碳电极及石英玻璃坩埚的制造方法与流程

文档序号:22257214发布日期:2020-09-18 13:53阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种碳电极,其用于用以制造石英玻璃坩埚的电弧放电,所述碳电极的特征在于,

至少在所述碳电极的长度方向的距进行所述电弧放电的前端部50mm~130mm的范围内,在所述碳电极的表面上形成有凹部图案及凸部图案中的至少任意一种。

2.根据权利要求1所述的碳电极,其特征在于,

作为所述凹部图案及凸部图案中的至少任意一种,形成有多个凹部及多个凸部中的至少任意一种,

所述凹部的深度或所述凸部的高度为2.0mm以上10.0mm以下,以所述碳电极的未形成所述凹部及所述凸部的表面为基准面,至少在所述碳电极的长度方向的50mm~130mm的范围内的、任意的所述碳电极的长度方向20mm×圆周方向20mm的范围内,所述凹部及凸部中的至少任意一种以10%以上90%以下的面积比例存在。

3.根据权利要求1或2所述的碳电极,其特征在于,作为所述凹部图案及凸部图案中的至少任意一种,形成有槽及突起中的至少任意一种。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的碳电极,其特征在于,作为所述凹部图案及凸部图案中的至少任意一种,形成有螺纹槽,

该螺纹槽的深度为2.0mm以上10.0mm以下,螺距为1.0mm以上10mm以下。

5.一种石英玻璃坩埚的制造方法,其为制造石英玻璃坩埚的方法,其特征在于,其具有:

准备为所述石英玻璃坩埚的原料的原料石英粉并将其成型为坩埚形状的工序;及

使用权利要求1~4中任一项所述的碳电极进行电弧放电,将成型为所述坩埚形状的原料石英粉熔融的工序。


技术总结
本发明为一种碳电极,其用于用以制造石英玻璃坩埚的电弧放电,其中,至少在所述碳电极的长度方向的距进行所述电弧放电的前端部50mm~130mm的范围内,在所述碳电极的表面上形成有凹部图案及凸部图案中的至少任意一种。由此,提供一种在石英玻璃坩埚的制造中能够抑制硅粉在碳电极上凝聚的碳电极。

技术研发人员:友国和树
受保护的技术使用者:信越石英株式会社
技术研发日:2019.01.17
技术公布日:2020.09.18
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