一种高透光的可钢化低辐射镀膜玻璃的制作方法
【专利摘要】本申请公开了一种可钢化低辐射镀膜玻璃。本申请的可钢化低辐射镀膜玻璃，由玻璃基板和依序层叠于玻璃基板的至少一个表面的第一介质层、第二介质层、功能层、保护层、第三介质层、第四介质层组成；第一介质层为氮化硅或氮氧化硅膜层，第二介质层为铝掺杂氧化锌膜层，功能层为银膜层，保护层为氮化铬或氮氧化铬膜层，第三介质层为铝掺杂氧化锌膜层，第四介质层为陶瓷钛膜层。本申请的可钢化低辐射镀膜玻璃，通过对多层镀膜的各层进行优化，使得制备的可钢化低辐射镀膜玻璃在保持良好的低辐射性能的同时，具有透过率高，镀膜层与玻璃基片结合力强，镀膜层致密、均匀，膜层抗氧化抗划伤能力强，可钢化等优点。
【专利说明】
一种高透光的可钢化低辐射镀膜玻璃
技术领域
[0001 ]本申请涉及低辐射镀膜玻璃领域，特别是涉及一种可钢化低辐射镀膜玻璃。
【背景技术】
[0002] 根据国家标准GB/18915.2-2002定义，低辐射镀膜玻璃又称低辐射玻璃，"Low-E" 玻璃，是一种对波长范围4.5um-25um的远红外线具有较高反射比的镀膜玻璃。可钢化低辐 射镀膜玻璃，是指在线镀膜玻璃，可以深加工，没有钢化，也就是说镀好膜后再进行后续加 工或钢化处理;这是与钢化镀膜玻璃相对的，钢化镀膜玻璃是指钢化后再镀膜，钢化镀膜玻 璃加工性能较差，镀膜颜色也相对单一。
[0003] 现有的低辐射镀膜玻璃，虽然能够有效的实现低辐射效果，但是由于镀膜的引入 和设计不尽合理，使得低辐射镀膜玻璃对可见光有很大影响，可见光透过率明显降低，从而 影响了采光效果。
【发明内容】
[0004] 本申请的目的是提供一种结构改进的可钢化的低辐射镀膜玻璃。
[0005] 本申请采用了以下技术方案：
[0006] 本申请的一方面公开了一种可钢化低辐射镀膜玻璃，由玻璃基板和依序层叠于玻 璃基板的至少一个表面的第一介质层、第二介质层、功能层、保护层、第三介质层、第四介质 层组成;第一介质层为氮化硅或氮氧化硅膜层，第二介质层为铝掺杂氧化锌膜层，功能层为 银膜层，保护层为氮化铬或氮氧化铬膜层，第三介质层为铝掺杂氧化锌膜层，第四介质层为 陶瓷钛膜层。
[0007] 需要说明的是，本申请的关键在于按照设定的顺序，合理配置各层，使得各层既能 够紧密吸附，又能充分发挥各自的性能，并且，通过合理控制各层，使得可钢化低辐射镀膜 玻璃在保障低辐射性能的同时，具备更好的透光率。本申请中可见光的透过率，又称为透光 率。
[0008]优选的，第一介质层的厚度为20.7~34.4nm，第二介质层的厚度为3.6~13.8nm， 功能层的厚度为6.7~9.7nm，保护层的厚度为0.6~1. lnm，第三介质层的厚度为3.0~ 12.8nm，第四介质层的厚度为19.1~36.8nm〇 [0009]优选的，玻璃基板为浮法玻璃基板。
[0010]优选的，可钢化低辐射镀膜玻璃在加热处理后的透光率大于85 %。
[0011] 需要说明的是，其中加热处理既钢化处理，通常来说，可钢化低辐射镀膜玻璃在钢 化后各方面性能都有所提高，而对于低辐射镀膜玻璃而言，能否进行钢化处理，很大程度上 取决于镀膜的性能;本申请对各层镀膜进行合理配置，使得低辐射镀膜玻璃在镀膜后能够 进行加热处理，提高了生产效率，达到生产优化。
[0012] 本申请的另一面公开了本申请的可钢化低辐射镀膜玻璃的制备方法，包括如下步 骤，
[0013] 步骤SOI:对玻璃基板进行表面处理；
[0014] 步骤S02:在经过表面处理的玻璃基板表面依次沉积第一介质层、第二介质层、功 能层、保护层、第三介质层、第四介质层，形成可钢化低辐射镀膜玻璃。
