技术特征：
技术总结
本发明涉及氟纯化的方法。元素氟通常是由KF在氟化氢中的一种溶液以电化学方式制造的并且包含变化量值的处于固体形式的夹带的电解质盐作为杂质。本发明涉及一种用于纯化此类不纯的元素氟的方法，是通过与液体氟化氢相接触或者通过将原料氟鼓入穿过液体氟化氢。在这个纯化步骤之后，通过吸附来、使其冷凝或二者来去除任何夹带的氟化氢。在穿过一个具有非常小孔的过滤器之后，纯化过的氟尤其适合于半导体工业，在半导体、TFT和太阳能电池的制造中作为蚀刻气体或作为室清洁气体，或者用于制造微机电系统。
技术研发人员：奥利维耶罗.黛安娜;彼得.M.普雷迪坎特;菲利普.莫雷勒;毛里齐奥.帕加宁;克里斯托弗.萨默
受保护的技术使用者：索尔维公司
技术研发日：2011.08.03
技术公布日：2017.10.17