃烧炉、主吸收塔、副吸收塔、调酸槽、 脱砷反应器、脱砷过滤机、脱硫塔、隔板结晶装置、板框压滤机和产品调配槽依次连接，其中 矩形管气化黄磷燃烧炉与空气洗涤塔连接，副吸收塔另与文丘里管、电除雾器和引风机依 次连接。
[0011] 以上所述的黄磷漂洗槽设有水洗循环泵，并设有加热夹套和黄磷出料口，加热夹 套的进水口与矩形管气化黄磷燃烧炉顶部的出水口连接，黄磷出料口与高位供磷槽顶部的 进料口连接。
[0012] 以上所述的高位供磷槽为广西明利集团有限公司申请的发明专利"热法磷酸生产 的安全供磷装置"，专利号CN201010127143. 0 ;该装置主要设有计量器、夹套，高位供磷槽 (5)的熔磷出口与调节阀采用耐酸管连接，计量器前后与调节阀采用耐酸管连接，矩形管气 化黄磷燃烧炉下段的熔磷进口与调节阀采用耐酸管连接，熔磷槽的进水口采用保温水管与 燃烧炉上段的出水口连接。
[0013] 以上所述的空气洗涤塔为广西钦州桂金诺磷化工有限公司申请的发明创造"用磷 酸吸附除湿和除尘净化空气的装置"，专利号CN201120199684. 4 ;该装置包括净化塔、酸储 槽、酸循环泵，空气洗涤塔顶部设置喷洒头，并采用耐酸管与酸循环泵连接，空气洗涤下段 采用耐酸管与酸储槽和酸循环泵依次连接，或连接在热法磷酸生产装置中，供风机与空气 洗涤塔下段采用耐酸管连接。
[0014] 以上所述的矩形管气化黄磷燃烧炉采用本公司同日申请的"一种矩形管黄磷气化 燃烧炉"，该装置包括燃烧炉内设有矩形气化管、托钩和支撑架，矩形气化管的一端从矩形 角斜向下延伸至燃烧炉底部中间，并且在矩形气化管尾端设置喷嘴，另一端通过燃烧炉的 炉夹套设置的套管与熔磷槽连接。
[0015] 以上所述的主吸收塔和副吸收塔采用常规的磷酸水合吸收塔，所述的主吸收塔附 设有浓酸泵和浓酸槽，所述的浓酸槽的进酸口分别与矩形管气化黄磷燃烧炉上段的出酸口 和主吸收塔下端的出酸口连接，所述的浓酸泵的进酸口与浓酸槽的出酸口连接，浓酸泵的 出酸口分别与主吸收塔顶部设置的喷头和浓酸泵出酸口连接；所述的副吸收塔附设有稀酸 泵和稀酸槽，所述的稀酸槽的进酸口分别与副吸收塔的出酸口、文丘里管下端的出酸口和 电除雾器下端的出酸口连接，所述的稀酸泵的进酸口与稀磷酸槽的出酸口连接，稀磷酸泵 的出酸口分别与副吸收塔顶部设置的喷头、主吸收塔顶部设置的喷头和调酸槽顶部的进酸 口连接。
[0016] 以上所述的电除雾器为广西明利集团有限公司申请的发明专利"磷酸尾气电除雾 装置"，专利号CN201010127141. 1 ;该装置设有出气室、冷却室、配气室、进气室，其部件包 括：高压恒流直流电源引线绝缘箱、无引线绝缘箱、顶盖、壳体、出气室人孔、电晕电极装置、 花板一、阳极静电沉淀管、进水口、花板二、配气室人孔、气体分布板、进气室人孔、斜底板、 排污口、进气口、出水口、出气口和冲洗装置组成。
[0017] 以上所述的调酸槽设有夹套和搅拌装置，所述的夹套的进水口与圆形管气化燃烧 炉的出水口或主吸收塔的出水口连接。
[0018] 以上所述的脱砷反应器主要设置脱砷反应器、脱砷循环泵和脱砷文里管并依次循 环连接；所述的脱砷反应器设置进料口、P2s5投料口和出气口，脱砷文里管设置脱砷反应器 中下部，脱砷循环泵的进料口与设在脱砷反应器底部出料口连接，脱砷反应器上部进料口 和出气口分别与调酸槽和电除雾器连接。
[0019] 以上所述的脱硫塔为广西明利化工有限公司申请的发明专利"一种食品级磷酸脱 除硫化氢的装置"，专利号CN201220735526. 0 ;该装置主要设置集酸槽、脱硫循环泵和脱气 塔，脱气塔、集酸槽、脱硫循环泵依次循环连接；所述的脱气塔设置于集酸槽一端顶上部，并 与集酸槽的槽体焊接连通；脱气塔设置H 2S出气口、喷淋头、填料层；所述的H2S出气口设置 于脱气塔顶部，并与外设的脱砷反应器连接；所述的喷淋头设置于脱气塔的上部，并用循环 管与阀门V和脱硫循环泵依次连接；填料层和不锈钢丝网设置于脱气塔的中部和下部；集 酸槽中部为方体，两端头为半圆柱体；集酸槽设置进酸口、洁净空气进气孔和阀门VI，进酸 口和人孔设置位于集酸槽靠近脱气塔一端顶部，进酸口设置盖板和进料阀门；进气口设置 位于集酸槽远离脱气塔一端顶部；阀门III设置位于集酸槽远离脱气塔一端底部，阀门III与 脱硫循环泵进口用法兰连接；脱硫循环泵出口连接三通管，其中一支先连接阀门V，再用循 环管与脱气塔塔顶的喷淋头连接，另一支连接阀门IV通往隔板结晶装置。
