上保温结构及晶体生长设备的制作方法

文档序号:13100690阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供了一种上保温结构及晶体生长设备,涉及泡生法制造蓝宝石技术领域,所述上保温结构,包括沿上下方向层叠且间隔设置的多个环形热屏,所述多个环形热屏同心设置;每层环形热屏用于将下方辐射来的热量反射到下方;自下而上,所述上保温结构包括温差部、散热部和保温部,所述温差部包括多个第一环形热屏,自下而上,所述多个第一环形热屏的内径逐渐增大;所述散热部包括多个第二环形热屏,所述第二环形热屏的内径大于所述多个第一环形热屏中的任意一个;所述保温部包括多个第三环形热屏,所述第三环形热屏的内径小于所述多个第一热屏中的任意一个。可以增加扩肩时期,径向的温度差,增大温度调节范围,使晶体生长更容易控制。

技术研发人员:戎峻;杨勇;陈翼;汪志伟
受保护的技术使用者:青海晶煜晶体科技有限公司
文档号码:201720224742
技术研发日:2017.03.09
技术公布日:2017.12.05

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