上保温结构及晶体生长设备的制作方法

文档序号:13100690阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种上保温结构,其特征在于,包括沿上下方向层叠且间隔设置的多个环形热屏,所述多个环形热屏同心设置;每层环形热屏用于将下方辐射来的热量反射到下方;

自下而上,所述上保温结构包括温差部、散热部和保温部,所述温差部包括多个第一环形热屏,自下而上,所述多个第一环形热屏的内径逐渐增大;所述散热部包括多个第二环形热屏,所述第二环形热屏的内径大于所述多个第一环形热屏中的任意一个;所述保温部包括多个第三环形热屏,所述第三环形热屏的内径小于所述多个第一热屏中的任意一个。

2.根据权利要求1所述的上保温结构,其特征在于,所述多个第二环形热屏的内径相等。

3.根据权利要求2所述的上保温结构,其特征在于,所述多个第三环形热屏的内径相等。

4.根据权利要求3所述的上保温结构,其特征在于,所述第一环形热屏的数量为五个,且自上而下,所述多个第一环形热屏的内径依次为60、70、80、90、100mm;所述第二环形热屏的内径为150mm;所述第三环形热屏的内径为55mm。

5.根据权利要求1所述的上保温结构,其特征在于,所述上保温结构包括由多个环形热屏叠加形成的坩埚盖屏和上热屏,所述坩埚盖屏固定在坩埚开口,所述上热屏扣挂在所述坩埚盖屏上方,且所述上热屏的下底面与坩埚盖屏的上顶面之间存在间隙。

6.根据权利要求5所述的上保温结构,其特征在于,自所述上热屏下底面向上,依次设置有多个第二环形热屏,自所述坩埚盖屏上顶面向下,依次设置有多个第二环形热屏,以使所述上热屏扣挂在所述坩埚盖屏上方时,形成散热部。

7.根据权利要求5所述的上保温结构,其特征在于,所述坩埚盖屏上任意相邻两个所述环形热屏之间设置有支撑件。

8.根据权利要求5所述的上保温结构,其特征在于,所述上热屏上开设有观察孔,所述观察孔用于观察坩埚内晶体的生长情况,所述观察孔与竖直方向的夹角小于等于9°。

9.根据权利要求7所述的上保温结构,其特征在于,所述上保温结构包括多根固定杆,多个所述环形热屏插接在所述固定杆上,所述固定杆上设置有螺纹,且每个所述环形热屏与所述固定杆的连接处下方设置有螺母,所述螺母用于托住所述环形热屏。

10.一种晶体生长设备,其特征在于,包括权利要求1-9任意一项所述的上保温结构。

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