一种坩埚保护装置的制作方法

本发明涉及半导体、光伏器件的制造设备领域，尤其涉及一种坩埚保护装置。

背景技术：

在多晶硅铸锭过程中，需要使用坩埚护板对石英坩埚进行保护，起到隔离污染作用。在实际使用过程中，需要将四块坩埚护板拼接固定在装有硅料的石英坩埚外侧，配合碳-碳盖板和碳-碳底板形成封闭的空间。

随着多晶铸锭技术的发展，铸锭的种类越来越多，主要包括：提纯锭、半熔高效多晶硅锭、全熔高效多晶铸锭和铸造单晶硅锭等。不同类型铸锭对坩埚高度要求也不一致，从而坩埚护板高度也要随之调整，导致现有的坩埚护板需要重新设计和购买，造成资源浪费。另一方面，在多晶铸锭过程中，由于坩埚质量或者装料细节等影响，在铸锭过程中会出现硅液溢流现象，容易导致坩埚护板全部损坏，造成铸锭成本大幅度增加。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构可靠、使用方便、能够根据坩埚高度灵活调整、有利于降低生产成本的坩埚保护装置。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种坩埚保护装置，包括坩埚底板、设于坩埚底板上的组合护板以及设于组合护板上部的坩埚盖板，所述组合护板包括下层护板及上层护板，所述下层护板上部设有出气口，所述上层护板上部设有所述出气口，所述上层护板下部设有下凸部，所述上层护板的下凸部卡设于所述下层护板的出气口内。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述下层护板下部设有溢流口。

所述坩埚盖板上设有进气口。

所述下层护板左右两侧均设有螺栓孔，所述上层护板左右两侧及上部均设有螺栓孔。

所述下层护板的高度为60mm-600mm，所述上层护板的高度为60mm-600mm。

所述下层护板和上层护板的宽度为156mm-1560mm。

与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明公开的坩埚保护装置，其护板由下层护板及上层护板组合而成，从而可根据坩埚高度灵活调节护板的高度，同时下层护板的高度可灵活设置，在溢流时可避免造成大面积护板损坏；下层护板可采用现有的护板结构，上层护板可由现有的护板增设下凸部制成，无需做过多的结构改动，有利于节省原材料，降低生产成本；上层护板利用下凸部卡设于下层护板的出气口内，结构可靠、契合牢固，不易产生横向移动，且拆装方便快速。

附图说明

图1是本发明坩埚保护装置的结构示意图。

图2是本发明中的组合护板的结构示意图。

图3是本发明中的下层护板的结构示意图。

图4是本发明中的上层护板的结构示意图。

图中各标号表示：1、下层护板；2、出气口；3、上层护板；31、下凸部；4、溢流口；5、螺栓孔；6、坩埚底板；7、坩埚盖板；71、进气口；8、坩埚。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。

如图1至图4所示，本实施例的坩埚保护装置，包括下层护板1，下层护板1上部设有出气口2，坩埚保护装置还包括上层护板3，上层护板3上部设有出气口2，上层护板3下部设有下凸部31，上层护板3的下凸部31卡设于下层护板1的出气口2内。由于在多晶铸锭过程中需要使用保护气体（如氩气）保护，坩埚盖板7上设有进气口71，相应地在坩埚护板上开设有出气口2，使保护气体能够顺畅流通。其中，下层护板1上的出气口2可以为1个、2个或多个，上层护板3上的下凸部31对应设置即可；上层护板3上的出气口2也可以为1个、2个或多个。

本发明的坩埚保护装置，其护板由下层护板1和上层护板3组合而成，从而可根据坩埚高度灵活调节护板的高度，同时下层护板1的高度可灵活设置，在溢流时可避免造成大面积护板损坏；下层护板3可采用现有的护板结构，上层护板可由现有的护板增设下凸部31制成，无需做过多的结构改动，有利于节省原材料，降低生产成本；上层护板3利用下凸部31卡设于下层护板4的出气口2内，结构可靠、契合牢固，不易产生横向移动，且拆装方便快速。

下层护板1下部设有溢流口4。在铸锭过程中常常会发生硅液溢流现象，溢流出的硅液可从溢流口4排出。本实施例中，溢流口4的数量为1个，在其他实施例中，也可为2个或多个。

本实施例中，下层护板1左右两侧均设有螺栓孔5，上层护板3左右两侧及上部均设有螺栓孔5。其中，下层护板1左右两侧的螺栓孔5、上层护板3左右两侧螺栓孔5便于使用时与相邻护板连接、固定，上层护板3上部的螺栓孔5便于与盖板连接、固定。

下层护板1的高度（图中上下方向的尺寸）为60mm-600mm，上层护板3的高度为60mm-600mm，两者的宽度（图中左右方向的尺寸）为156mm-1560mm，便于与不同规格的坩埚匹配；护板的材料可采用碳碳石墨复合材料。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。

技术特征：

技术总结
本发明公开了一种坩埚保护装置，包括坩埚底板、设于坩埚底板上的组合护板以及设于组合护板上部的坩埚盖板，所述组合护板包括下层护板及上层护板，所述下层护板上部设有出气口，所述上层护板上部设有所述出气口，所述上层护板下部设有下凸部，所述上层护板的下凸部卡设于所述下层护板的出气口内。本发明具有结构可靠、使用方便、能够根据坩埚高度灵活调整、有利于降低生产成本等优点。

技术研发人员：明亮;黄美玲;瞿海斌;段金刚;邱昊
受保护的技术使用者：湖南红太阳光电科技有限公司
技术研发日：2017.06.26
技术公布日：2019.01.01