具有低压缩的层叠玻璃制品及其形成方法与流程

文档序号:11283916阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
强化玻璃制品(100),例如用于p‑Si基晶体管的基材,包括第一和第二玻璃包覆层(104、106)以及布置在其间的玻璃芯层(102)。可以由相同玻璃制造的各包覆层(104、106)的热膨胀系数[CTE]至少比芯层(102)的CTE小1x10‑7℃‑1。芯层和包覆层的应变点分别小于700℃。玻璃制品(100)的压缩至多约20ppm[参见图1]。一种方法包括形成玻璃制品和/或加热玻璃制品至至少约400℃的第一温度。玻璃制品具有玻璃芯层(102)和与芯层相邻的玻璃包覆层(104、106)。玻璃制品在400‑600℃的温度范围内维持30‑90分钟的保持时间段,之后在30秒至5分钟的冷却时间段内冷却到至多50℃的温度。可以通过熔合溢流下拉工艺生产用于热强化的玻璃制品(100),例如参见图3所示。

技术研发人员:T·J·基克辛斯基;S·J·蔻瑟巴;N·文卡特拉曼
受保护的技术使用者:康宁股份有限公司
技术研发日:2015.12.07
技术公布日:2017.09.26
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