[0015] 优选的，沉积为磁控溅射沉积。
[0016] 优选的，磁控派射沉积的派射真空度为2 X 10-3mbar~5 X 10-3mbar
[0017] 本申请的有益效果在于：
[0018] 本申请的可钢化低辐射镀膜玻璃，通过对多层镀膜的各层进行优化，使得制备的 可钢化低辐射镀膜玻璃在保持良好的低辐射性能的同时，具有透过率高，镀膜层与玻璃基 板结合力强，镀膜层致密、均匀，膜层抗氧化抗划伤能力强，可钢化等优点。
【附图说明】
[0019] 图1是本申请实施例中可钢化低辐射镀膜玻璃的结构示意图；
[0020] 图2-4是本申请实施例一的可钢化低辐射镀膜玻璃的光谱曲线示意图，其中，图2 为玻璃面反射率的光谱曲线，图3为镀膜面反射率的光谱曲线，图4为可见光透过率；
[0021] 图5-7是本申请实施例二的可钢化低辐射镀膜玻璃的光谱曲线示意图，其中，图5 为玻璃面反射率的光谱曲线，图6为镀膜面反射率的光谱曲线，图7为可见光透过率；
[0022] 图8-10是本申请实施例三的可钢化低辐射镀膜玻璃的光谱曲线示意图，其中，图8 为玻璃面反射率的光谱曲线，图9为镀膜面反射率的光谱曲线，图10为可见光透过率；
[0023] 图11-13是本申请实施例四的可钢化低辐射镀膜玻璃的光谱曲线示意图，其中，图 11为玻璃面反射率的光谱曲线，图12为镀膜面反射率的光谱曲线，图13为可见光透过率；
[0024] 图14是本申请实施例中可钢化低辐射镀膜玻璃的制备方法的流程框图。
【具体实施方式】
[0025] 本申请主要是针对现有的低辐射镀膜玻璃在结构设计上的不足，对镀膜各层进行 优化，具体的，本申请的低辐射镀膜玻璃如图1所示，由玻璃基板1和沉积于玻璃基板1表面 的镀膜层，镀膜层按照沉积于玻璃上的顺序依序为第一介质层21、第二介质层22、功能层 23、保护层24、第三介质层25、第四介质层26。其中，第一介质层21为氮化硅或氮氧化硅膜 层，第二介质层22为铝掺杂氧化锌膜层，功能层23为银膜层，保护层24为氮化铬或氮氧化铬 膜层，第三介质层25为铝掺杂氧化锌膜层，第四介质层26为陶瓷钛膜层。
[0026]需要说明的是，本申请的低辐射镀膜玻璃，各层是有机结合的整体，第一介质层具 有阻止玻璃基板中的Na+向膜层中渗透;增加膜层和玻璃基片之间的吸附力，提高物理和化 学性能;控制膜系的光学性能和颜色等作用。第二介质层具有对功能层起铺垫作用，使功能 层的银膜层在其上可以更好地成膜;控制膜系的光学性能和颜色等作用。功能层即银膜层 具有降低辐射率、增强保温或隔热性能、控制膜系的光学性能和颜色等作用。保护层具有减 少氧化，控制膜系的光学性能和颜色等作用。第三介质层具有提高保护层和第四介质层之 间结合力、进一步保护功能层不被氧化、提高物理和化学性能，控制膜系的光学性能和颜色 等作用。第四介质层具有保护整个膜层结构、减少氧化、提高物理和化学性能，控制膜系的 光学性能和颜色等作用。各层按顺序结合，从而保障了低辐射镀膜玻璃的整体性能，特别是 在透光率方面，在本申请的低辐射镀膜玻璃进行热处理后，可以获得透光率大于85%的超 高透低辐射镀膜玻璃。
[0027]相应地，在本申请的可钢化低辐射镀膜玻璃的基础上，本申请还研究并优化了本 申请的可钢化低辐射镀膜玻璃的制备方法，具体的，如图14所示，本申请的制备方法包括如 下步骤：
[0028]步骤S01:前处理，对玻璃基板进行表面处理;主要是清洗浮法玻璃，将清洗好的浮 法玻璃作为玻璃基板，将清洗后的浮法玻璃送入真空室，保持真空室真空度在8Xl(T6mbar 以上；
