0可用来在激光束34的 光栅包络52和玻璃基板12之间产生相对运动，使得光栅包络52横贯光束照射路径66。当激 光束34沿着激光束照射路径66撞击并照射第一表面16时，短时程脉冲沿着激光束照射路径 66烧蚀玻璃基板，从而形成通槽68，其中，在第一表面16处的通槽68的第一宽度Wi大于在第 二表面18处的通槽68的第二宽度化。在激光束照射路径66为封闭路径的情况下，通槽68可 W例如为封闭的通槽，其中路径的起点与路径的终点相交。因此，通槽68可W是封闭通槽， 其将中屯、部分22的至少一部分70与边缘部分20完全分离。一旦通槽68已形成，已从边缘部 分20分离的中屯、部分22的那部分70就可W通过将分离部分提离组件而被移除。分离部分70 可W通过提升设备72提起，该设备包括一个或多个抽吸装置74(例如，吸盘），其与分离部分 70接合并保持分离部分70。通槽68的成角度的壁减小在移除过程中在分离部分70和仍固结 到载体板14的玻璃基板12的剩余部分之间接触的风险。
[0037] 从此前的描述应显而易见的是，虽然在矩形照射路径的上下文中提供，但照射路 径可W是其它形状，例如圆形、卵圆形、楠圆形或甚至自由成形的。
[0038] 本领域的技术人员应了解，在不脱离所公开的实施例的精神和范围的情况下，可 W对所公开的实施例进行各种修改和变型。因此，本公开旨在覆盖运些实施例的修改和变 型，只要运些修改和变型在所附权利要求及其等效物范围内。
【主权项】
1. 一种使玻璃板从载体板分离的方法，包括： 提供包括玻璃基板和载体板的组件，所述玻璃基板具有第一表面、第二表面和在所述 第一表面和所述第二表面之间的厚度，所述玻璃基板还包括边缘部分和中心部分，所述玻 璃基板的所述第二表面在所述边缘部分处粘结到所述载体板，并且其中，所述玻璃基板的 所述第二表面在所述中心部分处不粘结到所述载体板； 利用脉冲激光束沿着照射路径在所述未粘结的中心部分上方照射所述玻璃基板的所 述第一表面，所述照射沿着所述照射路径产生所述玻璃基板的烧蚀，所述烧蚀形成延伸穿 过所述玻璃基板的厚度的通槽并且使所述中心部分与所述边缘部分分离，所述通槽在所述 第一表面处的第一宽度大于在所述第二表面处的第二宽度； 从所述组件移除所述玻璃基板的所述中心部分的至少一部分，以产生玻璃板;并且 其中，所述玻璃基板的所述边缘部分在移除所述中心部分的所述至少一部分期间仍粘 结到所述载体板。2. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述激光束在所述照射期间在光栅图样中移动。3. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述玻璃基板的所述厚度等于或小于100M1。4. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述脉冲激光束的脉冲持续时间等于或小于100 皮秒。5. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述载体板在所述照射期间不被所述激光束分 离。6. 根据权利要求1所述的方法，其中，垂直于所述激光束的纵向轴线的所述激光束的强 度分布为高斯分布。7. 根据权利要求1所述的方法，其中，所述通槽的所述第二宽度等于或大于10M1。