用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体的制作方法

文档序号:12794621阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种用于超大尺寸硅锭的多晶铸锭炉炉体,包括设在多晶铸锭炉炉身中的冷却散热板,在冷却散热板的中心处设有测温取样孔,在冷却散热板的下表面上铺满冷却管道,冷却管道设有一个进口和一个出口,在冷却散热板的下表面四周设有与炉身相接的防护板Ⅰ,在冷却散热板上表面的测温取样孔四周设有防护板Ⅱ。本发明通过在多晶铸锭炉炉身中设冷却散热板,冷却散热板的下表面上设有冷却管道,冷却管道中通入液体或惰性气体用于冷却,其冷却能力强,冷却速度加快;通过设置防护板Ⅰ和防护板Ⅱ可以防止坩埚破裂后料液从温取样孔或冷却散热板的四周流出,从而加强了防护,提高了其安全性。

技术研发人员:不公告发明人
受保护的技术使用者:连云港清友新能源科技有限公司
技术研发日:2017.04.23
技术公布日:2017.07.04
当前第2页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1