[0029]步骤S02:膜层沉积处理，在经过表面处理的玻璃基板表面依次沉积第一介质层、 第二介质层、功能层、保护层、第三介质层、第四介质层，形成可钢化低辐射镀膜玻璃。
[0030] 本申请的优选方案中，优选的采用磁控溅射沉积制备各层镀膜，并且，优选的磁控 溅射沉积的溅射真空度为2 X l(T3mbar~5 X l(T3mbar。并且，在步骤S01中，本申请的实施例 具体采用Benteler清洗机对浮法玻璃进行清洗。而磁控溅射沉积具体采用德国冯?阿登那 公司生产的磁控溅射镀膜设备，溅射层厚度的调整，使用在线光度计测量膜层颜色参数，据 此判断溅射膜层的厚度。
[0031] 在低辐射镀膜玻璃的检测方面，本申请的一种实现方式中，采用浓度为lmol/L的 HC1溶液和浓度为lmol/L的NaOH溶液作为浸渍液，按照国家标准《GBT18918.2-2002镀膜玻 璃第2部分低辐射镀膜玻璃》，检测本申请的低辐射镀膜玻璃的耐酸性能和耐碱性能。与此 同时，还采用台式光度计、研磨机、U4100紫外可见红外分光光度计等测试分析仪器测试获 得低辐射镀膜玻璃的玻面反射率、膜面反射率和透过光谱。
[0032]需要说明的是，在溅射靶材和镀膜的各层结构确定之后，决定产品性能特点的核 心部分就是各层的厚度，即通过调整镀膜工艺，控制各层厚度，最终达到不同的效果。本申 请的一种优选方案中，设计第一介质层的厚度为20.7~34.4nm，第二介质层的厚度为3.6~ 13.8nm，功能层的厚度为6.7~9.7nm，保护层的厚度为0.6~1. lnm，第三介质层的厚度为 3 · 0~12 · 8nm，第四介质层的厚度为19 · 1~36 · 8nm。
[0033]下面通过具体实施例结合附图对本申请作进一步详细说明。以下实施例仅对本申 请进行进一步说明，不应理解为对本申请的限制。
[0034] 实施例一
[0035]本例的可钢化低辐射镀膜玻璃，其玻璃基板为6mm的浮法玻璃，第一介质层为 34.4nm的氮化娃膜层、第二介质层为5. lnm的第一错掺杂氧化锌膜层、功能层为8.8nm的银 膜层、保护层为l.lnm氮化铬膜层、第三介质层为3.Onm的第二铝掺杂氧化锌膜层、第四介质 层为36.8nm的陶瓷钛膜层。
[0036]本例的可钢化低辐射镀膜玻璃的制备方法如下：
[0037] 步骤S01:前处理，采用Benteler清洗机清洗浮法玻璃;将清洗后的浮法玻璃送入 真空室，保持真空室真空度在8 X l(T6mbar以上。
[0038]步骤S02:膜层沉积处理，在经过表面处理的玻璃基板表面依次沉积第一介质层、 第二介质层、功能层、保护层、第三介质层、第四介质层，具体如下：
[0039] 采用氩气和氮气为工作气体，交流电源溅射旋转硅铝靶，在玻璃基板上磁控溅射 厚度为34.4nm的氮化硅膜层;硅铝靶的质量比Si :A1 = 92:8,氩气与氮气的流量比为1:1。
[0040] 采用氩气作为工作气体，交流电源溅射铝掺杂氧化锌陶瓷旋转靶，在氮化硅膜层 上磁控溅射厚度为5. lnm的铝掺杂氧化锌膜层，即第一铝掺杂氧化锌膜层。
[0041]采用氩气作为工作气体，直流电源溅射平面银靶，在第一铝掺杂氧化锌膜层上磁 控溅射厚度为8 · 8nm的银膜层。
[0042] 采用氩气和氮气作为工作气体，直流电源溅射平面铬靶，在银膜层上磁控溅射厚 度为1. lnm的氮化铬膜层;氩气与氮气的流量比为9:1。
[0043] 采用氩气作为工作气体，交流电源溅射铝掺杂氧化锌陶瓷旋转靶，在氮化铬膜层 上磁控溅射厚度为3. Onm的铝掺杂氧化锌膜层，即第二铝掺杂氧化锌膜层。
