技术总结
本发明涉及一种免烧结致密多晶硅铸锭用坩埚涂层的制备方法，属于涂层制备技术领域。本发明首先将纳米氧化钙粉末预热，煅烧后，再与无水乙醇，异丁烷等物质混合加热，抽滤，将滤饼干燥，得改性纳米氧化钙粉末，再将其与制得的溶剂胶黏剂混合，超声分散，蒸发得改性胶黏剂，最后将其与氮化硅粉末混合，分散，并用喷枪喷涂，即可制备得免烧结致密多晶硅铸锭用坩埚涂层。本发明制备的免烧结致密多晶硅铸锭用坩埚涂层稳定性好，稳定性提高15～17％；涂层具有高致密性，不易脱落。
技术研发人员：吴迪;薛培龙;高玉刚;
受保护的技术使用者：吴迪;
文档号码：201610228465
技术研发日：2016.04.13
技术公布日：2016.07.27