8. -种使玻璃板从载体板分离的方法，包括： 提供包括玻璃基板和载体板的组件，所述玻璃基板具有第一表面、第二表面和在所述 第一表面和所述第二表面之间的厚度，所述玻璃基板还包括边缘部分和中心部分，所述玻 璃基板的所述第二表面在所述边缘部分处粘结到所述载体板，并且其中，所述玻璃基板的 所述第二表面在所述中心部分处不粘结到所述载体板； 利用脉冲激光束照射所述玻璃基板的所述第一表面，所述激光束沿着在光栅包络内的 多个平行的扫描路径移动； 在所述光栅包络和所述玻璃基板之间产生相对运动，使得所述光栅包络沿着照射路径 在所述未粘结的中心部分上移动，所述照射沿着所述照射路径产生所述玻璃基板的烧蚀， 所述烧蚀形成延伸穿过所述玻璃基板的厚度的通槽并且使所述中心部分的至少一部分与 所述边缘部分分离，所述通槽在所述第一表面处的宽度1大于在所述第二表面处的宽度W 2; 从所述组件移除所述玻璃基板的所述未粘结的中心部分的所述至少一部分，以产生分 离的玻璃板;并且 其中，所述载体板在所述照射期间不被所述激光束分离。9. 根据权利要求8所述的方法，其中，所述多个扫描路径与所述照射路径平行。10. 根据权利要求8所述的方法，其中，所述激光束在所述玻璃基板的所述第一表面上 形成光斑，并且所述光斑的半峰全宽等于或大于在相邻的扫描路径之间的垂直距离。11. 根据权利要求8所述的方法，其中，W2等于或大于ΙΟμπι。12. 根据权利要求8所述的方法，其中，在移除所述中心部分的所述至少一部分期间，所 述玻璃基板的所述边缘部分仍粘结到所述载体板。13. -种使玻璃板从载体板分尚的方法，包括： 提供包括玻璃基板和载体板的组件，所述玻璃基板具有第一表面、第二表面和在所述 第一表面和所述第二表面之间的厚度，所述玻璃基板还包括边缘部分和中心部分，所述玻 璃基板的所述第二表面在所述边缘部分处粘结到所述载体板，并且其中，所述玻璃基板的 所述第二表面在所述中心部分处不粘结到所述载体板； 利用脉冲激光束照射所述玻璃基板的所述第一表面，所述激光束沿着在光栅包络内的 多个平行的扫描路径移动； 在所述光栅包络和所述玻璃基板之间产生相对运动，使得所述光栅包络沿着与所述多 个平行的扫描路径平行的照射路径在所述未粘结的中心部分上移动，所述照射沿着所述照 射路径产生所述玻璃基板的烧蚀，所述烧蚀形成通槽，所述通槽在所述第一表面处的宽度 Wi大于在所述第二表面处的宽度此并且延伸穿过所述玻璃基板的所述厚度； 从所述组件移除所述玻璃基板的所述未粘结的中心部分的所述至少一部分;并且 其中，所述载体板在所述照射期间不被所述激光束分离。14. 根据权利要求13所述的方法，其中，所述多个扫描路径与所述照射路径平行。15. 根据权利要求13所述的方法，其中，所述激光束在所述玻璃基板的所述第一表面上 形成光斑，并且所述光斑的半峰全宽等于或大于在相邻的扫描路径之间的垂直距离。16. 根据权利要求13所述的方法，其中，在移除所述中心部分的所述至少一部分期间， 所述玻璃基板的所述边缘部分仍粘结到所述载体板。
【专利摘要】一种用于使薄的玻璃基板与玻璃基板的边缘部分粘结到的载体板分离的方法，包括：利用脉冲激光束照射玻璃基板的表面，激光束沿着在光栅包络内的多个平行的扫描路径移动；在光栅包络和玻璃基板之间产生相对运动，使得光栅包络沿着照射路径在未粘结的中心部分上移动。所述照射沿着照射路径产生玻璃基板的烧蚀，所述烧蚀形成通槽，该通槽在第一表面处的宽度W1大于在第二表面处的宽度W2并且延伸穿过玻璃基板的厚度，由此使薄的玻璃板与玻璃基板-载体板组件分离。
【IPC分类】C03B33/09, B23K26/40, C03B33/07, C03C23/00, B23K26/38, B23K26/06
【公开号】CN105722798
【申请号】CN201480059232
【发明人】G·林, R·S·瓦格纳, J·J·沃特金斯
【申请人】康宁股份有限公司
【公开日】2016年6月29日
【申请日】2014年8月27日
【公告号】US20150059411, WO2015031435A2, WO2015031435A3