[0044] 采用氩气和氧气为工作气体，交流电源溅射旋陶瓷钛靶，在第二铝掺杂氧化锌膜 层上磁控溅射厚度为36.8nm的陶瓷钛膜层;氩气与氧气的流量比为20:1。
[0045] 上述步骤结束后，采用在线检测光度计、Datacolar CHECK II测量本例制备的可 钢化低辐射镀膜玻璃的外观颜色，同时，对本例采用的玻璃基板进行相同的测试作为对比， 结果如表1所示。采用在线检测光度计测量光谱曲线，得到的光谱曲线如附图2~图4所示， 图2为玻璃面反射率的光谱曲线，图3为镀膜面反射率的光谱曲线，图4为可见光透光率。 [0046]光谱曲线结果显示，本例制备的可钢化低辐射镀膜玻璃，其玻璃面对800nm波长的 光的反射率约为0.08，800nm以下波长的光反射率更低，而大于800nm波长，随着波长增加其 放射率增强，如图2所示。可钢化低辐射镀膜玻璃的镀膜面也有类似的结果，如图3所示， 800nm波长的光反射率也才约0.11。由图2和图3可见，本例制备的可钢化低辐射镀膜玻璃对 380nm~780nm的可见光的反射率都相对较低，在0.09~0.11之间，而对红外线的反射率明 显更强。可见光透过率或称透光率的测试结果与图2和图3的反射率测试结果相对应，如图4 所示，对380nm~780nm的可见光的透过率最高可达约82% 〇
[0047]在本例制备的可钢化低辐射镀膜玻璃的基础上，对其进行加热处理，即钢化处理： 将可钢化低辐射镀膜玻璃放置于钢化炉内，可钢化低辐射镀膜玻璃的镀膜表面加热温度为 680~690°C，玻璃表面加热温度较镀膜表面低些，为670~680°C，钢化处理约570~590s，即 获得透光率更高的低辐射镀膜玻璃。具体的加热时间和温度可以根据不同的钢化炉或不同 的可钢化低辐射镀膜玻璃有所不同，在此不做具体限定。本例具体的，镀膜表面加热温度为 690 °C，玻璃表面的加热温度为670°C，加热580s，获得本例的低辐射镀膜玻璃。采用相同的 方法对加热处理后的低辐射镀膜玻璃进行透光率检测，结果显示透光率约为87%。
[0048] 此外，需要说明的是，本例采用的是6mm的普通浮法玻璃作为玻璃基板，而本申请 的高透光低辐射镀膜玻璃的膜层结构并不只限于普通浮法玻璃，其它浮法玻璃如超白浮法 玻璃、有色玻璃等也可以用于本申请，并且具有良好的透光率，作为玻璃基板，其厚度通常 在3 _19mm都可以。
[0049] 实施例二
[0050] 本例的可钢化低辐射镀膜玻璃与实施例一结构相同，只是各层厚度略有不同。本 例的第一介质层为31.5nm的氮化娃、第二介质层为3.6nm的第一错掺杂氧化锌膜层、功能层 为7.4nm的银膜层、保护层为1.Onm的氮化铬膜层、第三介质层为12.8nm的第二铝掺杂氧化 锌膜层、第四介质层为20.4nm的陶瓷钛膜层，玻璃基板与实施例一相同。玻璃基板的前处理 以及膜层沉积处理与实施例一相同，只是控制磁控溅射条件，使得各层达到本例的厚度。
[0051] 同样的，采用与实施例一相同的测试方法对本例的可钢化低辐射镀膜玻璃进行测 试，外观颜色等测试结果如表1所示，光谱曲线如图5~7所示。图5为玻璃面反射率的光谱曲 线，图6为镀膜面反射率的光谱曲线，图7为可见光透光率。
[0052]光谱曲线结果显示，本例制备的可钢化低辐射镀膜玻璃，其玻璃面对800nm波长的 光的反射率约为0.08，800nm以下波长的光反射率更低，而大于800nm波长，随着波长增加其 放射率增强，如图5所示。可钢化低辐射镀膜玻璃的镀膜面也有类似的结果，如图6所示， 800nm波长的光反射率也才约0.11。由图5和图6可见，本例制备的可钢化低辐射镀膜玻璃对 380nm~780nm的可见光的反射率都相对较低，在0.05~0.12之间，而对红外线的反射率明 显更强。可见光透过率或称透光率的测试结果与图5和图6的反射率测试结果相对应，如图7 所示，对380nm~780nm的可见光的透过率最高可达约82% 〇 [0053] 实施例三