[0020] 相比于现有技术，本实用新型的优点及积极效果如下：
[0021] 1、本实用新型采用本企业安全供磷装置专利技术，燃烧熔融原料黄磷由燃烧塔的 底部进入燃烧室，在低位熔磷槽中以水位差安全输送，避免了传统生产线中用高压泵或压 缩空气将处于高危状态下的熔融黄磷输送到高位槽，然后再经高压喷射燃烧这一危险的操 作环节。
[0022] 2、本方法采用超纯水对黄磷原料熔融和漂洗除杂预处理，有效地保证了电子酸原 料的高纯度。
[0023] 3、采用磷酸洗涤塔对黄磷燃烧所需的空气进行净化除湿、除杂，有效地避免空气 带入水汽及粉尘引起的黄磷燃烧效果不理想及产品杂质含量增高的问题。
[0024] 4、通过采用隔板结晶器使磷酸在隔板面上结晶，增加了单位结晶面积，提高了结 晶效率。
[0025] 5、在结晶器内设置洗晶装置，对晶柱表面及储酸槽残余液相的喷淋洗涤，避免了 杂质含量较高的液相与纯净晶体混溶引起的产品质量下降的情况。
[0026] 6、利用磷酸生产企业自产的热水作为晶体熔融的热源，大大降低了电子级磷酸的 生产能耗，具有较好的经济效率。

【专利附图】

【附图说明】
[0027] 图1为本实用新型一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置的示意图。
[0028] 附图标识：0-黄磷漂洗槽，1-水洗循环泵，2-酸循环泵，3-空气洗涤塔，4-供风 机，5高位供磷槽，6-矩形管气化黄磷燃烧炉，7-浓酸槽，8-主吸收塔，9-浓酸泵，10-副吸 收塔，11-稀酸槽，12-稀酸泵，13-文丘里管，14-电除雾器，15-引风机，16-调酸槽，17-脱 砷反应器，18-脱砷循环泵，19-脱砷过滤机，20-脱硫塔，21-脱硫循环泵，22-隔板结晶装 置，23-水泵，24-出酸/循环泵，25-板框压滤机，26-贮槽，27产品调配槽。

【具体实施方式】
[0029] 下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明。
[0030] 实施例1 :
[0031] 一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，设置原料净化单元、燃烧吸收单元和产品 提纯单元；原料净化单元设备包括黄磷漂洗槽0、空气洗涤塔3和高位供磷槽5,燃烧吸收单 元设备包括矩形管气化黄磷燃烧炉6、主吸收塔8、副吸收塔10、文丘里管13、电除雾器14 和引风机15,产品提纯单元设备包括调酸槽16、脱砷反应器17、脱砷过滤机19、脱硫塔20、 隔板结晶装置22、板框压滤机25和产品调配槽27 ;黄磷漂洗槽0、高位供磷槽5、矩形管气 化黄磷燃烧炉6、主吸收塔8、副吸收塔10、调酸槽16、脱砷反应器17、脱砷过滤机19、脱硫 塔20、隔板结晶装置22、板框压滤机25和产品调配槽27依次连接，其矩形管气化黄磷燃烧 炉6与空气洗涤塔3连接，副吸收塔10另与文丘里管13、电除雾器14和引风机15依次连 接。
[0032] 以上所述的黄磷漂洗槽0设有水洗循环泵1，并设有加热夹套和黄磷出料口，加热 夹套的进水口与矩形管气化黄磷燃烧炉6顶部的出水口连接，黄磷出料口与高位供磷槽5 顶部的进料口连接。
