氧化物烧结材料、氧化物烧结材料的制造方法、溅射靶和半导体装置的制造方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明提供一种包含铟、钨和锌的氧化物烧结材料，所述氧化物烧结材料包含：第一晶相，所述第一晶相为所述氧化物烧结材料的主要成分并包含方铁锰矿型晶相；和第二晶相，所述第二晶相的锌的含量比所述第一晶相的锌的含量高，所述第二晶相包含平均长轴尺寸为3μm以上且50μm以下并且平均长径比为4以上且50以下的粒子。

技术研发人员：宫永美纪;绵谷研一;粟田英章
受保护的技术使用者：住友电气工业株式会社
技术研发日：2016.05.06
技术公布日：2017.08.01