[0054]本例的可钢化低辐射镀膜玻璃与实施例一结构相同，只是各层厚度略有不同。本 例的第一介质层为20.7nm的氮化娃膜层、第二介质层为13.8nm的第一错掺杂氧化锌膜层、 功能层为6.7nm的银膜层、保护层为0.6nm的氮化络膜层、第三介质层为4.5nm的第二错掺杂 氧化锌膜层、第四介质层为19. lnm的陶瓷钛膜层，玻璃基板与实施例一相同。玻璃基板的前 处理以及膜层沉积处理与实施例一相同，只是控制磁控溅射条件，使得各层达到本例的厚 度。
[0055]同样的，采用与实施例一相同的测试方法对本例的可钢化低辐射镀膜玻璃进行测 试，外观颜色等测试结果如表1所示，光谱曲线如图8~10所示。图8为玻璃面反射率的光谱 曲线，图9为镀膜面反射率的光谱曲线，图10为可见光透光率。
[0056]光谱曲线结果显示，本例制备的可钢化低辐射镀膜玻璃，其玻璃面对800nm波长的 光的反射率约为〇. 09，500nm~700nm波长的光反射率更低，而大于800nm波长，随着波长增 加其放射率增强，如图8所示。可钢化低辐射镀膜玻璃的镀膜面也有类似的结果，如图9所 示，800nm波长的光反射率也才约0.11。由图8和图9可见，本例制备的可钢化低辐射镀膜玻 璃对380nm~780nm的可见光的反射率都相对较低，在0.10~0.15之间，而对红外线的反射 率明显更强。可见光透过率或称透光率的测试结果与图8和图9的反射率测试结果相对应， 如图10所示，对38〇11111~78〇11111的可见光的透过率最高可达约81%。
[0057]实施例四
[0058] 本例的可钢化低辐射镀膜玻璃与实施例一结构相同，只是各层厚度略有不同。本 例的第一介质层为31.8nm的氮化娃膜层、第二介质层为3.6nm的第一错掺杂氧化锌膜层、功 能层为9.7nm的银膜层、保护层为1. Onm氮化铬膜层、第三介质层为9.2nm的第二铝掺杂氧化 锌膜层、第四介质层为31.5nm的陶瓷钛膜层，玻璃基板与实施例一相同。玻璃基板的前处理 以及膜层沉积处理与实施例一相同，只是控制磁控溅射条件，使得各层达到本例的厚度。
[0059] 同样的，采用与实施例一相同的测试方法对本例的可钢化低辐射镀膜玻璃进行测 试，外观颜色等测试结果如表1所示，光谱曲线如图11~13所示。图11为玻璃面反射率的光 谱曲线，图12为镀膜面反射率的光谱曲线，图13为可见光透光率。
[0060] 光谱曲线结果显示，本例制备的可钢化低辐射镀膜玻璃，其玻璃面对800nm波长的 光的反射率约为0.11，500nm~700nm波长的光反射率更低，而大于800nm波长，随着波长增 加其放射率增强，如图11所示。可钢化低辐射镀膜玻璃的镀膜面也有类似的结果，如图12所 示，800nm波长的光反射率也才约0.13。由图11和图12可见，本例制备的可钢化低辐射镀膜 玻璃对380nm~780nm的可见光的反射率都相对较低，在0.07~0.11之间，而对红外线的反 射率明显更强。可见光透过率或称透光率的测试结果与图11和图12的反射率测试结果相对 应，如图13所示，对380nm~780nm的可见光的透过率最高可达约84%。
[0061 ]表1可钢化低辐射镀膜玻璃的外观颜色检测结果 [0062]
[0063]表1中各字母的含义如下：