[0033] 以上所述的高位供磷槽5为广西明利集团有限公司申请的发明专利"热法磷酸生 产的安全供磷装置"，专利号CN201010127143. 0 ;该装置主要设有计量器、夹套，高位供磷槽 5的熔磷出口与调节阀采用耐酸管连接，计量器前后与调节阀采用耐酸管连接，矩形管气化 黄磷燃烧炉6下段的熔磷进口与调节阀采用耐酸管连接，熔磷槽的进水口采用保温水管与 燃烧炉上段的出水口连接。
[0034] 以上所述的空气洗涤塔3为广西钦州桂金诺磷化工有限公司申请的发明专利"用 磷酸吸附除湿和除尘净化空气的装置"，专利号CN201120199684. 4 ;该装置包括净化塔、酸 储槽、酸循环泵2,空气洗涤塔3顶部设置喷洒头，并采用耐酸管与酸循环泵2连接，空气洗 涤3下段采用耐酸管与酸储槽和酸循环泵2依次连接，或连接在热法磷酸生产装置中，供风 机与空气洗涤塔3下段采用耐酸管连接。
[0035] 以上所述的矩形管气化黄磷燃烧炉6采用本公司同日申请的"一种矩形黄磷气化 燃烧炉"，该装置包括燃烧炉内设有矩形气化管、托钩和支撑架，矩形气化管的一端从矩形 角斜向下延伸至燃烧炉底部中间，并且在矩形气化管尾端设置喷嘴，另一端通过燃烧炉的 炉夹套设置的套管与熔磷槽连接。
[0036] 以上所述的主吸收塔8和副吸收塔10采用常规的磷酸水合吸收塔，所述的主吸收 塔8附设有浓酸泵9和浓酸槽7,所述的浓酸槽7的进酸口分别与矩形管气化黄磷燃烧炉6 上段的出酸口和主吸收塔8下端的出酸口连接，所述的浓酸泵9的进酸口与浓酸槽7的出 酸口连接，浓酸泵9的出酸口分别与主吸收塔8顶部设置的喷头和浓酸泵9出酸口连接；所 述的副吸收塔10附设有稀酸泵12和稀酸槽11，所述的稀酸槽11的进酸口分别与副吸收 塔10的出酸口、文丘里管13下端的出酸口和电除雾器14下端的出酸口连接，所述的稀酸 泵12的进酸口与稀磷酸槽11的出酸口连接，稀磷酸泵12的出酸口分别与副吸收塔10顶 部设置的喷头、主吸收塔8顶部设置的喷头和调酸槽16顶部的进酸口连接。
[0037] 以上所述的电除雾器14为广西明利集团有限公司申请的发明专利"磷酸尾气电 除雾装置"，专利号CN201010127141. 1 ;该装置设有出气室、冷却室、配气室、进气室，其部件 包括：高压恒流直流电源引线绝缘箱、无引线绝缘箱、顶盖、壳体、出气室人孔、电晕电极装 置、花板一、阳极静电沉淀管、进水口、花板二、配气室人孔、气体分布板、进气室人孔、斜底 板、排污口、进气口、出水口、出气口和冲洗装置组成。
[0038] 以上所述的调酸槽设有夹套和搅拌装置，所述的夹套的进水口与圆形管气化燃烧 炉的出水口或主吸收塔的出水口连接。
[0039] 以上所述的所述的脱砷反应器主要设置脱砷反应器17、脱砷循环泵18和脱砷文 里管并依次循环连接；所述的脱砷反应器17设置进料口、P2S5投料口和出气口，脱砷文里 管设置脱砷反应器17中下部，脱砷循环泵18的进料口与设在脱砷反应器17底部出料口连 接，脱砷反应器17上部进料口和出气口分别与调酸槽16和电除雾器14连接。
[0040] 以上所述的脱硫塔20为广西明利化工有限公司申请的发明专利"一种食品级磷 酸脱除硫化氢的装置"，专利号CN201220735526. 0 ;该装置主要设置集酸槽、脱硫循环泵21 和脱气塔，脱气塔、集酸槽、脱硫循环泵21依次循环连接；所述的脱气塔设置于集酸槽一端 顶上部，并与集酸槽的槽体焊接连通；脱气塔设置H 2S出气口、喷淋头、填料层；所述的H2S 出气口设置于脱气塔顶部，并与外设的脱砷反应器连接；所述的喷淋头设置于脱气塔的上 部，并用循环管与阀门V和脱硫循环泵21依次连接；填料层和不锈钢丝网设置于脱气塔的 中部和下部；集酸槽中部为方体，两端头为半圆柱体；集酸槽设置进酸口、洁净空气进气孔 和阀门VI，进酸口和人孔设置位于集酸槽靠近脱气塔一端顶部，进酸口设置盖板和进料阀 门；进气口设置位于集酸槽远离脱气塔一端顶部；阀门III设置位于集酸槽远离脱气塔一端 底部，阀门III与脱硫循环泵进口用法兰连接；脱硫循环泵21出口连接三通管，其中一支先 连接阀门V，再用循环管与脱气塔塔顶的喷淋头连接，另一支连接阀门IV通往隔板结晶装 置22 ;所述填料层的材料为塑料拉西环、不锈钢拉西环和陶瓷拉西环中的一种。
