技术特征：
技术总结
本发明提供一种双面均匀沉积CVDZnS块体材料的设备，采用独特的内外双沉积室结构和自带混气室的一体喷嘴结构，通过从沉积空间底部抽真空，控制气流由下而上，再由上而下导流，使锌蒸汽和硫化氢气体混合均匀并沿沉积基板双面均匀沉积，可一次制备得到9块300×300×15mm的光学质量均匀且厚度均匀的硫化锌多晶块体材料，相比普通CVD硫化锌生产设备效率高，具有较高的实用价值，可大批量生产CVD硫化锌多晶块体材料。
技术研发人员：姜杰;应飞飞;王侃;吴绍华;子光平;李茂忠;张明;缪彦美;朱凯;夏青松;郭晨宇
受保护的技术使用者：云南北方驰宏光电有限公司
技术研发日：2017.04.27
技术公布日：2017.09.01