[0064] G表示镀膜玻璃的玻璃面，R*g表示镀膜玻璃玻璃面的反射值;a*g和b*g表示镀膜 玻璃的玻璃面的颜色值，a*g越正表示颜色越红，a*g越负表示颜色越绿，b*g越正表示颜色 越黄，b*g越负表示颜色越蓝;L*g表示镀膜玻璃的玻璃面的亮度。
[0065] F表示镀膜玻璃的镀膜面;R*f表示镀膜玻璃膜面的反射值;a*f和b*f表示镀膜玻 璃膜面的颜色值，a*f越正表示颜色越红，a*f越负表示颜色越绿;b*f越正表示颜色越黄，b* f越负表示颜色越蓝;L*f表示镀膜玻璃膜面的亮度。
[0066] T表示镀膜玻璃的透过;Tr表示镀膜玻璃的透过率;a*T和b*T表示镀膜玻璃透过的 颜色值，a*T越正表示颜色越红，a*T越负表示颜色越绿;b*T越正表示颜色越黄，b*T越负表 示颜色越蓝;L*T表示镀膜玻璃透过的亮度。
[0067] 表1的结果显示，实施例1-4的可钢化低辐射镀膜玻璃的颜色a*g在0~-2之间，因 为人对a*g代表的红绿更为敏感，为了使颜色中性偏蓝，所以需要控制a*g的范围。实施例ΙΑ 的可钢化低辐射镀膜玻璃的颜色 b*g 在-7 ~-10 之间， 因为蓝色比黄色更给人以清透的感 觉，所以需要控制b*g的范围。
[0068] 另外，本申请对实施例2-4的可钢化低辐射镀膜玻璃进行加热处理即钢化，加热处 理的温度和时间跟实施例1 一样，然后对钢化的低辐射镀膜玻璃进行透光率检测，结果显 示，实施例2-4的钢化的低辐射镀膜玻璃透光率都大于85%，最高甚至达到87%。并且，钢化 后，颜色a*g都在0~3之间，b*g在-9~-12之间。
[0069] 在以上试验的基础上，本申请对第一介质层和保护层的材质进行了研究，结果显 示，第一介质层除了可以采用氮化硅以外，还可以使用氮氧化硅膜层，保护层除氮化铬以 外，还可以采用氮氧化铬膜层。
[0070] 以上内容是结合具体的实施方式对本申请所作的进一步详细说明，不能认定本申 请的具体实施只局限于这些说明。对于本申请所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱 离本申请构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本申请的保护 范围。
【主权项】
1. 一种可钢化低辐射镀膜玻璃，其特征在于：由玻璃基板和依序层叠于玻璃基板的至 少一个表面的第一介质层、第二介质层、功能层、保护层、第三介质层、第四介质层组成； 所述第一介质层为氮化硅或氮氧化硅膜层，所述第二介质层为铝掺杂氧化锌膜层，所 述功能层为银膜层，所述保护层为氮化铬或氮氧化铬膜层，所述第三介质层为铝掺杂氧化 锌膜层，所述第四介质层为陶瓷钛膜层。2. 根据权利要求1所述的可钢化低辐射镀膜玻璃，其特征在于:所述第一介质层的厚度 为20 · 7~34 · 4nm，所述第二介质层的厚度为3 · 6~13 · 8nm，所述功能层的厚度为6 · 7~ 9.7nm，所述保护层的厚度为0.6~1 · lnm，所述第三介质层的厚度为3.0~12.8nm，所述第四 介质层的厚度为19.1~36.8nm〇3. 根据权利要求1所述的可钢化低辐射镀膜玻璃，其特征在于:所述玻璃基板为浮法玻 璃基板。4. 根据权利要求1-3任一项所述的可钢化低辐射镀膜玻璃，其特征在于:所述可钢化低 辐射镀膜玻璃在加热处理后的透光率大于85%。
【文档编号】C03C17/36GK205501126SQ201520905195
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2015年11月11日
【发明人】董清世, 周枫
【申请人】信义节能玻璃（芜湖）有限公司