一种免烧结致密多晶硅铸锭用坩埚涂层的制备方法与流程

文档序号:13253711阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种免烧结致密多晶硅铸锭用坩埚涂层的制备方法,其特征在于具体制备步骤为:(1)收集纳米氧化钙粉末,将其置于120~330℃下预热1~2h,待预热完成后,按5℃/min速度缓慢升温至850~900℃,随后保温煅烧1~2h,制备得煅烧纳米氧化钙粉末,再按重量份数计,分别称量35~50份无水乙醇、15~20份异丁烷和35~45份上述制备的氧化钙粉末置于三口烧瓶中,在55~65℃下加热回流1~2h;(2)待加热回流完成后,对其抽滤并收集滤饼,在65~80℃下干燥6~7h,制备得改性纳米氧化钙粉末,再按重量份数计,分别称量45~55份丙酮、20~25份乙酸乙酯和25~30份苯乙烯-丁二烯-苯乙烯嵌段共聚物于三口烧瓶中,将其置于35~45℃下水浴加热1~2h,制备得溶剂胶黏剂;(3)随后按质量比1:8,将上述制备的改性纳米氧化钙粉末与溶剂胶黏剂搅拌混合,再在200~300W下超声分散15~20min后,在65~70℃下旋转蒸发至原体积的1/6,随后静置陈化12~15h,制备得改性胶黏剂;(4)按质量比1:5,将氮化硅粉末与上述制备的改性胶黏剂搅拌混合,再在200~300W下超声分散15~20min,待分散完成后,用喷枪喷涂在加热到70~85℃多晶硅铸锭用的坩埚内壁及内底部硅粉引晶层上,待喷涂完后将坩埚静置在65~80℃下固化24~30h,随后静置冷却至20~30℃,即可制备得一种免烧结致密多晶硅铸锭用坩埚涂层。
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