一种高温熔融法制备氮化铝粉末的方法

文档序号:9409057阅读:1519来源:国知局
一种高温熔融法制备氮化铝粉末的方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种氧化铝粉末的制备方法,具体涉及一种高温熔融法制备氮化铝粉 末的方法。
【背景技术】
[0002] 目前,随着电子行业及LED行业的快速发展,器件逐渐朝着小型化、高功率方向发 展,这不可避免的会导致高热量的产生,高导热材料的应用可以有效解决高功率器件的散 热问题。目前已用于实际和开发应用高导热基片有氧化铝、碳化硅、氧化铍、氮化铝、CVD-BN 等。氧化铝成本低,但是相对的导热率低,在高端领域限制了其使用。碳化硅的热导率虽然 高,但是电容大,电阻率低,绝缘性差。氧化铍毒性大,限制了其实际使用。BN难以烧结致 密,低密度的BN热导率、机械强度急剧恶化。而氮化铝陶瓷具有极高的热导率,无毒、耐腐 蚀、耐高温,热化学稳定性好等特点。但是高质量氮化铝价格较高,限制了其应用。如何制 备低成本、高质量的氮化铝粉体成为关键。
[0003] 目前制备氮化铝粉体的方法主要有五种:铝粉直接氮化法、高温自蔓延法、碳热还 原法、气相法、有机盐裂解法等。直接氮化法工艺简单,但是有产物易结块、氮化不完全的问 题;自蔓延方法反应速度快、成本低,但是反应过程难以控制,产物纯度低;碳热还原法可 制备高档粉末,但反应温度高、时间长,且需二次除碳,成本较高;气相法和有机盐裂解法可 制备高纯、超细氮化铝粉体,但原料成本昂贵,无法在工业中广泛应用。

【发明内容】

[0004] 本发明的目的就是针对现有技术存在的缺陷,提供一种纯度高,球形度高,粒度分 布窄,无结块现象的高温熔融法制备氮化铝粉末的方法。
[0005] 其技术方案是:它通过以下操作步骤实现: (1) 在熔融炉的炉体内通入氨气和氮气混合气,控制氨气和氮气混合气的供给量为25 L-35L/min,排净炉体内的空气; (2) 熔融炉的炉体升温至1KKTC~2200°C,并在设定温度保温,反应温度要高于铝粉 的恪点,保证错粉在反应过程中液化。反应温度过低时,反应速率变慢,反应无法完全进行, 导致产品良率差,反应温度高于2200°C时,铝粉挥发严重,同时温度过高会导致反应朝着逆 反应方向进行,导致反应不完全,且生成的氮化铝在高温下会分解; (3) 向熔融炉的炉体内加入高纯铝粉,同时供给氨气和氮气混合气,控制氨气和氮气混 合气的供给量为280L-320L/min,使铝粉熔化并反应; (4) 控制冷却炉的冷却区域低端的温度低于400°C; (5) 反应后的铝粉进入冷却炉冷却,并收集得到的铝粉粉末进入袋滤器; (6) 通过鼓风机将尾气排入尾气处理设备。
[0006] 所述熔融炉上设有原料粉末供给管、氨气和氮气混合气供给管。
[0007] 所述高纯铝粉的平均粒径为0. 01ym~10ym,纯度大于99%,且粒径分布窄。
[0008] 所述氨气和氮气的混合气,其中氨气的纯度大于99%,氨气和氮气的混合摩尔比为 1 :2 ~4 :1〇
[0009] 所述熔融炉采用但不局限于石墨加热、钨加热、钼加热、钽加热等方式。
[0010] 所述冷却炉上设有冷却水供给管和冷却水出水管。
[0011] 所述冷却炉采用但不局限于水冷却、气冷却、油冷却等方式。
[0012] 其中,所述高纯铝粉的制备方法包括但不局限于:机械粉碎法、气相沉淀合成法、 雾化法、激光法、化学燃烧法、气相化学还原法、固液置换反应法、固液还原反应法、金属有 机化合物热分解法、液相化学反应法、微乳化液法、辐射化学还原法、水热法(高温水解法)、 冷冻干燥法、溶胶_凝胶法(胶体化学法)、沉淀法、爆破法、电解法、等离子法(熔融-汽 化-骤冷)、溅射法、超声波粉碎法等。
[0013] 本发明采用的方法成本低,制备的氮化铝粉末纯度高,球形度高,粒度分布窄,无 结块现象。
【附图说明】
[0014] 图1是本发明实施步骤的原理框图。
【具体实施方式】
[0015] 参照图1,结合实施例对本发明做进一步说明,一种高温熔融法制备氮化铝粉末的 方法,实施例采用的铝粉为平均粒径在0. 01ym~10ym的高纯铝粉,优选0. 5ym~5ym, 更优选1ym~3ym,优选特细雾化错粉。
[0016] 反应过程中供给的气体为氨气和氮气的混合气,氨气和氮气的混合摩尔比优选1 : 2~4 :1之间,更优选2 :1~2. 5 :1〇
[0017] 熔融炉优选石墨电阻加热方式,采用钨、钼、钽等加热。
[0018] 反应温度在1100 °C~2200 °C之间,优选1400 °C~1900 °C,更优选1600 °C~ 1800°C之间。反应温度过低,氮化不完全,反应温度过高,铝粉易蒸发,且逆反应逐渐增强, 不利于反应进行。
[0019] 冷却炉优选水冷方式进行冷却,当冷却炉低端温度高于400°C时,通过反馈调节增 加冷却水的流量来降低冷却炉的温度,直至温度将至400°C以下。
[0020] 实施例1 向熔融炉内通入氨气和氮气混合气,氨气纯度为99. 9%,氮气纯度为99. 9%,氨气和氮 气和混合摩尔比而2 :1,供给量为30L/min,用以排净炉内的空气; 熔融炉进行升温,5小时由室温升至1650°C,在1650°C进行保温; 在1650°C进行保温后,氨气和氮气混合气的进气量为300L/min。铝粉采用特细雾化铝 粉,铝粉平均粒径为2ym,铝粉的供给量为400g/min。冷却水供给量为20L/min。反应过程 中冷却塔低端温度在340~370°C之间波动。
[0021] 最终,经袋滤器收集到的氮化铝粉末平均粒度为3ym,粒径分布窄、球形度高、无 结块现象。
[0022] 实施例2 向熔融炉内通入氨气和氮气混合气,氨气纯度为99. 9%,氮气纯度为99. 9%,氨气和氮 气和混合摩尔比而2 :1,供给量为30L/min,用以排净炉内的空气; 熔融炉进行升温,5小时由室温升至1750°C,在1750°C进行保温; 在1750°C进行保温后,氨气和氮气混合气的进气量为300L/min。铝粉采用特细雾化铝 粉,铝粉平均粒径为2ym,铝粉的供给量为400g/min。冷却水供给量为20L/min。反应过程 中冷却塔低端温度在340~370°C之间波动。
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