技术总结
本发明通过使刀尖(51)滑动而在脆性基板(4)的第1面(SF1)上产生塑性变形，由此形成沟槽线(TL)。沟槽线(TL)的形成以如下方式进行，即，获得在沟槽线(TL)的正下方脆性基板(4)在与沟槽线(TL)交叉的方向上连续相连的状态、即无裂缝状态。接下来，维持无裂缝状态。接下来，通过使脆性基板(4)在厚度方向上的裂缝沿着沟槽线(TL)伸展，而形成裂缝线(CL)。沿着裂缝线(CL)分断脆性基板(4)。
技术研发人员：曾山浩
受保护的技术使用者：三星钻石工业股份有限公司
文档号码：201580028199
技术研发日：2015.03.31
技术公布日：2017.02.22