[0041] 以上所述的隔板结晶装置22,包括结晶器、出酸/循环泵24,所述的结晶器包括有 结晶箱、隔板、洗晶装置，结晶器还设有加晶种口、出酸口、冷热介质入口和冷热介质出口， 结晶器的出酸口通过阀门与出酸/循环泵24连接，调酸罐的上部和顶部设有进料口、进水 口、排气口和循环酸进口，出酸/循环泵24与板框压滤机25、贮槽26和产品调配槽27依次 连接，循环酸进口与循环酸出口用耐酸管通过出酸/循环泵和循环酸阀连接，出酸/循环泵 24还与洗晶装置连接；所述的隔板设有四块以上，结晶格和冷热介质格交差设置，所述的 进酸口设在结晶格上部，出酸口设在结晶格底部；所述的冷热介质入口连接有进冷介质管、 进热介质管和排流管，冷介质入口通过水泵23连接到冷介质罐；冷热介质入口连接排热介 质管和冷介质回流管，所述的冷介质回流管连接冷介质罐；所述的洗晶装置包括进水管和 喷淋管，喷淋管平行设在结晶格上部，喷淋管上均匀设有喷淋头，洗晶装置通过阀门与出酸 泵连接。
【权利要求】
1. 一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，设置原料净化单元、燃烧吸收单元和产品提 纯单元；原料净化单元设备包括黄磷漂洗槽（0 )、空气洗涤塔（3 )和高位供磷槽（5 )，燃烧吸 收单元设备包括矩形管气化黄磷燃烧炉（6)、主吸收塔（8)、副吸收塔（10)、文丘里管（13)、 电除雾器（14)和引风机（15)，产品提纯单元设备包括调酸槽（16)、脱砷反应器（17)、脱砷 过滤机（19)、脱硫塔（20)、隔板结晶装置（22)、板框压滤机（25)和产品调配槽（27);黄磷漂 洗槽（〇)、高位供磷槽（5)、矩形管气化黄磷燃烧炉（6)、主吸收塔（8)、副吸收塔（10)、调酸 槽（16)、脱砷反应器（17)、脱砷过滤机（19)、脱硫塔（20)、隔板结晶装置（22)、板框压滤机 (25 )和产品调配槽（27 )依次连接，其中矩形管气化黄磷燃烧炉（6 )与空气洗涤塔（3 )连接， 副吸收塔（10)另与文丘里管（13)、电除雾器（14)和引风机（15)依次连接。
2. 根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，其特征在于：所述的 黄磷漂洗槽（〇)设有水洗循环泵（1 )，并设有加热夹套和黄磷出料口，加热夹套的进水口与 矩形管气化黄磷燃烧炉（6)顶部的出水口连接，黄磷出料口与高位供磷槽（5)顶部的进料 口连接。
3. 根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，其特征在于：所述的 高位供磷槽（5)主要设有计量器、夹套，高位供磷槽（5)的熔磷出口与调节阀采用耐酸管连 接，计量器前后与调节阀采用耐酸管连接，矩形管气化黄磷燃烧炉（6)下段的熔磷进口与调 节阀采用耐酸管连接，熔磷槽的进水口采用保温水管与燃烧炉上段的出水口连接。
4. 根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，其特征在于：所述的 空气洗涤塔（3)包括净化塔、酸储槽、酸循环泵（2)，空气洗涤塔（3)顶部设置喷洒头，并采 用耐酸管与酸循环泵（2)连接，空气洗涤（3)下段采用耐酸管与酸储槽和酸循环泵（2)依次 连接，或连接在热法磷酸生产装置中，供风机与空气洗涤塔（3)下段采用耐酸管连接。
5. 根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，其特征在于：所述的 矩形管气化黄磷燃烧炉（6 )包括燃烧炉内设有矩形气化管、托钩和支撑架，矩形气化管的一 端从矩形角斜向下延伸至燃烧炉底部中间，并且在矩形气化管尾端设置喷嘴，另一端通过 燃烧炉的炉夹套设置的套管与熔磷槽连接。
6. 根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，其特征在于：所述的 主吸收塔（8)和副吸收塔（10)采用常规的磷酸水合吸收塔，所述的主吸收塔（8)附设有浓 酸泵（9 )和浓酸槽（7 )，所述的浓酸槽（7 )的进酸口分别与矩形管气化黄磷燃烧炉（6 )上段 的出酸口和主吸收塔（8)下端的出酸口连接，所述的浓酸泵（9)的进酸口与浓酸槽（7)的出 酸口连接，浓酸泵（9)的出酸口分别与主吸收塔（8)顶部设置的喷头和浓酸泵（9)出酸口连 接；所述的副吸收塔（10)附设有稀酸泵（12)和稀酸槽（11)，所述的稀酸槽（11)的进酸口 分别与副吸收塔（10)的出酸口、文丘里管（13)下端的出酸口和电除雾器（14)下端的出酸 口连接，所述的稀酸泵（12)的进酸口与稀磷酸槽（11)的出酸口连接，稀磷酸泵（12)的出酸 口分别与副吸收塔（10)顶部设置的喷头、主吸收塔（8)顶部设置的喷头和调酸槽（16)顶部 的进酸口连接。
7. 根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，其特征在于：所述的 电除雾器（14)设有出气室、冷却室、配气室、进气室，其部件包括：高压恒流直流电源引线 绝缘箱、无引线绝缘箱、顶盖、壳体、出气室人孔、电晕电极装置、花板一、阳极静电沉淀管、 进水口、花板二、配气室人孔、气体分布板、进气室人孔、斜底板、排污口、进气口、出水口、出 气口和冲洗装置组成。
8. 根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，其特征在于：所述的 调酸槽设有夹套和搅拌装置，所述的夹套的进水口与圆形管气化燃烧炉的出水口或主吸收 塔的出水口连接。
9. 根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，其特征在于：所述的 脱砷反应器主要设置脱砷反应器（17)、脱砷循环泵（18)和脱砷文里管并依次循环连接；所 述的脱砷反应器（17)设置进料口、P 2S5投料口和出气口，脱砷文里管设置脱砷反应器（17) 中下部，脱砷循环泵（18)的进料口与设在脱砷反应器（17)底部出料口连接，脱砷反应器 (17)上部进料口和出气口分别与调酸槽（16)和电除雾器（14)连接。
10. 根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的装置，其特征在于：所述 的脱硫塔（20)主要设置集酸槽、脱硫循环泵（21)和脱气塔，脱气塔、集酸槽、脱硫循环泵 (21)依次循环连接；所述的脱气塔设置于集酸槽一端顶上部，并与集酸槽的槽体焊接连通； 脱气塔设置H 2S出气口、喷淋头、填料层；所述的H2S出气口设置于脱气塔顶部，并与外设的 脱砷反应器连接；所述的喷淋头设置于脱气塔的上部，并用循环管与阀门V和脱硫循环泵 (21)依次连接；填料层和不锈钢丝网设置于脱气塔的中部和下部；集酸槽中部为方体，两 端头为半圆柱体；集酸槽设置进酸口、洁净空气进气孔和阀门VI，进酸口和人孔设置位于集 酸槽靠近脱气塔一端顶部，进酸口设置盖板和进料阀门；进气口设置位于集酸槽远离脱气 塔一端顶部；阀门III设置位于集酸槽远离脱气塔一端底部，阀门III与脱硫循环泵进口用法 兰连接；脱硫循环泵（21)出口连接三通管，其中一支先连接阀门V，再用循环管与脱气塔 塔顶的喷淋头连接，另一支连接阀门IV通往隔板结晶装置（22)。
【文档编号】C01B25/234GK203833616SQ201320881881
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2013年12月30日 优先权日:2013年12月30日
【发明者】林军, 吴小海, 苏杰文 申请人:广西明利化工有限公司